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公开(公告)号：KR101632269B1
公开(公告)日：2016-06-21
申请号：KR1020150008870
申请日：2015-01-19
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01J3/4338 , G01J2003/423
Abstract: 본발명은광주파수및 강도변조레이저흡수분광장치및 광주파수및 강도변조레이저흡수분광방법를제공한다. 이광주파수및 강도변조레이저흡수분광장치는가시광선대역의시야빔을출력하는전시야광원; 레이저빔의광주파수를변조주파수(f)로주파수변조하고, 상기레이저빔의강도를변조주파수(f)로강도변조하여프로브빔을출력하고, 상기프로브빔을제공받은측정대상이공명흡수에의하여생성하는레이저흡수신호를전기신호로변환하고, 변환된레이저흡수신호로부터상기변조주파수(f)의제1 고조파성분및 제2 고주파성분을추출하는주파수및 강도변조분광처리부; 상기시야빔 및상기프로브빔을대물렌즈에제공하는빔 처리부; 상기시야빔을상기측정대상에전시야광으로제공하고, 상기프로브빔을그 초점에집속하여상기측정대상의측정위치에제공하는대물렌즈를포함한다.
Abstract translation: 提供了一种光频率和强度调制激光吸收光谱装置和光频率和强度调制激光吸收光谱法。 光频率和强度调制激光吸收光谱装置包括：用于输出可见光束的场光束的全场光源; 频率和强度调制光谱处理单元，用于以调制频率（fm）调制激光束的光频率，以调制频率（fm）调制激光束的强度，以输出探测光束，转换激光吸收信号 ，其由接收探测光束的测量对象的共振吸收而产生，并从转换的激光吸收信号中提取出调制频率（fm）的一次谐波分量和二次谐波分量; 光束处理单元，用于向物镜提供场光束和探测光束; 以及用于将场光束作为全场光提供测量对象的物镜，并将探测光束聚焦在其焦点处，以提供测量对象与聚焦的探测光束的测量位置。 本发明的装置可以精确地量化测量对象的吸光度。
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公开(公告)号：KR1020150061686A
公开(公告)日：2015-06-05
申请号：KR1020130145351
申请日：2013-11-27
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은가스검출장치및 가스검출방법을제공한다. 이가스검출장치는특정한가스의흡수스펙트럼중에서특정한단일흡수선의선폭의범위에서변조주파수를가지고시간에따라레이저주파수를연속적으로변경하는레이저광원; 상기레이저광원의출력광을측정대상에제공하는송신광학계; 상기측정대상에서상기특정한가스에의한흡수되어반사된반사광을수신하는수신광학계; 상기특정한가스의흡수스펙트럼중에서특정한흡수대역의중심에상기레이저광원의중심주파수를고정하기위한주파수잠금부; 및상기수신광학계가측정한상기반사광을분석하여상기변조주파수의고조파성분을추출하는제어부를포함한다.
Abstract translation: 提供气体检测装置和气体检测方法。 气体检测装置包括：激光光源，其具有来自特定气体的吸收光谱的特定单个吸收线的线宽范围内的调制频率，以随着时间连续地改变激光频率; 传输光学系统，用于提供由激光光源输出的用于测量目标的光; 接收光学系统，用于接收由特定气体吸收并从测量对象反射的反射光; 频率锁定部分，用于将激光光源的中心频率从特定气体的吸收光谱固定到特定吸收带的中心; 以及控制部分，其分析由接收光学系统测量的反射光，以提取调制频率的谐波分量。
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公开(公告)号：KR101456545B1
公开(公告)日：2014-11-03
申请号：KR1020130014369
申请日：2013-02-08
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 스펙트럼 영역 간섭 장치 및 스펙트럼 영역 간섭 방법을 제공한다. 이 스펙트럼 영역 간섭 장치는 일정한 주파수 대역에서 일정한 종모드 주파수 간격을 가지고 발진하는 레이저 광원, 레이저 광원으로부터 광을 제공받아 종모드 주파수 간격보다 큰 자유 스펙트럴 레인지(free spectral range;FSR)를 가지고 선택된 종모드들을 투과시키는 파이버 브래그 격자 필터(fiber Bragg grating filter), 파이버 브래그 격자 필터로부터 광을 제공받아 서로 다른 광 경로에 의한 광 경로차를 가지는 간섭광을 제공하는 간섭계, 간섭계로부터 간섭광을 제공받아 주파수에 따라 간섭광을 분해하여 측정하는 스펙트럼 분석기, 및 스펙트럼 분석기의 간섭 신호를 이용하여 주파수에 따른 간섭 신호의 스펙트럴 주기를 추출하고, 스펙트럴 주기를 이용하여 간섭계가 제공한 광 경로차를 추출하는 신호 처리부를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101451176B1
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：KR1020130023174
申请日：2013-03-05
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 스펙트럼 영역 간섭 장치 및 스펙트럼 영역 간섭 방법을 제공한다. 이 스펙트럼 영역 간섭 장치는 일정한 주파수 대역에서 일정한 종모드 주파수 간격을 가지고 발진하는 레이저 광원, 레이저 광원으로부터 광을 제공받아 종모드 주파수 간격보다 큰 자유 스펙트럴 레인지(free spectral range)를 가지고 선택된 종모드들을 투과시키는 광섬유 페룰 공진기(fiber-ferrule optical cavity), 광섬유 페룰 공진기로부터 광을 제공받아 서로 다른 광 경로에 의한 광 경로차를 가지는 간섭광을 제공하는 간섭계, 간섭계로부터 간섭광을 제공받아 주파수에 따라 간섭광을 분해하여 측정하는 스펙트럼 분석기, 및 스펙트럼 분석기의 간섭 신호를 이용하여 주파수에 따른 간섭 신호의 스펙트럼 주기를 추출하고, 스펙트럼 주기를 이용하여 간섭계가 제공한 광 경로차를 추출하는 신호 처리부를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101407482B1
