반도체 장치에 적용되는 세정 조성물
    12.
    发明公开
    반도체 장치에 적용되는 세정 조성물 审中-实审
    适用于半导体器件的清洁组合物

    公开(公告)号:KR1020150111529A

    公开(公告)日:2015-10-06

    申请号:KR1020140034798

    申请日:2014-03-25

    CPC classification number: C09K13/06 H01L21/31111 H01L21/32134 H01L27/222

    Abstract: 반도체장치에적용되는세정조성물이제공된다. 상기세정조성물은반도체실리콘기판상에건식식각공정을통하여물질막으로부터형성되는물질패턴에서, 물질패턴에적용되는습식식각공정의에천트(etchant)로써, 총 100 중량% 내에 10 내지 20 중량% 의하이드록실아민(hydroxylamine), 5 내지 20 중량% 의하이드라진하이드레이트(hydrazine hydrate), 10 내지 30 중량% 의유기용매와, 물을포함한다.

    Abstract translation: 提供了应用于半导体器件的清洁组合物。 清洁组合物作为在半导体硅衬底上通过干法蚀刻工艺在物质图案上形成的物质图案中的湿蚀刻工艺中的蚀刻剂包含相对于总计100重量%的10-20重量%的 羟胺,5-20重量%的水合肼,10-30重量%的有机溶剂和水。

    화학 기계적 연마용 슬러리 조성물, 이를 이용한 연마 방법및 반도체 메모리 소자의 제조 방법
    15.
    发明公开
    화학 기계적 연마용 슬러리 조성물, 이를 이용한 연마 방법및 반도체 메모리 소자의 제조 방법 失效
    用于化学机械抛光的浆料组合物,使用其的抛光方法和制造半导体存储器件的方法

    公开(公告)号:KR1020080015553A

    公开(公告)日:2008-02-20

    申请号:KR1020060077000

    申请日:2006-08-16

    Abstract: A slurry composition for chemical mechanical polishing is provided to show a high polishing rate to silicon oxide layer but a low polishing rate to a silicon nitride layer even though a low content of ceria abrasive is contained. A slurry composition for chemical mechanical polishing includes 0.05-0.3wt% of a ceria abrasive, 0.005-0.04wt% of an anionic surfactant, 0.0005-0.003wt% of a polyoxyethylene-based nonionic surfactant, 0.2-1.0wt% of a polyacrylic acid salt having higher molecular weight than the anionic surfactant, and an excess of water. The ceria abrasive has a particle size of 120-200 nm. The polyacrylic acid salt is a polyacrylic acid ammonium salt having a molecular weight of 100,000-400,000.

    Abstract translation: 提供用于化学机械抛光的浆料组合物,以显示对氧化硅层的高抛光速率,但是即使含有低含量的二氧化铈磨料,也对氮化硅层的抛光速率低。 用于化学机械抛光的浆料组合物包括0.05-0.3重量%的二氧化铈磨料,0.005-0.04重量%的阴离子表面活性剂,0.0005-0.003重量%的聚氧乙烯基非离子表面活性剂,0.2-1.0重量%的聚丙烯酸 具有比阴离子表面活性剂高的分子量的盐和过量的水。 二氧化铈磨料的粒径为120-200nm。 聚丙烯酸盐是分子量为100,000-400,000的聚丙烯酸铵盐。

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