Abstract:
본 발명은 마이크로스트립 오픈 스터브선 방식의 고온초전도 9-극 저역 통과필터에 관한 것으로서, 마이크로파 특성이 우수한 단결정기판과, 상기 단결정기판 상부의 일측 모서리에 형성된 신호 전송용 입력단과, 상기 단결정기판 상부의 신호 전송용 입력단이 형성된 일측 모서리의 반대인 타측 모서리에 형성된 신호 전송용출력단과, 상기 단결정기판 상부의 상기 입력단과 출력단 사이에 신호의 진행 방향과 수직으로 형성되어 신호를 전송하는 5개의 마이크로 스트립 오픈 스터브와, 상기 오프 스터브 사이에 수직을 이루도록 형성된 4개의 마이크로 스트립으로 형성된 필터 패턴과, 상기 단결정기판의 하부에 형성된 접지판을 포함한다. 따라서, 필터 패턴의 극수가 증가되므로 통과 대역에서의 맥류 진폭이 0.02dB 이내로 감소되어 통과대역에서의 편평도를 향상시킬 수 있으며, 또한, 저지대역에서 스커트 특성 향상과 저지대역을 가파르게 할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 계측용 진공챔버에 부각시켜 사용하는 시리얼 커넥터로서 마이크로파 및 밀리미터파 측정을 위한 진공 챔버용 나사형 메일-메일 커넥터에 관한 것으로 측정용 저온 진공챔버에 쉽게 부착할 수 있으며, 케이블과 조임나사 사이의 간극을 없애고 완벽한 통합을 위하여 10 -8 까지 진공도를 유지할 수 있는 진공용 에폭시를 사용한 접합부위를 형성하여 고주파 전송특성을 잘 유지시키도록 하기 위하여 마이크로스트립형 고온초전도 마이크로파 전송선 소자(수동소자) 및 능동소자 그리고 GaAs-MMICs들의 저온 고주파 특성을 마이크로파 대역에서 밀리미터파 대역까지 측정할 수 있도록 하며 또한 계측용 진공챔버와 마이크로파 계측장비의 단자사이에서 우수한 전기적 정합을 얻고 측정시 전송신호의 단락없는 전이를 가능하게 함을 특징으로 한다.
Abstract:
본 발명은 전보통신용 마이크로파 전송선 소자의 일종으로, 새로운 산화물인 고온 초전도체와 박막형 이중모드 방식을 채택한 것으로서, 마이크로파 영역에서의 성능이 매우 우수한 것으로 인식되고 있다. 마이크로파 대역으로의 전파이용 확대 및 급증하는 전파 서비스 요구와 더불어 박막제조 장비의 발달은 고온 초전도 박막을 이용한 통신소자의 개발에 박차를 가하게 하였다. 즉, 한정된 전파자원을 효율적으로 활용하기 위해서는 매우 우수한 특성의 마이크로파 부품개발이 요구되는 바, 여기에 높은 양호도를 발휘할 수 있는 무손실 무저항의 고온 초전도체의 응용은 마이크로파 부품의 특성 향상에 매우 유리하다. 본 발명은 고온 초전도 박막을 이용하여 마이크로파 영역에서 사용할 수 있는 새로운 개념을 갖는 3가지 종류(사각패치형, 원판형, 고리형)의 마이크로파 이중모드 공진기의 설계 및 제작에 관한 것이며 고온 초전동 에피택셜 박막과 시뮬레이션으로 구한 최적회로 패턴을 전사시킨 전자선 마스크를 이용한 포토리소그래픽 공정과 식각공정을 통해 YBa 2 Cu 3 O 7-5 /MgO/Ti(또는 Cr)/Ag구조의 마이크로파용 이중모드 공진기를 제작한 것이다. 본 발명에 따른 이중모드 공진기의 구성은 미세형상화된 고온 초전도 이중모드 공진기 패턴과, 고온 초전도 박막의 우수한 성장을 위한 마이크로파용 기판, 고주파 캐비티(공동)와의 우수한 접촉을 위한 접지 평면으로 구성되어 있다. 이러한 이중모드 공진기의 주파수 특성측정을 통해 고온 초전도체의 마이크로파 응용 가능성을 확인하였으며, 저온(77K 근방)에서는 기존의 금속박막형 고주파 수동소자보다 성능이 우수함도 알수 있었다.
