公开(公告)号：KR102212152B1

公开(公告)日：2021-02-04

申请号：KR1020190025179

申请日：2019-03-05

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 문명운 ,  김성진 ,  이영아 ,  박영철 ,  이초희

IPC: B01D35/02 ,  B01D39/14 ,  B01D17/02

Abstract: 본발명은유수분리필터장치에관한것으로, 본발명의실시예에의하면, 기름유출사고발생시해양이나강 등에서수거된혼합유체가저장되는혼합유체저장조에유수분리필터장치가장착될때, 혼합유체내의물만외부로배출될수 있는효과가있다. 또한, 혼합유체저장조내에저장된혼합유체중 기름과불순물이외에물만을선택적으로배출하여제거할수 있어서, 혼합유체저장조의저장효율을높일수 있는효과가있다.

公开(公告)号：KR100086913B1

公开(公告)日：1995-07-18

申请号：KR1019920015242

申请日：1992-08-25

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 안광덕 ,  강종희 ,  박영철 ,  김성주 ,  김상태

IPC: G03F7/004

公开(公告)号：KR1019950004198B1

公开(公告)日：1995-04-27

申请号：KR1019920015242

申请日：1992-08-25

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 안광덕 ,  강종희 ,  박영철 ,  김성주 ,  김상태

IPC: G03F7/004

Abstract: The three component photosensitive resin compsn. used in the formation of a micropattern for the mfr of semiconductor devices is composed of 100 wt. pts. of an alkali-soluble resin i.e. novolac resin contg. an aromatic ring, 5˜40 wt. pts. of a phosphagen cpd. of formula (I) [R=-COO(CCH3)3; x=3 or 4 protected with a t-butoxy carbonyl (t-BOC) gp. as a disslution inhibitor, and 1˜20 wt. pts. of an onium salt of formula ArnX+Y- [Ar=aromatic hydrocarbon gp.; n=1˜3; X=halogen or S; Y=BF4, PF6, AsF6, SbF6, CF3 or SO3 , an organic sulfonic ester or a pyrogallol sulfonic ester cpd. as a photoacid generator.

Abstract translation: 三组分感光树脂组合物。 用于半导体器件制造的微图案的形成由100重量％ 点。 的碱溶性树脂，即酚醛清漆树脂。 芳香环，5〜40重量％ 点。 的磷酸酯cpd。 的式（I）[R = -COO（CCH 3）3; x = 3或4用叔丁氧基羰基（t-BOC）gp保护。 作为消毒抑制剂，和1〜20重量％ 点。 的式ArnX + Y- [Ar =芳烃gp; N = 1〜3; X =卤素或S; Y = BF 4，PF 6，AsF 6，SbF 6，CF 3或SO 3，有机磺酸酯或连苯三酚磺酸酯cpd。 作为光致酸发生器。

公开(公告)号：KR1019940004385A

公开(公告)日：1994-03-15

申请号：KR1019920015242

申请日：1992-08-25

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 안광덕 ,  강종희 ,  박영철 ,  김성주 ,  김상태

IPC: G03F7/004

Abstract: 방향환을 포함하는 알칼리 가용성 수지 100중량부에 대하여 t-BOC기로 보호된 포스파젠화합물을 5내지 40중량부와 광산 발생제를 1내지 20중량부로 조성된 보호 포스파젠 화합물을 용해억제제로 사용한 삼성분계 감광성 수지 조성물.