公开(公告)号：KR1019970001965B1

公开(公告)日：1997-02-20

申请号：KR1019930006540

申请日：1993-04-19

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 정형진 ,  유광수 ,  최두진 ,  정종학

IPC: G01K7/16

Abstract: A process for manufacturing a thin film platinum temperature sensor capable of removing platinum remaining at a boundary after laser trimming is disclosed. In the process, a surface of an alumina substrate is cleaned and dried. Platinum is deposited on the alumina substrate in the form of a thin film. The thin film of platinum is heat-treated. An active photosensitive material is spin-coated on the heat-treated thin film of platinum, soft-baked, exposed to helium light, photoprinted, and then hard-baked. The heat-treated thin film of platinum is chemically etched by using an etching solution so that a serpentine type pattern is formed on the thin film of the platinum. A leading wire is connected to both terminals of the formed pattern. The formed pattern is coated by means of a protective film or sealed in a glass or metal pipe.

Abstract translation: 公开了一种能够去除在激光修整之后边界残留的铂的薄膜铂温度传感器的制造方法。 在此过程中，清洁和干燥氧化铝基板的表面。 铂以薄膜的形式沉积在氧化铝衬底上。 铂的薄膜被热处理。 将活性感光材料旋涂在热处理的铂薄膜上，软化，暴露于氦光，照相印刷，然后硬烘烤。 通过使用蚀刻溶液化学蚀刻热处理的铂薄膜，使得在铂的薄膜上形成蛇形型图案。 导线连接到形成图案的两个端子。 形成的图案通过保护膜涂覆或密封在玻璃或金属管中。

公开(公告)号：KR100329806B1

公开(公告)日：2002-03-25

申请号：KR1019990032788

申请日：1999-08-10

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김태송 ,  정형진 ,  정종학

IPC: G01N27/407

Abstract: 본발명은가스센서에관한것으로서, 더욱상세하게는가스의농도에따라전기전도도의변화를감지하도록박·후막형으로제조한 WO₃및 p형반도성물질의고용체감지막(3)을가지는가스센서에관한것이다. 본발명은종래의가스센서의응답특성및 회복속도를증진시키는데목적이있다. 본발명은기판(1)과, 상기기판상면에소정의패턴으로형성되는전극(2)과, 상기전극이형성된기판의상면에형성되는 WO₃및 p형반도성물질의고용체박·후막형감지막(3)과, 상기기판하면에형성되는히터(4)와, 상기히터가형성된기판의하면에형성되는절연재(5)로이루어지는가스센서를제공하여 NO와같은자동차배기가스, 기타연소장치의배기가스이외에도암모니아등과같은감지가능한가스를감지한다. n형반도성을갖는 WO에 p형반도성물질을첨가하여막(3)의소결성을높임과동시에전기적으로막 내에존재하는전도성캐리어의양을조절하여산화성가스, 예컨대 NO와의반응성을증진시킨다. 상기감지막은 CuO, NiO, CoO, CrO, CuO, MoO, BiO, MnO및 PrO으로이루어지는 p형반도성물질군 중에서어느하나이상이첨가된고용체로이루어진다. 여기서, 상기 p형반도성물질의첨가량은 0.1 - 90 wt%일수 있고, 상기감지막은 0.1 - 5 ㎛의박막또는 5 - 100㎛의후막일수 있다.

公开(公告)号：KR1019980067394A

公开(公告)日：1998-10-15

申请号：KR1019970003403

申请日：1997-02-04

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김태송 ,  정형진 ,  정종학

IPC: G01N27/28

Abstract: 본 발명은 자동차의 배출가스 계측에 적용 가능한 저가의 소형 고감도 NO
x 가스 감지 소자를 제공하기 위하여 박막증착용 알루미나 기판 앞면에 소정의 패턴으로 형성되는 백금 박막 전극; 상기 알루미나 기판 뒷면에 형성되는 팔라듐-은 후막 히터; 상기 전극 및 히터에 연결되는 도선; 상기 전극이 형성된 기판의 앞면에 증착되는 NO
x 가스 감지용 산화텅스텐 박막; 상기 산화텅스텐 박막의 앞면에 증착되는 촉매층; 상기 히터가 형성된 기판의 뒷면에 도포되어 기판의 방열 및 기판을 절연시키는 고온용 알루미나 접착제로 이루어지는 NO
x 가스 감지 소자 및 상기 감지 소자의 제조방법을 제공한다.

公开(公告)号：KR1019960014480A

公开(公告)日：1996-05-22

申请号：KR1019940025657

申请日：1994-10-07

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 유광수 ,  정형진 ,  조남웅 ,  정종학

IPC: H01L29/84