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    다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자
    11.
    发明授权
    다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자 有权
    具有多层溶胶层的压电陶瓷元件

    公开(公告)号：KR101187465B1

    公开(公告)日：2012-10-02

    申请号：KR1020110009229

    申请日：2011-01-31

    Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

    Inventor： 이희철

    IPC: H01L41/187

    Abstract: 본 발명은 다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자에 관한 것이다. 본 발명에 따른 압전 세라믹 소자는 압전 세라믹 소재층과, 각각 휘발성을 갖는 휘발성 압전 성분을 포함하여 구성되며, 상기 압전 세라믹 소재층의 일측 표면에 순차적으로 적층되는 복수의 제1 졸겔층과, 상기 휘발성 압전 성분을 포함하여 구성되며, 상기 압전 세라믹 소재층의 타측 표면에 순차적으로 적층되는 복수의 제2 졸겔층과, 상기 복수의 제1 졸겔층 중 최외곽에 위치하는 제1 졸겔층의 표면에 형성되는 제1 전극과, 상기 복수의 제2 졸겔층 중 최외곽에 위치하는 제2 졸겔층의 표면에 형성되는 제2 전극을 포함하며; 상기 각 제1 졸겔층의 상기 휘발성 압전 성분의 함량은 상기 압전 세라믹 소재층으로부터 상기 제1 전극으로 갈수록 낮아지며; 상기 각 제2 졸겔층의 상기 휘발성 압전 성분의 함량은 상기 압전 세라막 소재층으로부터 상기 제2 전극으로 갈수록 낮아지는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, PZT 계열이나 NKN 계열 등의 압전 세라믹 소자의 특성 향상, 예를 들어 공공 및 결정립계에 의한 특성 저하의 영향을 감소시키고 누설 전류의 증가 없이 전기적 신호 연결을 위한 전극이 형성 가능하게 된다.

    다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자
    12.
    发明公开
    다층 졸겔층을 갖는 압전 세라믹 소자 有权
    具有多层溶胶层的压电陶瓷元件

    公开(公告)号：KR1020120088111A

    公开(公告)日：2012-08-08

    申请号：KR1020110009229

    申请日：2011-01-31

    Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

    Inventor： 이희철

    IPC: H01L41/187

    CPC classification number: H01L41/1876 ,  H01L41/083 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/318

    Abstract: PURPOSE: A piezoelectric ceramic device including a multilayer sol-gel layer is provided to improve the characteristics of the piezoelectric ceramic device by using the multilayer sol-gel layer. CONSTITUTION: A piezoelectric ceramic material layer(10) is formed. A plurality of first sol-gel layers(21,22,23) are successively laminated on the upper surface of the piezoelectric ceramic material layer. A plurality of second sol-gel layers(31,32,33) are successively laminated on the lower surface of the piezoelectric ceramic material layer. A first electrode(40) is formed on the surface of the first sol-gel layer located farthest from the piezoelectric ceramic material layer among a plurality of the first sol-gel layers. A second electrode(50) is formed on the surface of the second sol-gel layer located farthest from the piezoelectric ceramic material layer among a plurality of the second sol-gel layers.

    Abstract translation: 目的：提供一种包括多层溶胶 - 凝胶层的压电陶瓷器件，通过使用多层溶胶 - 凝胶层来提高压电陶瓷器件的特性。 构成：形成压电陶瓷材料层（10）。 多个第一溶胶 - 凝胶层（21,22,23）依次层压在压电陶瓷材料层的上表面上。 多个第二溶胶 - 凝胶层（31,32,33）依次层压在压电陶瓷材料层的下表面上。 在多个第一溶胶 - 凝胶层中位于离压电陶瓷材料层最远的第一溶胶 - 凝胶层的表面上形成第一电极（40）。 在多个第二溶胶 - 凝胶层中位于离压电陶瓷材料层最远的第二溶胶 - 凝胶层的表面上形成第二电极（50）。

    태양전지의 제조방법
    15.
    发明公开
    태양전지의 제조방법 有权
    太阳能电池的制造方法

    公开(公告)号：KR1020130013773A

    公开(公告)日：2013-02-06

    申请号：KR1020110075565

    申请日：2011-07-29

    Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

    Inventor： 이희철

    IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0236

    CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/04 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18 ,  H01L2924/1026 ,  H01L2924/1067 ,  H01L2924/10672

    Abstract: PURPOSE: A method for fabricating a solar cell is provided to maximize productivity and to improve the efficiency of optical absorption by overdoping one layer among oxide semiconductor layers. CONSTITUTION: A first electrode layer(20) having a concavo-convex(22) is formed on a substrate(10). A first oxide semiconductor layer(30) is formed on the first electrode layer. A metal layer is formed on the first oxide semiconductor layer. The metal layer is planarized by chemical mechanical polishing. A rapid thermal process is performed on the metal layer to form a second oxide semiconductor layer(50).