Abstract:
PURPOSE: An ultra high frequency modulation laser optical generator of complex resonator structure is provided to secure technology to generate continuous wave laser by adjusting polarization controller from single laser optical generator. CONSTITUTION: An ultra high frequency modulation laser optical generator is composed of a ring type optical fiber laser resonator(10), a linear optical fiber laser resonator(20), and 50% optical fiber combinator(30) to combine two resonator(10,20). The ring type optical fiber laser resonator(10) is composed of a 10m light amplified fiber(LAF)(11) for optical amplification, a 20m distribution compensation fiber(DSF)(12) for nonlinear polarization effect, an optical direction controller(13), and a polarization controller(14). The linear optical fiber laser resonator(20) is composed of a mirror(23a,23b) having real 100% reflectivity which is arranged at both end, a 20m distribution compensation fiber(DSF), and a polarization controller(21).
Abstract:
1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치 2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제 본 발명은 빛을 도파시킬 수 있는 광섬유를 사용하되, 이 광섬유 출구 한 끝을 원뿔형으로 가공하여 도파된 빛을 렌즈의 사용없이 레이저 어블레이션을 발생시키기 위해 필요한 에너지 밀도를 얻고, 이 집적된 에너지를 이용하여 미세 스트립 선로의 폭 및 면적을 직접 식각하므로써 박막집적소자의 표면 정전용량 및 인덕턴스의 미세조정 등을 가능하게 하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각 장치를 제공함에 그 목적이 있다. 3. 발명의 해결방법의 요지 본 발명은, 자외선 빔을 발생하는 수단; 상기 레이저 발생수단에서 방사되는 레이저 빔의 전달경로를 제공하는 광섬유 도파관; 상기 레이저 발생수단과 광섬유 도파관 사이에 장착되어 광섬유내로 레이저 빔이 입사되도록 집중시키는 수단; 및 상기 광섬유도파관의 출구에서 출력된 빔에 의해 식각재료가 소정각도에서 식각되도록 위치조절하는 샘플 플랫포옴을 포함하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치를 제공한다. 4. 발명의 중요한 용도 박막위에 형성된 마이크로 스트립선로의 폭 및 면적의 미세조정을 레이저 어블레이션을 이용하여 직접적인 건식식각을 통하여 이루므로써 집적소자의 표면정전 용량 및 인덕턴스의 미세조정을 가능하게 하는 것임,
Abstract:
본 발명은, 마이크로파용 고온초전도 4-극 대역통과 필터 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 초고주파 특성이 우수한 고온 초전도 에피택셜 박막 위에 실제로 설계 과정이나 소자 제조공정을 고려하여 마이크로스트립 폐루프형 공진기와 마이크로스트립 결합선을 집적하는 방식으로 구현하고, 저온 마이크로파 특성에 영향을 주지 않기 위해 입출력단에 금속 패드를 증착하며, 초전도성의 열화가 유도되는 것을 방지하기 위해 습식 식각 보다 건식 식각에 치중하는 식각 방식을 포함하는 고온 초전도 대역통과 필터 및 그 제조 방법이며, 신호를 거의 손실없이 통과시키고, 통과대역 양단의 저지대역에서는 스커트(skirt) 특성이 좋아서 효과적인 신호 전송 저지 기능과 잡음 제거 기능이 있다.
Abstract:
본 발명은 마이크로파 통신 시스템에서 사용되는 핵심부품인 다채널 멀티플랙서의 한 부분으로 마이크로스트립 분기선 방식의 3dB 하이브리드 결합기와 평행결합선 방식의 2극 대역통과필터를 집적시킨 고온초전도 서브시스템에서, 본 발명은 마이크로스트립 방식의 고온초전도 마이크로파 듀플렉서는 고온초전도 YBCO/MgO 에피택셜 박막과 미세 형상화 공정을 통하여 구현 하였으며, 출력포트에서의 필터 신호는 11GHz 중심주파수를 가졌다. 한편, 4포트형 3성분 시험치구에 제조한 고온초전도 듀풀렉서를 내장시키고 저온 마이크로파 특성의 측정을 위한 기판 앞 뒷면에는 전자선 증발기로 이중 금속 전극 및 접지 평판을 증착하였다. 따라서 고온초전도 듀플렉서는 Au/Ti/YBCO/MgO/Ti/Ag 구조를 갖게 된다. 이러한 고온초전도 듀플렉서는 사용하는 무선 및 마이크로파 통신 부품을 무손실, 무분산으로 신호처리가 가능하고 마이크로스트립선 방식의 서브시스템이므로 제조도 간단하고 경량이며, PLD와같은 장비에서 가장 적합한 설계이다. 그리고 이 설계는 고온초전도 MMIC의 발달을 촉진할 것으로 기대된다.
