公开(公告)号：KR100591244B1

公开(公告)日：2006-06-20

申请号：KR1020050028114

申请日：2005-04-04

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김성진 ,  양해식 ,  표현봉 ,  최창억

IPC: G01N33/543

Abstract: 본 발명은 유체주입구의 압력을 제어할 수 있는 미세 유체 소자 및 이를 구비하는 미세 유로망에 관한 것으로, 상부기판과 하부기판 사이에 형성되며, 각각의 일측에는 유체를 주입하기 위한 유체주입구가 형성되고 각각의 타측에는 유체의 이동을 정지시키기 위한 유체정지면이 형성되는 적어도 2개 이상의 유로들과, 상기 유로들에 주입되는 유체들간의 압력차이를 제거하기 위해 상기 유로들의 유체주입구 사이에 형성되어 상기 유체주입구를 연결시키는 압력조절유로와, 상기 유로들의 유체정지면을 통과한 유체들을 합류시키기 위해 형성되는 유체합류부를 포함함으로써, 여러 개의 유로가 동시에 만나고 분기되는 복잡한 미세 유로망(microfluidic network)에서 유로망의 유체합류부에서 합류된 두 유체가 유체합류부를 지날 때 병렬적인 흐름을 가질 수 있으며, 간편한 방법으로 입력단의 압력을 제어할 수 있는 효과가 있다.
미세 유체 소자, 유체 이송 시간 지연, 미세 유로, 모세관 현상, 바이오 칩, 압력

Abstract translation: 本发明涉及一种包括微流体装置的微流体网络，并且它可以控制所述流体注射端口的压力时，它在上基板和下基板之间形成，每个所述一侧的与液体喷射口形成用于注入流体 以消除流体之间的压力差，以被喷射到至少两个或更多个流动通道，所述流动路径中的的流体入口之间形成将要形成用于停止所述流体的一侧的各自的其它运动的流体止动表面的流动路径 压力调节通道连接在流体入口和，由包括流流体止动表面的流体部分的流体连接，以便通过由加入其中将要形成，来自流路的数目流动，同时满足分支复杂微流体网络（微流体网络）是 在网络的流体汇合部分汇合的两种流体在通过流体汇合部分时具有平行流动 并且，存在可以控制以简单的方式在输入端的压力的影响。

公开(公告)号：KR100561911B1

公开(公告)日：2006-03-20

申请号：KR1020030097269

申请日：2003-12-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박세호 ,  정문연 ,  양해식 ,  임용택 ,  김규원 ,  이대식 ,  정광효 ,  김성진 ,  윤태환 ,  김윤태

IPC: G01N27/22

Abstract: 본 발명은 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 게재된 전하를 띠고 있는 생체분자를 포함하여, 두 전극 사이의 전하량의 차이 변화시킴에 따라 측정되는 커패시턴스의 변화값을 측정하여 생체분자간의 화학적 결합정도를 분석하는 분석장치를 제공한다. 두 전극사이의 거리를 마이크로미터 원리를 이용해서 조절가능케 함으로써 편리성를 높이는 장점을 제공한다.
커패시턴스, 생체분자, DNA, SNP

公开(公告)号：KR100529233B1

公开(公告)日：2006-02-24

申请号：KR1020030062413

申请日：2003-09-06

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 하승철 ,  김용신 ,  양윤석 ,  김용준 ,  양해식 ,  김윤태