公开(公告)日：2014-06-16
申请号：KR1020120072409
申请日：2012-07-03
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은, 광대역의 가간섭 광을 조사하는 발광부; 적어도 하나의 홀(hole)을 구비하며, 상기 발광부로부터 입사되는 광을 상기 광이 입사되는 면 및 상기 홀의 바닥면에서 반사하는 피측정물; 상기 발광부와 상기 피측정물 사이에 배치되어 상기 발광부로부터 입사된 광 및 상기 피측정물로부터 반사된 광을 분할하는 제1 빔 분할기; 상기 피측정물에서 반사되어 상기 제1 빔 분할기에 의해 분할된 광이 제1 및 제2 경로로 진행하도록 상기 반사된 광을 분할하는 제2 빔 분할기; 상기 제1 경로로 진행된 상기 피측정물에서 반사된 광을 수광하여, 간섭 신호로부터 상기 홀의 깊이를 측정하는 제1 광 검출기; 및 상기 제2 경로로 진행된 상기 피측정물에서 반사된 광을 수광하여, 상기 홀의 형상을 측정하는 제2 광 검출기;를 포함하는 홀 형상 및 깊이 측정 장치를 제공한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020140030381A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：KR1020120093835
申请日：2012-08-27
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: An apparatus and a method for measuring the depth of a micro hole using a lenticular optical fiber comprises: a light emitting unit which radiates broadband coherent light; an object to be measured which includes at least one micro hole and reflects the incident light from the light emitting unit from the bottom of the micro hole; a reference surface which reflects the incident light from the light emitting unit and forms a reference light for interfering the light reflected from the bottom of the micro hole; a light detector which collects the light reflected from the bottom of the micro hole and the reference surface in order to measure the depth of the micro hole from an interference signal; an optical fiber coupler; and a first optical fiber, a second optical fiber, a third optical fiber, and a fourth optical fiber which are diverged from the optical fiber coupler. The first optical fiber is connected with the light emitting unit and transmits the incident light from the light emitting unit to the second optical fiber and the third optical fiber through the optical fiber coupler. The second optical fiber is placed such that the end of the second optical fiber corresponds to the reference surface in order to radiate light to the reference surface and collect the light reflected from the reference surface. The third optical fiber is placed such that the end of the third optical fiber corresponds to the micro hole in order to radiate light to the micro hole and collect the light reflected from the bottom of the micro hole. The fourth optical fiber is connected with the light detector in order to transmit the incident light from the second and third optical fibers to the light detector through the optical fiber coupler.
