Abstract:
PURPOSE: A method for forming a fine fluorescent image by using protected hydroxy group-containing anthraquinone derivatives or naphthacenequinone derivatives is provided. Thereby the obtained protected hydroxy group-containing compound can be applied to recording material and censor material because it can easily form a fine fluorescent image of micrometer units under the condition of a chemically amplified fine image forming process. CONSTITUTION: This method comprises the steps of: preparing a transparent solution by dissolving protected hydroxy group-containing anthraquinone derivatives of formula 1 or naphthacenequinone derivatives of formula 2 and a soluble polymer in an organic solvent; forming a thin film by coating the solution on a substrate; prebaking the thin film coated substrate; and removing a hydroxy protecting group of the anthraquinone derivatives or naphthacenequinone derivatives by treating under the condition of a chemically amplified fine image forming process.
Abstract:
The three component photosensitive resin compsn. used in the formation of a micropattern for the mfr of semiconductor devices is composed of 100 wt. pts. of an alkali-soluble resin i.e. novolac resin contg. an aromatic ring, 5˜40 wt. pts. of a phosphagen cpd. of formula (I) [R=-COO(CCH3)3; x=3 or 4 protected with a t-butoxy carbonyl (t-BOC) gp. as a disslution inhibitor, and 1˜20 wt. pts. of an onium salt of formula ArnX+Y- [Ar=aromatic hydrocarbon gp.; n=1˜3; X=halogen or S; Y=BF4, PF6, AsF6, SbF6, CF3 or SO3 , an organic sulfonic ester or a pyrogallol sulfonic ester cpd. as a photoacid generator.
Abstract translation:三组分感光树脂组合物。 用于半导体器件制造的微图案的形成由100重量% 点。 的碱溶性树脂,即酚醛清漆树脂。 芳香环,5〜40重量% 点。 的磷酸酯cpd。 的式(I)[R = -COO(CCH 3)3; x = 3或4用叔丁氧基羰基(t-BOC)gp保护。 作为消毒抑制剂,和1〜20重量% 点。 的式ArnX + Y- [Ar =芳烃gp; N = 1〜3; X =卤素或S; Y = BF 4,PF 6,AsF 6,SbF 6,CF 3或SO 3,有机磺酸酯或连苯三酚磺酸酯cpd。 作为光致酸发生器。
Abstract:
본 발명은 혈관 및 비혈관계 약물 방출 스텐트의 정밀제어 나노코팅 방법에 관한 것이다. 본 발명은 기존 금속 스텐트에 재협착 및 혈액 응고를 막는 약물을 생분해성 고분자에 혼합하여 초음파 분사기기를 사용하여 코팅하는 방법이다. 나노코팅 조건으로 초음파 분사기기의 분사거리, 스텐트의 회전속도, 고분자의 방출량, 고분자의 농도, 고분자의 분사압력을 조절하고 다양한 생분해성 고분자, 분산 용매 및 약물을 사용하여 최적화하였다. 본 발명은 스텐트에 약물 함유 고분자를 초음파 나노코팅 시 여러 가지 코팅 조건을 정밀 제어함으로서 코팅 두께를 얇게 하고 코팅 시간을 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 스텐트의 코팅 표면을 평활하게 하고 약물 방출을 용이하게 조절할 수 있어서 모든 약물 방출 스텐트에 적용이 가능하다.
Abstract:
본 발명은 반도체 제조에서 미세 패턴 가공 시 노광된 빛의 난반사 억제를 위하여 사용될 수 있으며, 193nm 파장의 원자외선 영역에서 높은 광흡수도를 갖는 N -하이드록시페닐말레이미드 반복 단위 함유 유기 고분자, 이를 포함하는 반사 방지막용 조성물 및 이들의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유기 고분자를 포함하는 바닥 반사 방지막은 기가 비트급 디램(Giga-bit DRAM)의 고집적 반도체 소자 제조에 사용되어 회로의 층간 난반사 및 정재파 현상을 대폭 억제할 수 있으므로, 70nm - 120nm 급의 초고해상도 미세회로를 안정적으로 형성하여 반도체 제품의 생산 수율을 증대시킬 수 있다.