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公开(公告)号：KR100941394B1
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：KR1020080096297
申请日：2008-09-30
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C04B35/50 , C04B35/64 , C04B2235/3244 , C04B2235/3281 , C04B2235/3284 , C04B2235/442 , C04B2235/768 , H01M8/1016 , H01M2300/0071
Abstract: PURPOSE: An ABO3 based hydrogen ion conductive ceramic material is provided, which minimizes ion conduction reduction and improves sintering property. CONSTITUTION: An ABO3 based hydrogen ion conductive ceramic material has A(B1-xyRexMy)O3-δ or A(B1-xyRexMy)O3-δ, wherein A is divalent element OF more than one kind selected from a group consisting of Ba, and Sr and Ca, B is tetravalent element of more than one kind selected from the group consisting of Zr and Ce, Re is rare earth materials of more than one kind, and M is metal of more than one kind selected from the group consisting of transition metal, Cu, and Zn.
Abstract translation: 目的：提供一种基于ABO3的氢离子导电陶瓷材料，最大限度地减少离子传导，提高烧结性能。 构成：基于ABO 3的氢离子传导性陶瓷材料具有A（B1-xyRexMy）O3-δ或A（B1-xyRexMy）O3-δ，其中A是选自Ba和 Sr和Ca，B是选自Zr和Ce中的一种以上的四价元素，Re是一种以上的稀土材料，M是选自过渡金属中的一种以上的金属 金属，Cu和Zn。
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公开(公告)号：KR1020090125028A
公开(公告)日：2009-12-03
申请号：KR1020090107645
申请日：2009-11-09
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C01F7/00 , C01F17/00 , H01L21/205 , C23C4/10
CPC classification number: C01F17/0018 , C01F17/0043 , C01P2004/61 , C23C4/11 , C23C4/123 , H01L21/205
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a thermal spray coating film for a semiconductor manufacturing apparatus is provided to reduce the inner defect of the coating film. CONSTITUTION: A method for manufacturing a thermal spray coating film comprises the steps of preparing a thermal spray coating material having the composition represented by (Al_x Y_(1-x))2O3 (wherein x is 0.05 ~ 0.95); injecting the thermal spray coating material into the plasma flame to heat it; and laminating the completely molten or semi-molten thermal spray coating material on the surface of the parts used in the semiconductor manufacturing apparatus to form a coating film having the amorphous structure.
Abstract translation: 目的：提供一种制造用于半导体制造装置的热喷涂膜的方法，以减少涂膜的内部缺陷。 构成：制造热喷涂膜的方法包括以下步骤：制备具有由（Al_x Y_（1-x））2O3表示的组成的热喷涂材料（其中x为0.05〜0.95）; 将热喷涂材料注入等离子火焰中以加热; 并且将完全熔融或半熔融的热喷涂材料层压在半导体制造装置中使用的部件的表面上以形成具有非晶结构的涂膜。
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13.发明授权
公开(公告)号：KR100717130B1
公开(公告)日：2007-05-11
申请号：KR1020050092581
申请日：2005-09-30
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01M8/02
CPC classification number: H01M4/9066 , H01M4/8621 , H01M4/8885 , H01M8/1213 , H01M8/1226 , H01M8/124 , Y02P70/56
Abstract: 본 발명은 연료극 지지형 고체산화물 연료전지의 연료극기능성층, 전해질층, 공기극층 등을 구성하기 위한 제조공정에 사용되는 스크린 인쇄용 페이스트로서, 각 구성층의 원료 분말, 결합제인 에틸셀룰로오스, 용매인 알파 터피니올, 및 추가적인 용매로서 연료극 지지체에 포함된 열경화성 결합제에 대하여 용해성을 갖는 알코올계 용매를 상기 알파 터피니올 대비 0.5 - 20wt%로 포함하는 고체산화물 연료전지용 페이스트 및 이 페이스트를 사용하여 스크린 인쇄법으로 연료전지의 각 구성층을 형성하는 연료극지지 고체산화물 전지 제조 방법을 제공한다. 본 발명은 열경화 몰딩으로 제조한 고효율 기공구조의 연료극 지지체에 스크린 인쇄용 페이스트의 조성을 조절하여 적심성을 향상시키고 경화처리를 통하여 구성 물질의 이동을 억제시킴으로써 제조 공정시 발생되는 구성층의 표면 결함, 구성층 간의 계면 결함을 줄이고 계면강도를 증대시켰다. 이에 따라 고성능, 대면적의 고체산화물 연료전지를 경제적이고 효율적으로 제조할 수 있으며, 제품의 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있다.
