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公开(公告)号：KR1020100056000A
公开(公告)日：2010-05-27
申请号：KR1020080114932
申请日：2008-11-19
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A fringe stabilized interferometer using coherent fiber optical tapers is provided to raise the light-focusing efficiency using multi-stage coherent fiber optic tapers for generating a reference wave front and to easily measure the fringe between the reference wave front and the measured wave front of a measuring object in real time. CONSTITUTION: A fringe stabilized interferometer using coherent fiber optical tapers comprises a light source(101), a first condensing lens(102), a first spatial filter(103), a first collimating lens(104), a first half-wave plate(105), a first polarization beam splitter(106), a 1/4 wave plate(107), a second half-wave plate(110), a second condensing lens(113), multi-stage coherent fiber optic tapers(114), a second spatial filter(115), a second collimating lens(116), a third polarization beam splitter(117), a corner cube(112), a polarizer(118), and a detector(119). The first condensing lens, the first spatial filter and the first collimating lens are successively arranged from the light source to change the beam illuminated from the light source into the parallel beam. The first half-wave plate rotates the polarization direction of the linearly polarized beam. The first polarization splitter reflects and transmits the light incoming from the first half-wave plate. The optic fiber taper collects the light incoming from the second condensing lens to one place. The second spatial filter generates a spherical wave by rotation in order to generate the reference wave front.
Abstract translation: 目的：提供使用相干光纤锥度的边缘稳定干涉仪，以提高使用多级相干光纤锥度产生参考波前的光聚焦效率，并轻松测量参考波前和测量波前的边缘 的实时测量对象。 构成：使用相干光纤锥形的边缘稳定干涉仪包括光源（101），第一聚光透镜（102），第一空间滤光器（103），第一准直透镜（104），第一半波片 105），第一偏振分束器（106），1/4波片（107），第二半波片（110），第二聚光透镜（113），多级相干光纤锥度（114） ，第二空间滤光器（115），第二准直透镜（116），第三偏振分束器（117），角立方体（112），偏振器（118）和检测器（119）。 从光源连续布置第一聚光透镜，第一空间滤光器和第一准直透镜，以将从光源照射的光束改变为平行光束。 第一半波片旋转线偏振光束的偏振方向。 第一偏振分离器反射并透射从第一半波片入射的光。 光纤锥度将从第二聚光透镜入射的光收集到一个位置。 第二空间滤波器通过旋转产生球面波，以便产生参考波前。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1020140134822A
公开(公告)日：2014-11-25
申请号：KR1020130054573
申请日：2013-05-14
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B24B13/005 , B24B41/06
CPC classification number: B24B13/005 , B24B41/06
Abstract: 본 발명은 광학거울의 공압시스템에 적용되는 중력보상장치, 중력보상방법 및 그 중력보상장치가 구비된 광학거울의 공압시스템에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 후방면에 다수의 홈이 형성된 광학 거울의 후방면과 특정공간을 갖도록 후방면 측에 결합되는 공압하우징; 내주면이 상기 광학거울의 외주면과 형상맞춤되도록 상기 광학거울과 상기 공압하우징 사이에 구비되어 상기 특정공간을 밀폐시키는 공압외부마개; 상기 특정공간을 가압하여 상기 광학거울을 부양시키는 압력가압수단; 및 상기 광학거울의 외주면을 둘러싸도록 설치된 공압외부마개의 외주면 일측에 구비되는 특정무게를 갖는 적어도 하나의 무게추와, 상기 무게추를 상기 광학거울의 무게중심면과 수직방향으로 이동시키는 이동수단을 구비한 중력보상장치;를 포함하여, 광학거울면의 가공량에 따른 광학거울 무게중심의 이동과 이로 인한 광학거울의 표면형상왜곡 현상을 무게추의 무게와 위치를 조절함으로써 효과적으로 상쇄시킬 수가 있는 중력보상장치를 갖는 광학거울의 공압시스템에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种应用于光学镜的气动系统，重力补偿方法和具有重力补偿装置的光学镜的气动系统的重力补偿装置。 根据本发明，气动系统包括：气动壳体，其与后侧结合，以具有在后侧具有多个凹槽的光学镜的后侧的特定空间; 设置在光学反射镜和气动壳体之间的外部气动盖，以密封该特定空间，以使内圆周表面的形状与光学镜的外周表面的形状相匹配; 用于通过按压所述特定空间来浮动所述光学镜的压力按压装置; 以及重力补偿装置，其包括至少一个重量，所述重物具有安装在围绕所述光学镜的外周面的所述外部气动帽的外周面的一侧中配置的比重，以及移动装置， 光学镜的重心的垂直方向。 具有重力补偿装置的光学镜的气动系统能够有效地抵消由光学镜面的处理量引起的光学镜的重心的运动和由此产生的光学镜的表面形状畸变 通过调整重量的位置和重量。