    Abstract translation: 目的：提供一种制造太阳能电池的方法，以通过在氧化物半导体层之中过度掺杂一层来最大化生产率和提高光吸收效率。 构成：在基板（10）上形成具有凹凸（22）的第一电极层（20）。 第一氧化物半导体层（30）形成在第一电极层上。 在第一氧化物半导体层上形成金属层。 金属层通过化学机械抛光进行平面化。 在金属层上进行快速热处理以形成第二氧化物半导体层（50）。

    반응성 이온 식각 장치 및 상기 반응성 이온 식각 장치를 이용한 태양전지의 텍스쳐링 방법
    16.
    发明授权
    반응성 이온 식각 장치 및 상기 반응성 이온 식각 장치를 이용한 태양전지의 텍스쳐링 방법 有权
    反应离子蚀刻装置和使用其的太阳能电池的纹理方法

    公开(公告)号：KR101184022B1

    公开(公告)日：2012-09-18

    申请号：KR1020100061984

    申请日：2010-06-29

    Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

    Inventor： 이희철 ,  김형수

    IPC: H01L31/04

    CPC classification number: Y02E10/50

    Abstract: 본 발명은 반응성 이온 식각 장치에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 화학적 식각 및 물리적 식각을 단일 공정으로 수행함으로써, 태양전지의 표면에 복잡한 식각 구조를 형성하여 텍스쳐링의 효율을 높일 수 있는 반응성 이온 식각 장치 및 상기 반응성 이온 식각 장치를 이용한 태양전지의 텍스쳐링 방법에 관한 것이다. 상기 텍스쳐링 방법은 태양전지의 기판 위에 박막을 증착하는 제1 단계; 상기 박막 상부에 패턴을 전사하는 제2 단계; 상기 전사된 패턴을 마스크로 하여 상기 박막에 등방성 식각하는 제3 단계; 및 상기 전사된 패턴을 마스크로 하여 상기 박막에 이방성 식각하는 제4 단계;를 포함하고, 상기 제3 단계 및 제4 단계는 동일한 반응성 이온 식각 장치에서 이루어진다.
    본 발명에 따른 태양전지의 텍스쳐링 방법 및 그에 사용되는 반응성 식각 장치는 동일한 장치 내에서 간단한 장치의 조작만으로 화학적 및 물리적 식각 공정을 병행함으로써, 등방성 및 이방성 식각 형상을 형성할 수 있어 제조 공정을 안정화시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 태양전지의 텍스쳐링 방법은 자유롭게 식각 형상을 형성함으로써 태양전지에 있어 광학적 손실을 효율적으로 줄일 수 있다.

    ＭＥＭＳ 구조를 가지는 히터 임베디드 유해 가스 센서의 제작방법
    18.
    发明授权
    ＭＥＭＳ 구조를 가지는 히터 임베디드 유해 가스 센서의 제작방법 有权
    MEMS结构加热器嵌入式有害气体传感器的研制

    公开(公告)号：KR101842648B1

    公开(公告)日：2018-03-28

    申请号：KR1020170012069

    申请日：2017-01-25

    Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

    Inventor： 이희철 ,  김형관 ,  윤희수 ,  김준형

    IPC: G01N27/407

    CPC classification number: G01N27/407 ,  G01N27/4067

    Abstract: 본발명은 MEMS 구조를가지는히터임베디드유해가스센서의제작방법에관한것으로서, 본발명의유해가스센서의제작방법은, 실리콘기판의상면과하면에열적고립층을위한산화막과보호층을위한질화막을순차적층하는단계; 상기하면에형성된상기질화막과상기산화막을순차식각한후, 드러난실리콘층을소정의깊이까지식각하여캐비티를형성하는단계; 및상기상면에마이크로히터를위한전극들과그 사이의저항패턴을형성한후, 그위에절연층, 감지전극패턴및 감지물질층을순차적층하는단계를포함한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种具有MEMS结构，根据本发明，对于氧化物层和用于热隔离层的硅衬底的上表面和下表面上的保护层的氮化物膜中的有毒气体传感器的制造方法的加热器嵌入有毒气体传感器的制造方法 依次分层; 依次蚀刻在下表面上形成的氮化物层和氧化物层，并且将暴露的硅层蚀刻到预定深度以形成空腔; 并且在上表面上形成用于微型加热器的电极和其间的电阻图案，并且在其上依次层叠绝缘层，感测电极图案和感测材料层。