IPC: G01N27/416

CPC classification number: G01N27/128

Abstract: 본 발명은 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 센서 물질을 담을 수 있는 우물(well)이 형성된 반도체 기판과 센서 물질의 전기적 변화를 측정하기 위한 전극, 멤브레인(membrane) 그리고 가열기로 이루어진 센서 및 그 제조 방법으로 다음과 같은 것이다. 기판(substrate) 위에 전극과 멤브레인 그리고 가열기를 순서 대로 형성한 후 기판의 반대면에 이방성 습식각을 이용하여 실리콘을 제거하여 줌으로써 전극 위에 우물을 형성시킨다. 이때 생성된 우물들은 용매(solvent)에 녹여진 다양한 센서 물질(sensor material)들을 각각의 전극 위에 증착 시 널리 퍼지지 못하게 하여 작은 크기로 센서 어레이를 집적화 할 수 있을 뿐 아니라 멤브레인 구조를 지니고 있어 열손실이 작아 센서막을 저전력으로 원하는 온도에서 유지시켜 줄 수 있다.
센서 어레이(sensor array), 전자코(electronic nose), 마이크로 히터(microheater), 멤브레인(membrane), 이방성 습식식각(anisotropic wet etching), 우물(well)

公开(公告)号：KR1020050063358A

公开(公告)日：2005-06-28

申请号：KR1020030094752

申请日：2003-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정광효 ,  양해식 ,  이대식 ,  임용택 ,  김성진 ,  박세호 ,  김규원 ,  김윤태

IPC: C12Q1/00

CPC classification number: B01F13/0086 ,  B01L3/502738 ,  B01L3/502746 ,  B01L2200/0621 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0864 ,  B01L2300/0867 ,  B01L2400/0406 ,  B01L2400/0622 ,  B01L2400/0688 ,  B33Y70/00 ,  B33Y80/00 ,  Y10T137/2082 ,  Y10T137/2224

Abstract: 본 발명은 미소 유체 제어소자 및 미소 유체의 제어 방법에 관한 것으로, 자연적인 유체의 유동과 용액 투입만으로 미소량의 유체를 제어한다. 용액 투입에 따른 표면장력의 변화에 의해 모세관의 압력장벽이 제거되도록 하므로써 미소 유체의 이동, 합류, 혼합 및 시간지연이 이루어진다. 정지밸브에 의해 유체가 정지된 상태에서 용액을 투입하여 정지밸브에 정지된 유체의 계면과 만나도록 하므로써 정지밸브의 기능이 상실되어 유체의 이동, 합류 및 혼합이 이루어진다. 본 발명의 유체 제어 방법은 생화학적 반응을 위한 미소 유체 제어소자에 응용될 수 있으며, 용액의 투입에 따른 모세관력의 변화만을 이용하므로 소자의 구조가 간단하다.

Abstract translation: 提供了一种用于控制微流体的微流控制装置和方法，并且即使使用天然流体流动和溶液注入也能控制微量的流体，其中毛细管的压力屏障由于溶液注入导致的表面张力变化而被去除 从而获得微流体的输送，流动，混合和时间延迟，并且为了详细说明，当流体被截止阀停止时，溶液被注入以满足停止的流体的边界表面，使得截止阀 被移除以获得流体的输送，流动和混合，并且用于控制微流体的方法可以应用于用于生物化学反应的微流控制装置，并且其仅使用由溶液注入引起的毛细管力变化，从而使其 结构简化。

公开(公告)号：KR1020050059364A

公开(公告)日：2005-06-20

申请号：KR1020030091014

申请日：2003-12-13

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 조성목 ,  김용신 ,  김용준 ,  하승철 ,  양윤석 ,  양해식 ,  김윤태

IPC: G01N27/12 ,  B82Y15/00

Abstract: 본 발명은 카본 나노튜브를 이용한 가스센서용 가스 흡착 및 탈착 장치에 관한 것으로, 가열층 역할을 하는 전극, 상기 전극 위에 선택적으로 성장되며 흡착제로 작용하는 카본 나노튜브, 그리고 이들을 수용하는 구조체 등으로 구성된다. 본 발명의 흡착 및 탈착 장치는 일반적인 반도체 제조 공정으로 제작이 가능하며, 가스센서 등과 일체형으로 집적할 수 있어 소형화가 용이하다. 또한, 카본 나노튜브의 뛰어난 열전도 특성으로 인해 탈착시에 효율적인 가열이 이루어지므로 저전력으로 동작된다.

