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公开(公告)号：KR1020200125856A
公开(公告)日：2020-11-05
申请号：KR1020190049092
申请日：2019-04-26
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본명세서에서는, 구조적결함을포함하는결함영역이존재하는그래핀층; 및상기그래핀층상에형성된유기물차단막;을포함하며, 상기유기물차단막은알킬체인을함유하는유기물분자를포함하고, 상기그래핀층과유기물차단막은반데르발스결합하여유기물차단막이상기구조적결함을치유하도록하는, 복합배리어필름이제공된다.
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公开(公告)号：KR102017717B1
公开(公告)日：2019-10-21
申请号：KR1020180078437
申请日：2018-07-05
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L31/0352 , H01L31/0224 , H01L31/032 , H01L31/18 , H01L31/0256
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公开(公告)号：KR1020180011662A
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：KR1020160094336
申请日：2016-07-25
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: B32B37/24 , C23C16/26 , C23C16/02 , C23C16/56 , C23C14/08 , C23C14/06 , C23C16/52 , B32B9/00 , B32B9/04
CPC classification number: B32B37/24 , B32B9/007 , B32B9/045 , B32B2037/246 , B32B2307/7242 , C23C14/0652 , C23C14/08 , C23C16/02 , C23C16/26 , C23C16/52 , C23C16/56
Abstract: 그래핀계배리어필름의제조방법으로서, 금속촉매층상에제1 화학기상증착공정을수행하여예비그래핀층을형성하는단계; 해당예비그래핀층에제2 화학기상증착공정을수행하여해당예비그래핀층을그래핀층으로변환시키는단계; 해당그래핀층상에고분자보호막을형성하는단계; 해당그래핀층의일면으로부터금속촉매층을제거하는단계; 및해당금속촉매층이제거된그래핀층을대상기판에전사시켜그래핀계배리어필름을형성하는단계; 를포함하는그래핀계배리어필름의제조방법이제공된다.
Abstract translation: 1。一种石墨烯阻挡膜的制造方法，其特征在于，包括：在金属催化剂层上进行第一化学气相沉积工艺以形成预截平层; 在所述前体石蜡层上执行第二化学气相沉积工艺以将所述前体石墨层转变为石墨烯层; 在石墨烯层上形成聚合物保护膜; 从石墨烯层的一侧除去金属催化剂层; 然后将去除了金属催化剂层的石墨烯层转移到目标衬底上以形成石墨烯阻挡膜; 提供基于阻隔膜。
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公开(公告)号：KR101709704B1
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：KR1020150094375
申请日：2015-07-01
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: B32B37/025 , B32B38/10 , B32B2037/246 , B32B2313/04 , B32B2457/14 , B82Y40/00 , C01B31/043 , C01B31/0438 , C01B32/182 , C01B32/23 , Y10T156/10 , Y10T428/30
Abstract: 본발명은그래핀, 그래핀옥사이드, h-BN, MoS, WS, MoS, WS, MoSe, WSe탄소나노튜브로구성된군에서선택된 1 종이상을포함하는소재를석유젤리(Petroleum Jelly, 예: 상품명 vaseline)를전사지지체로사용하여유연기판, 전도체, 유전체또는반도체성소재로이루어진군에서선택되는어느하나인제 2 기재에손상없이전사하고, 전사후 석유젤리전사지지체를손쉽게제거하는방법에대한것으로전사지지체인석유젤리는가격이매우저렴하고친환경적이며공기중에서산화가되지않고화학적안정성을가지고있고, 상온에서는고체형태이나녹는점이 37 ℃정도로낮기때문에전사하고자하는소재를전사공정이끝날때까지안정적지지및 산화방지등의부가적기능의수행이가능하다. 뿐만아니라비교적낮은용융온도를가지므로적은에너지를이용하여지지체를녹여서제거가가능하고소수성유기용매에대한용해도도매우크므로용매를사용하는경우에도소재의표면에남지않고깨끗하게제거가가능한장점이있다.
Abstract translation: 本发明的石墨烯，石墨烯氧化物，的h-BN，MOS，WS，MOS，WS，摩西，WSE含有至少一种选自由碳纳米管，凡士林组成的组中选择的材料（凡士林，例如，商品名： 凡士林）转印片到约一个使用从柔性基底，导体，电介质，或由无损坏半导体材料传递的组中选出摄取2衬底上的转印片材构件，和凡士林转印片构件转印后容易地除去 延迟凡士林被稳定地支撑和氧化，直到价格很便宜，环境友好型，并具有没有在空气中被氧化的化学稳定性，在以固体形式或在传输结束的熔点室温步材料由于被转移到下部的程度，37℃ 可以执行其他功能，例如预防。 此外，有可能的优点，而不必离开材料的表面干净地除去，即使相对因为，通过使用可用能量与使用溶解度图少量的除去溶解的支撑的低熔融温度的溶剂为疏水性有机溶剂非常大 。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101626936B1
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：KR1020140136903
申请日：2014-10-10
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: D01F9/127
Abstract: 본발명은 (S1) 실리콘기판상에알루미나층을증착하는단계; (S2) 상기알루미나층상에팔라듐을증착하여팔라듐촉매층을형성하는단계; 및 (S3) 상기팔라듐촉매층상에화학기상증착(chemical vapor deposition, CVD)법으로탄소나노섬유를성장시키는단계;를포함하는탄소나노섬유의성장방법및 알루미나층이증착된실리콘기판상에서수직성장된탄소나노섬유로서, 끝단의곡률반경은 5 nm 이하이고, 지름은 50 nm 이하이며, 성장길이는 1 mm 이상이고, 성장길이와지름의종횡비는 50,000 이상인것을특징으로하는탄소나노섬유에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020210063827A
公开(公告)日：2021-06-02
申请号：KR1020190152396
申请日：2019-11-25
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C01B32/184 , C01B32/194 , B01J19/08
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公开(公告)号：KR102250518B1
公开(公告)日：2021-05-12
申请号：KR1020190094452
申请日：2019-08-02
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C01B21/064 , B01J19/12
Abstract: 본명세서에서는, 반응챔버; 반응챔버내에위치한타겟; 상기타겟상에붕소전구체또는붕소-금속촉매복합전구체를공급하는연속주입장치; 및상기타겟의일 부분에에너지를조사하여질화붕소나노튜브를생성하는에너지공급장치;를포함하는것을특징으로하는, 질화붕소나노튜브연속제조장치가제공된다.
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