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公开(公告)号：KR101406124B1
公开(公告)日：2014-06-27
申请号：KR1020120124558
申请日：2012-11-06
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B24B13/00 , B24B13/005
Abstract: 본 발명은 거울 연마 장치 및 거울 연마 방법을 제공한다. 이 거울 연마 장치는 일면은 경량화 패턴을 포함하고 타면은 연마되는 경량화 처리된 거울, 거울이 삽입되어 걸치는 제1 깊이의 제1 홈을 포함하고 제1 홈의 하부면에 제1 깊이보다 큰 제2 깊이의 제2 홈을 포함하는 금속 재질의 고정 블록, 거울의 측면과 제1 홈의 측벽 사이에 삽입되어 유체를 밀폐시키는 밀폐 부재, 유체를 제공받아 제2 홈에 제공하고 제2 홈의 압력을 일정하게 제공하는 유체 압력 조절부, 및 유체 압력 조절부에 유체를 제공하는 유체 공급부를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101078197B1
公开(公告)日：2011-11-01
申请号：KR1020100067664
申请日：2010-07-14
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G02B27/42 , G01B9/0201 , G01B9/02074 , G02B21/0068 , G02B27/283 , G02B2006/12159
Abstract: PURPOSE: A polarized light point diffraction interferometer is provided to being easily arranged in an image forming target object by performing measurement even though a target object vibrates. CONSTITUTION: A polarizer(104) is arranged to be parallel with a polarizing beam splitter(103) to the front of a first direction. A pinhole(104a) is formed on the central part of the polarizer. Polarized light, which is reflected in the polarizing beam splitter, enters the polarizer. Half of incident light is transmitted. The remaining half of the incident light is diffracted with the pinhole and is changed into a spherical wave. A quarter wavelength plate(105) is arranged to be parallel with the polarizer to the front of the first direction. A reference beam and a measurement beam are changed into a circular polarization. An imaging optical system(106) is arranged to be parallel with a quarter wavelength plate to the front of the first direction The reference beam and measurement beam , which pass through the quarter wavelength plate, are entered and reflected in an image formation optical system.
Abstract translation: 目的：提供偏振光点衍射干涉仪，以便即使目标物体振动，也可以通过进行测量而容易地布置在图像形成目标物体中。 构造：偏振器（104）布置成与偏振分束器（103）平行于第一方向的前方。 在偏振片的中央部形成有针孔（104a）。 偏振分束器中反射的偏振光进入偏振器。 一半的入射光被传输。 入射光的剩余一半被针孔衍射并变为球面波。 四分之一波长板（105）被布置成与偏振器平行于第一方向的前方。 参考光束和测量光束变成圆偏振。 成像光学系统（106）被布置成与四分之一波长板平行于第一方向的前方。穿过四分之一波长板的参考光束和测量光束被输入并在图像形成光学系统中反射。
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公开(公告)号：KR101028061B1
公开(公告)日：2011-04-08
申请号：KR1020080114932
申请日：2008-11-19
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 외부진동에 강인하게 광학적 표면 형상을 측정하기 위한 일종의 점회절 간섭계를 제공하고자 한 것으로서, 측정물체의 진동이 기준파면과 측정파면에 공통적으로 존재함에 따라 움직이는 물체의 형상을 안정적으로 측정할 수 있고, 핀 홀 등의 공간필터 및 다단의 결맞은 광섬유 테이퍼를 이용하여 기준파면을 생성하되 다단의 결맞은 광섬유 테이퍼를 이용해 측정광을 모아줌으로써, 측정광의 집속효율을 높일 수 있고, 진동에 강인하여 움직이는 물체의 형상을 보다 안정적으로 측정할 수 있는 결맞은 광섬유 테이퍼를 이용한 간섭무늬 안정화된 간섭계를 제공하고자 한 것이다.
간섭계, 다단의, 결맞은, 광섬유, 테이퍼, 광, 측정물체, 기준파면, 측정파면, 간섭무늬, 안정화
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