公开(公告)号：KR100484489B1

公开(公告)日：2005-04-20

申请号：KR1020020067052

申请日：2002-10-31

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김효겸 ,  강선길 ,  신동호 ,  김윤태 ,  양해식

IPC: G01N27/327

CPC classification number: C12Q1/001

Abstract: 본 발명은 일괄적으로 제작하여 재현성을 개선할 수 있는, 바이오 센서, 그의 어레이 구조 및 다수의 바이오 센서를 제조하는 방법을 개시한다. 개시된 바이오 센서 어레이의 제조방법은, 기판상에 희생층을 형성하고, 상기 희생층 상부에 하부 절연막을 형성한다. 상기 하부 절연막 상에 다수의 전극 및 패드들을 형성하고, 상기 전극 및 패드들이 형성된 하부 절연막 상부에 상부 절연막을 형성한다음, 상기 상부 절연막 상부에 하드 마스크막을 형성한다. 상기 전극 및 패드들이 노출되도록 하드 마스크막 및 상부 절연막을 소정 부분 식각하고, 상기 하드 마스크막을 제거한 후, 상기 희생층을 제거하여, 상기 기판을 하부 절연막으로부터 분리한다. 이어서, 상기 노출된 전극 상부에 선택적으로 효소막(또는 효소막과 고분자막) 혹은 도금막을 형성한다. 그후에, 상기 결과물 상부에 외부막을 피복하고, 상기 외부막, 상부 절연막 및 하부 절연막의 소정 부분을 제거하여, 개별 바이오 센서별로 분리한다.

公开(公告)号：KR100479264B1

公开(公告)日：2005-03-28

申请号：KR1020020067391

申请日：2002-11-01

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박세호 ,  양해식 ,  이대식 ,  신용범 ,  김규원 ,  윤태환 ,  김성진 ,  윤현철 ,  김윤태

IPC: C12Q1/68

Abstract: 본 발명은 주기적 가열과 냉각을 통한 혼성화 단계를 포함하는 혼성화 방법 및 이를 사용하는 폴리뉴클레오타이드 검출 장치에 관한 것이다. 먼저, 프로브에 타겟 폴리뉴클레오타이드를 공급한 후, 프로브와 타겟 폴리뉴클레오타이드의 혼성화물의 용융 온도보다 높은 온도에서 혼성화시키는 고온 혼성화 단계와 용융 온도보다 낮은 온도에서 혼성화시키는 저온 혼성화 단계를 2회 이상 순환하여 실시한다. 본 발명에 따르면, 혼성화가 신속하게 진행될 뿐만 아니라 혼성화 특이성도 증대시킬 수 있다. 따라서, 유전자 서열 내의 이상에 관한 정보를 신속 정확하게 검출해낼 수 있다.

公开(公告)号：KR100475310B1

公开(公告)日：2005-03-11

申请号：KR1020020069053

申请日：2002-11-08

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 강선길 ,  신동호 ,  김효겸 ,  양해식 ,  김윤태

IPC: C12Q1/68

Abstract: 본 발명은 유로형 다중 전기화학 시스템을 이용하여 마이크로 어레이 전극에 효소전극센서, 항원-항체 반응에 기반한 면역센서 등의 다채널 바이오센서를 제작하는 방법을 제공한다. pH 변화와 전위의 인가에 따른 폴리머의 선택적인 침전을 이용하여 원하는 전극의 표면에만 보호막을 형성한 후 노출된 전극의 표면에 생체막 a를 고정시킨다. 보호막으로 이용된 폴리머를 용해시켜 제거하고 다시 원하는 전극의 표면 및 생체막 a의 표면에 보호막을 형성한 후 노출된 전극의 표면에 생체막 b를 고정시킨다. 이와 같은 공정의 반복적인 실시를 통해 마이크로 어레이 전극에 여러 종류의 생체막이 고정된 다채널 바이오센서를 제작한다.
또한, 본 발명은 생체막과 pH에 따라 용해도가 변하는 폴리머가 용해된 수용액의 반응에 따른 pH 변화에 의해 생체막 표면에 폴리머가 침전되도록 하므로써 전극의 모양, 형태, 크기에 상관없이 모든 종류의 전극 사이트에 외부막을 형성할 수 있도록 한다.