고체산화물 연료전지, 연료극 지지형 단전지, 스크린 인쇄법, 표면 결함, 계면 결함-
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050079124A
公开(公告)日：2005-08-09
申请号：KR1020040007270
申请日：2004-02-04
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: B05D1/24
Abstract: 습식 밀링 장치와 슬러리 냉각조로 구성된 순환식 밀링 장치를 기반으로, 실리카 분말과 물을 원료로 사용함으로써, 두 장치 사이의 온도차에 의하여 발생하는 실리카의 용해도차를 이용하여 대부분의 분말 표면에 균일하고 치밀한 실리카 코팅층을 형성할 수 있다. 두 장치 사이의 온도차 이외에도 슬러리 pH를 강산이나 강염기로 조절하거나 미세한 크기의 실리카 분말을 사용함으로써 실리카의 용해도를 증가시켜 실리카 코팅 속도를 증가시킬 수 있고, 공정 중에 실리카 분말을 추가로 첨가함으로써 실리카 코팅층의 두께를 쉽게 증가시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR100482278B1
公开(公告)日：2005-04-14
申请号：KR1020020064314
申请日：2002-10-21
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 값이 싼 저급의 계면활성제와 용매 내에서 쉽고 간편한 방법으로 저급의 철 펜타카르보닐[Fe(CO)
5 ]을 열분해하고 잔류 산소에 의한 산화반응을 진행시켜 2가와 3가의 혼합 산화철 나노분말을 제조하거나, 이 분말 용액에 공기를 주입시켜 산화 반응이 더욱 진행된 마그헤마이트(γ-Fe
2 O
3 ) 나노분말을 제조함으로써, 산화상태에 관계없이 직경이 20 nm 이하로 균일하고 초상자성을 가지며, 입자 사이에 뭉침이 없어 의료용으로 활용이 적합한 구형 산화철 나노분말의 경제적인 합성법을 제공한다.-
公开(公告)号：KR100456091B1
公开(公告)日：2004-11-08
申请号：KR1020020024523
申请日：2002-05-03
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/304
Abstract: PURPOSE: A system for in-situ electrochemical monitoring of chemical mechanical planarization is provided to be capable of observing polishing speed and the electrical chemical change of slurry and a semiconductor wafer in real time. CONSTITUTION: A system for in-situ electrochemical monitoring of chemical mechanical planarization is provided with an operation electrode(1) attached to a wafer chuck(2), a reference electrode(3) contacting the polishing slurry supplied to the center portion of a polishing pad(8), and a reverse electrode(4) contacting the slurry at the peripheral portion of the polishing pad. Preferably, the operation electrode is attached to the lateral portion of the wafer chuck. Preferably, the operation electrode has a curved contact part corresponding to the contact portion of the wafer chuck.
Abstract translation: 目的：提供一种用于化学机械平面化的原位电化学监测的系统，能够实时观察抛光速度以及浆料和半导体晶片的电化学变化。 本发明提供了一种用于化学机械平坦化的原位电化学监测的系统，该系统具有附着于晶片卡盘（2）的操作电极（1），接触供应至抛光中心部分的抛光浆料的参考电极（3） 垫（8）和反向电极（4），其在抛光垫的周边部分与浆液接触。 优选地，操作电极附接到晶片卡盘的侧部。 优选地，操作电极具有对应于晶片吸盘的接触部分的弯曲接触部分。
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公开(公告)号：KR1020040029871A
公开(公告)日：2004-04-08
申请号：KR1020020060309
申请日：2002-10-02
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: B82Y30/00 , C01G49/06 , C01P2002/72 , C01P2004/04 , C01P2004/64 , C01P2006/42 , Y10S977/773 , Y10S977/775 , Y10S977/777 , Y10S977/811
Abstract: PURPOSE: Maghemite (γ-Fe2O3) nanopowder used as ultra high density magnetic recording materials by having superior shape anisotropy and magnetic characteristics, hematite (α-Fe2O3) nanopowder used as precursor or catalyst of the maghemite and nanopowder in which the maghemite and hematite are mixed, and a preparation method of shape anisotropic metal oxide nanopowder are provided. CONSTITUTION: In a method for preparing nano sized metal oxide powder having superior magnetic characteristics, the method comprises the steps of precipitating and separating gel shaped amorphous metal oxide powder by adding protonic scavenger to the reverse micelle solution after forming a reverse micelle solution by adding distilled water, surfactant and solvent to metal salts of trivalence or more; controlling a mole ratio of metal oxide to surfactant by cleaning the gel shaped amorphous metal oxide powder using polar solvent; and crystallizing nano sized metal oxide particles through heating or reflux reaction by dispersing the gel shaped amorphous metal oxide powder into a non-polar solvent having high boiling point.
Abstract translation: 目的：通过具有优异的形状各向异性和磁特性，用作赤铁矿（α-Fe2O3）纳米粉末作为磁赤铁矿和纳米粉末的磁赤铁矿和赤铁矿的前驱体或催化剂，用作超高密度磁记录材料的磁赤铁矿（γ-Fe2O3）纳米粉末 提供了形状各向异性金属氧化物纳米粉末的制备方法。 构成：在制备具有优异磁特性的纳米尺寸金属氧化物粉末的方法中，该方法包括以下步骤：通过加入蒸馏器形成反胶束溶液后，通过向反胶束溶液中加入质子清除剂来沉淀和分离凝胶状无定形金属氧化物粉末 水，表面活性剂和溶剂与三价或更多的金属盐; 通过使用极性溶剂清洗凝胶状无定形金属氧化物粉末来控制金属氧化物与表面活性剂的摩尔比; 并通过将凝胶状无定形金属氧化物粉末分散到具有高沸点的非极性溶剂中，通过加热或回流反应结晶纳米尺寸的金属氧化物颗粒。
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公开(公告)号：KR100313324B1
公开(公告)日：2001-11-09
申请号：KR1019990047980
申请日：1999-11-01
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01B3/12
Abstract: 본발명은저온소성용초미립유전체세라믹조성물에관한것으로, 0 ~ 5 mole의 CuTiO를조합한 BaTiO를주조성으로하고, 특히양호한소결성을가지는 2 mole의 CuTiO와의조합에대해첨가제로서 MO가 0 ~ 5 mole로구성되는것을특징으로한다. 여기서 M은 La, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er 및 Yb 중에서선택되는어느하나이상의성분이다. 본발명에따르면 1100℃의 저온에서평균입경이 0.2㎛이하인저온소성용초미립 BaTiO계유전체세라믹스를얻을수 있다.
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