    유리 기판의 패턴 형성 방법 및 상기 방법에 의해 제작된 유리 기판
    19.
    发明授权
    유리 기판의 패턴 형성 방법 및 상기 방법에 의해 제작된 유리 기판 有权
    在玻璃上制作图案的方法

    公开(公告)号：KR101389048B1

    公开(公告)日：2014-04-28

    申请号：KR1020130012952

    申请日：2013-02-05

    Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

    Inventor： 이성의 ,  이희철 ,  이소희

    IPC: C03C15/00 ,  C03C17/06

    CPC classification number: C03C17/09 ,  B82Y30/00 ,  C03C17/32 ,  C03C23/006

    Abstract: The present invention relates to a method for forming fine patterns on a glass plate. The method for forming fine patterns includes a step of sequentially forming a metal layer and a resin layer on a glass plate, a step of patterning the resin layer through a nanoimprint process, a step of forming a metal oxide film by selectively oxidizing the metal layer under a plasma atmosphere including oxidizing gas using the patterned resin layer as a mask, and a step of etching the surface of the glass plate using the metal oxide film as a mask after removing the resin layer and the non-oxidized metal layer. The method improves the optical clarity of a glass plate by forming fine patterns on the surface of the glass plate. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) Step of forming a metal layer on the surface of a glass plate; (CC) Step of forming a patterned resin layer on the metal layer through a nanoimprint process; (DD) Step of forming a metal oxide film by selectively oxidizing the metal layer and forming a patterned metal oxide film by removing the metal layer which is not oxidized with the resin layer; (EE) Step of etching the surface of the glass plate by applying the metal oxide film as a mask; (FF) Step of removing the metal oxide film; (GG) Step 100; (HH) Step 110; (II) Step 120; (JJ) Step 130; (KK) Step 140; (LL) End

    Abstract translation: 本发明涉及一种在玻璃板上形成精细图案的方法。 形成精细图案的方法包括在玻璃板上依次形成金属层和树脂层的步骤，通过纳米压印法对树脂层进行图案化的步骤，通过选择性地氧化金属层形成金属氧化物膜的步骤 在使用图案化树脂层作为掩模的包括氧化气体的等离子体气氛下，在除去树脂层和未氧化金属层之后，使用金属氧化物膜作为掩模来蚀刻玻璃板的表面的步骤。 该方法通过在玻璃板的表面上形成精细图案来提高玻璃板的光学透明度。 （附图标记）（AA）开始; （BB）在玻璃板的表面形成金属层的工序; （CC）通过纳米压印法在金属层上形成图案化树脂层的步骤; （DD）通过选择性地氧化金属层并通过除去未被树脂层氧化的金属层形成图案化的金属氧化物膜来形成金属氧化物膜的步骤; （EE）通过将金属氧化物膜作为掩模来蚀刻玻璃板的表面的步骤; （FF）去除金属氧化物膜的步骤; （GG）步骤100; （HH）步骤110; （II）步骤120; （JJ）步骤130; （KK）步骤140; （LL）结束

    태양전지의 상부 전극 제조방법
    20.
    发明公开
    태양전지의 상부 전극 제조방법 有权
    太阳能电池的制造方法

    公开(公告)号：KR1020130013774A

    公开(公告)日：2013-02-06

    申请号：KR1020110075567

    申请日：2011-07-29

    Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

    Inventor： 이희철

    IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0224

    CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/04 ,  H01L28/88 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/022433 ,  H01L31/18

    Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing the upper electrode of a solar cell is provided to maximize productivity by forming a first and a second pattern by a hybrid print method including screen printing and nano imprinting. CONSTITUTION: A lower electrode layer(12) and a first dopant semiconductor layer(14) are formed on a substrate(10). An optical absorption layer(16) and a second dopant semiconductor layer(18) are formed on the first dopant semiconductor layer. A first pattern(20) is formed on the second dopant semiconductor layer. A stamp(40) compresses the first patterns to form a second pattern(30) which has a smaller line width than first patterns. An intaglio groove(32) is formed in the lower surface of the stamp.

    Abstract translation: 目的：提供一种用于制造太阳能电池的上电极的方法，以通过包括丝网印刷和纳米印刷的混合印刷方法形成第一和第二图案来最大化生产率。 构成：在基板（10）上形成下电极层（12）和第一掺杂剂半导体层（14）。 在第一掺杂剂半导体层上形成光吸收层（16）和第二掺杂剂半导体层（18）。 在第二掺杂剂半导体层上形成第一图案（20）。 印模（40）压缩第一图案以形成具有比第一图案更小的线宽的第二图案（30）。 凹版凹槽（32）形成在印模的下表面上。

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