유기-무기 하이브리드 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기-무기 하이브리드 박막 제조 방법
    11.
    发明公开
    유기-무기 하이브리드 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기-무기 하이브리드 박막 제조 방법 有权
    用于有机无机混合薄膜的沉积装置及使用其制造有机无机混合薄膜的方法

    公开(公告)号:KR1020140112633A

    公开(公告)日:2014-09-24

    申请号:KR1020130026189

    申请日:2013-03-12

    Abstract: The present invention relates to a deposition device for an organic-inorganic hybrid thin film and a method for manufacturing an organic-inorganic hybrid thin film using the same. In the deposition device for an organic-inorganic hybrid thin film, an atomic layer deposition chamber for the deposition of inorganic matters and a thermal deposition chamber for the depositing of organic matters are vertically connected. A gate valve is arranged in a connection path connecting the chambers. An injection port for supplying an inorganic deposition source is arranged in the atomic layer deposition chamber. A unit for heating an organic deposition source is arranged in the thermal deposition chamber. In the formation of a molecular organic-inorganic thin film, the present invention can form the multi-layered physical thin film of the organic and inorganic layers using a thermal deposition method and an atomic layer deposition method and the multi-layered thin film of the organic and inorganic layers through a chemical combination on the interface of the organic and inorganic layers.

    Abstract translation: 本发明涉及一种有机 - 无机混合薄膜的沉积装置及其制造方法。 在有机 - 无机混合薄膜的沉积装置中,垂直连接用于沉积无机物质的原子层沉积室和用于沉积有机物的热沉积室。 闸阀布置在连接腔室的连接路径中。 用于提供无机沉积源的注入口布置在原子层沉积室中。 用于加热有机沉积源的单元布置在热沉积室中。 在分子有机 - 无机薄膜的形成中,本发明可以使用热沉积法和原子层沉积法形成有机和无机层的多层物理薄膜,并且可以形成多层薄膜 有机和无机层通过化学组合在有机和无机层的界面上。

    전이금속 칼코게나이드 층의 제조 방법
    15.
    发明授权
    전이금속 칼코게나이드 층의 제조 방법 有权
    生产过渡金属硫属元素化物层的方法

    公开(公告)号:KR101809251B1

    公开(公告)日:2017-12-14

    申请号:KR1020160153524

    申请日:2016-11-17

    Abstract: 본발명은다양한기판에고품질전이금속칼코게나이드층을직접합성할수 있으며, 대면적의전이금속칼코게나이드층을연속적으로대량합성할수 있는전이금속칼코게나이드층의제조방법에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于高品质的过渡金属硫族化物层的制备和可以直接过渡合成金属硫属化物层,可以连续合成大量具有在各种基材上的大面积的过渡金属硫族化物层的。

    그래핀 적층 구조체의 제조방법 및 이로 제조된 그래핀 적층 구조체
    17.
    发明授权
    그래핀 적층 구조체의 제조방법 및 이로 제조된 그래핀 적층 구조체 有权
    石墨层压结构及其使用的石墨层压结构的制造方法

    公开(公告)号:KR101629697B1

    公开(公告)日:2016-06-13

    申请号:KR1020140138458

    申请日:2014-10-14

    Abstract: 본발명은그래핀적층구조체의제조방법및 이로제조된그래핀적층구조체에관한것으로, 보다상세하게는그래핀위에금속촉매를코팅하고, 코팅된금속촉매위에다시그래핀을형성하여, 그래핀의결함을보완하여투과도의감소없이전기전도도가향상된그래핀적층구조체의제조방법및 이로제조된그래핀적층구조체에관한것이다.

    그래핀 적층 구조체의 제조방법 및 이로 제조된 그래핀 적층 구조체
    18.
    发明公开
    그래핀 적층 구조체의 제조방법 및 이로 제조된 그래핀 적층 구조체 有权
    石墨层压结构的制造方法及其使用的石墨层压结构

    公开(公告)号:KR1020160043797A

    公开(公告)日:2016-04-22

    申请号:KR1020140138458

    申请日:2014-10-14

    CPC classification number: C01B32/184 C01B32/186 C01B2204/04 C01B2204/22

    Abstract: 본발명은그래핀적층구조체의제조방법및 이로제조된그래핀적층구조체에관한것으로, 보다상세하게는그래핀위에금속촉매를코팅하고, 코팅된금속촉매위에다시그래핀을형성하여, 그래핀의결함을보완하여투과도의감소없이전기전도도가향상된그래핀적층구조체의제조방법및 이로제조된그래핀적층구조체에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种叠层石墨烯结构体及其制备方法。 更具体地说,本发明涉及一种层叠石墨烯结构体的制备方法,其在石墨烯上涂覆金属催化剂并在涂覆的金属催化剂的顶部形成石墨烯; 和由其制备的层叠石墨烯结构。 堆叠的石墨烯结构补偿石墨烯的缺陷,并且具有改善的电导率而不会降低透光率。

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