公开(公告)号：KR100475307B1

公开(公告)日：2005-03-11

申请号：KR1020020069882

申请日：2002-11-12

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정문연 ,  신동호 ,  양해식 ,  김용신 ,  윤태환 ,  전치훈 ,  김윤태 ,  강승열 ,  이용의 ,  안성덕 ,  서경수

IPC: C12Q1/68

Abstract: 본 발명은 입사광을 특정 셀에 조사하여 DNA 등의 생체분자 혹은 고분자 어레이를 형성하기 위한 투과형 프로그래머블 마스크 및 이를 이용한 생체분자 혹은 고분자 어레이를 형성 방법에 관한 것이다.
프로그래머블 마스크의 단위 화소들 각각은 입사광의 진행을 방해하고 전기 영동에 의해 이동하는 전하를 띤 입자들을 구비하는 용액과 입자들의 배열을 변화시켜 입사광의 투과도를 조절하기 위해서, 입자들에 전압을 인가하기 위한 전극들을 구비하여 구성된다.

公开(公告)号：KR100452946B1

公开(公告)日：2004-10-14

申请号：KR1020020074014

申请日：2002-11-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이대식 ,  양해식 ,  고종수 ,  윤태환 ,  김효겸 ,  신용범 ,  김성진 ,  박세호 ,  김규원 ,  김윤태

IPC: C12M1/00 ,  G01N27/26

Abstract: PURPOSE: A low power consumption microfabricated thermal cycler and a method for fabrication of the same are provided, thereby accurately and minutely controlling the temperature of the reaction occurring area, so that it can be applied to various bio chips including PCR chip, protein chip, DNA chip, drug delivery system, micro biological/chemical reactor and lab-on-a-chip. CONSTITUTION: The low power consumption microfabricated thermal cycler comprises an upper board(112) and a lower board(100), wherein the upper board(112) comprises an fluid inlet(114) and outlet, a reaction chamber(118), and a fluid channel(116) connecting the inlet(114) and outlet to the reaction chamber(118); and the lower board(100) comprises an insulated heating thin layer(106) formed on the lower board(100), a heating means(102) formed on the insulated heating thin layer(106), a temperature sensor(104) formed on the insulated heating thin layer(106), and an insulating layer(108) covering the heating means(102) and the temperature sensor(104); and the insulated heating thin layer(106) is composed of Si3N4, SiO2, Si3N4/SiO2/Si3N4 or SiO2/Si3N4/SiO2 and has thickness of 0.1 to 10 micrometer.

Abstract translation: 目的：提供一种低功耗的微制造型热循环仪及其制造方法，从而准确而精确地控制反应发生区域的温度，从而可应用于各种生物芯片，包括PCR芯片，蛋白质芯片， DNA芯片，药物输送系统，微生物/化学反应器和芯片实验室。 构成：低功耗微制造热循环仪包括上板（112）和下板（100），其中上板（112）包括流体入口（114）和出口，反应室（118）和 将入口（114）和出口连接到反应室（118）的流体通道（116）; （100）上形成的绝缘加热薄层（106），形成在绝缘加热薄层（106）上的加热装置（102），形成在其上的温度传感器（104） 绝缘加热薄层（106）和覆盖加热装置（102）和温度传感器（104）的绝缘层（108）; 所述绝缘加热薄膜（106）由Si3N4，SiO2，Si3N4 / SiO2 / Si3N4或SiO2 / Si3N4 / SiO2组成，厚度为0.1〜10微米。