Abstract:
본 발명은 RF 및 마이크로파 통신시스템이나 통신기기에 사용되는 멀티플렉서, 믹서등의 핵심부품을 구성하는 핵심소자이면서도 기본소자인 특정주파수대역에서만 정보를 통과시키게 하는 X-밴드용 섭동준고리형 고온초전도 이중모드 5-극 대역통과 필터에 관한 것으로, RF 및 마이크로파 특성이 우수한 MaO 단결정 기판과 상기 단결정 기판 상부의 한쪽 모서리에 형성한 신호 전송용 입출력단(gold pad 포함)과 상기 단결정 기판 상부의 상기 입출력단과 마이크로스트립 결합선 사이에 신호의 전송에너지를 제어하거나 필터링하는 섭동준 고리형 공진기 2개와 마이크로스트립 결합선을 집적시킨 고리형 고온초전도 이중모드 5-극 대역통과 필터의 회로패턴과, 상기 단결정 기판의 하부에 증착시킨 접지평면용의 금속박막을 포함하여 구성되어 고리형 고온� �전도 이중모드 대역통과 필터의 극수를 5-극으로 하고, 회로패턴의 크기는 기판의 크기를 고려하여 15㎜×15㎜내로 하여, 마이크로파 특성은 통과대역에서의 맥류진폭도 매우 작안 평평도가 우수하고, 저지대역까지의 가파르기인 스커트 특성도 우수하다.
Abstract:
본 발명은 마이크로스트립 평행결합선 방식의 고온초전도 6-극 대역 통과 필터에 관한 것으로서, 마이크로파 특성이 우수한 단결정기판과, 상기 단결정기판 상부의 일측에 형성된 신호 전송용 입력단과, 상기 단결정기판 상부의 상기 신호 전송용 입력단의 타측에 형성된 출력단과, 상기 단결정기판 상부에 입력단 및 출력단과 연결되도록 형성된 ㄱ자형 또는 ㄴ자형의 정합망과, 상기 단결정 기판 상부의 정합망 사이에 있는 마이크로스트립 평행결합선의 갯수에 의해 극수가 결정되는 평행결합선 방식으로 형성된 6-극 필터 패턴과, 상기 단결정 기판 하부에 형성된 Ti/Ag 접지평면을 포함한다. 따라서, 통과대역의 손실 특성을 저하시키지 않으면서 저지대역까지의 스커트 특성을 향상시킬 수 있다.
Abstract:
본 발명은 마이크로파 통신 시스템에서 사용되는 핵심부품인 다채널 멀티플렉서의 한 부분으로 마이크로스트립 분기선 방식의 3dB 하이브리드 결합기와 평행결합선 방식의 2극 대역통과필터를 집적시킨 고온초전도 서브시스템에서, 본 발명은 마이크로스트립 방식의 고온초전도 마이크로파 듀플렉서는 고온초전도 YBCO/MgO 에피택셜 박막과 미세 형상화 공정을 통하여 구현하였으며, 출력포트에서의 필터신호는 11GHz 중심주파수를 가졌다. 한편, 4포트형 3성분 시험치구에 제조한 고온초전도 듀플렉서를 내장시키고 저온 마이크로파 특성의 측정을 위한 기판 앞 뒷면에는 전자선 증발기로 이중 금속 전극 및 접지 평판을 증탁하였다. 따라서 고온초전도 듀플렉서는 Au/Ti/YBCO/MgO/Ti/Ag 구조를 갖게 된다. 이러한 고온초전도 듀플렉서는 사용하는 무선 및 마이크로파 통신부품을 무손실, 무분산으로 신호처리가 가능하고 마이크로스트립선 방식의 서브시스템이므로 제조도 간단하고 경량이며, PLD와 같은 장비에서 가장 적합한 설계이다. 그리고 이 설계는 고온초전도 MMIC의 발달을 촉진할 것으로 기대된다.