Abstract translation: 使用双凸透镜光纤测量微孔的深度的装置和方法包括：发射宽带相干光的发光单元; 测量对象，其包括至少一个微孔，并且从微孔的底部反射来自发光单元的入射光; 反射来自发光单元的入射光并形成用于干扰从微孔的底部反射的光的参考光的参考面; 光检测器，其收集从微孔的底部反射的光和参考表面，以便从干扰信号测量微孔的深度; 光纤耦合器; 以及从光纤耦合器发散的第一光纤，第二光纤，第三光纤和第四光纤。 第一光纤与发光单元连接，并且通过光纤耦合器将来自发光单元的入射光透射到第二光纤和第三光纤。 第二光纤被放置成使得第二光纤的端部对应于参考表面，以将光辐射到参考表面并收集从参考表面反射的光。 第三光纤被放置成使得第三光纤的端部对应于微孔，以将光辐射到微孔并收集从微孔的底部反射的光。 第四光纤与光检测器连接，以便通过光纤耦合器将来自第二和第三光纤的入射光透射到光检测器。
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公开(公告)号：KR1020160085548A
公开(公告)日：2016-07-18
申请号：KR1020150002678
申请日：2015-01-08
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은광주파수/강도변조레이저흡수분광장치및 광주파수/강도변조레이저흡수분광방법을제공한다. 이광주파수/강도변조레이저흡수분광장치는측정대상에프로브빔을제공하고소정의주파수대역에서변조주파수(f)로상기프로브빔의광주파수를변조하고상기변조주파수(f)로상기프로브빔의강도를변조하는레이저광원부; 상기측정대상에서반사, 투과, 또는산란된프로브빔을전기신호로변환하는광감지부; 및상기광감지부의출력신호인레이저흡수신호를처리하여상기변조주파수(f)의 1차고주파성분(M) 및상기변조주파수(f)의 2차고조파성분(M)을추출하고상기변조주파수(f)의 1차고조파성분(M)과상기변조주파수의 2차고조파성분(M)의비(M/M)를이용하여상기측정대상에의한상기프로브빔의흡수도를산출하는처리부를포함한다.
Abstract translation: 本发明提供光频率和强度调制激光吸收光谱装置以及光频率和强度调制激光吸收光谱法。 光频率和强度调制激光吸收光谱装置包括：激光光源单元，向待测对象提供探测光束，使用调制频率（f_m）在预定频带中调制探测光束的光频;以及调制 使用调制频率（f_m）的探测光束的强度; 光检测单元将被测量对象中被反射，穿透或散射的探测光束变更为电信号; 以及处理单元，通过处理作为调制频率（f_m）的输出信号的激光吸收信号来提取调制频率（f_m）的第一高次谐波分量（M_1）和调制频率（f_m）的次高次谐波分量（M_2） 光检测单元，并且通过使用调制频率（f_m）的第一高次谐波分量（M_1f）与第二高次谐波分量（M_2f）的比率来计算待测对象的探测光束的吸收度 ）调制频率。
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公开(公告)号：KR1020140004943A
公开(公告)日：2014-01-14
申请号：KR1020120072409
申请日：2012-07-03
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: The present invention provides a device and a method for measuring the shape and depth of a hole. The present invention comprises: a light emitting part for irradiating broadband coherent light; an object to be measured having one or more holes and reflecting the light irradiated from the light emitting part on the surface with which the light is irradiated and the bottom surface of the holes; a beam splitter for splitting the light reflected from the object to be measured so as to head the reflected light to first and second paths; a first light detector for measuring the depth of the holes from interference signals by receiving the light reflected from the object to be measured and headed to the first path; and a second light detector for measuring the shape of the holes by receiving the light reflected from the object to be measured and headed to the second path.
Abstract translation: 本发明提供一种用于测量孔的形状和深度的装置和方法。 本发明包括：用于照射宽带相干光的发光部分; 要测量的物体具有一个或多个孔并将从发光部分照射的光照射在与其照射的表面和孔的底表面上; 分束器，用于分离从被测量物体反射的光，以将反射光照射到第一和第二路径; 第一光检测器，用于通过接收从待测物体反射的光并且朝向第一路径测量来自干扰信号的孔的深度; 以及第二光检测器，用于通过接收从待测物体反射的光并朝向第二路径测量孔的形状。
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