아연주석산화물 박막의 제조방법
    5.
    发明申请
    아연주석산화물 박막의 제조방법 审中-公开
    制备氧化锌薄膜的方法

    公开(公告)号:WO2013118937A1

    公开(公告)日:2013-08-15

    申请号:PCT/KR2012/002054

    申请日:2012-03-22

    CPC classification number: H01L21/02554 H01L21/02565 H01L21/0262 H01L29/7869

    Abstract: 본 발명은 아연 및 주석 전구체를 사용하여 화학 기상 증착법(chemcal vapor deposition, CVD) 또는 원자층 증착법(atomic layer deposition, ALD)으로 아연주석 산화물 박막을 형성하는 방법 및 이를 이용한 TFT(thin film transistors) 소자 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 아연주석 산화물 박막의 제조방법은 주석과 아연의 조성제어가 가능하며, 낮은 온도에서 공정이 가능하며, 삼차원 구조의 기재 상에서도 두께가 균일한 박막을 제조할 수 있고 제조된 주석 산화물은 높은 전계 효과 이동도(field effect mobility)를 가지고 있어 TFTs의 채널재료로 적용할 수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及通过化学气相沉积(CVD)或原子层沉积(ALD)形成使用锌和锡前体的氧化锌锡薄膜的方法,以及制造薄膜晶体管(TFT)的方法, 元素使用该方法。 根据本发明的制造锌锡氧化物薄膜的方法能够在低温下控制和加工锡锌组合物。 根据本发明的方法,可以制造具有均匀厚度的薄膜,即使在具有三维结构的基底上。 这样制造的氧化锡具有高的场效应迁移率,并且可以用作TFT通道的材料。

    연속식 암모노써멀 합성 반응기를 이용한 초임계 암모니아 내에서의 Ⅲ족 질화물 분말의 제조
    8.
    发明公开
    연속식 암모노써멀 합성 반응기를 이용한 초임계 암모니아 내에서의 Ⅲ족 질화물 분말의 제조 有权
    通过连续合成反应器生产超临界氨基酸的第三类氮化物粉末的方法

    公开(公告)号:KR1020140106248A

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:KR1020130020560

    申请日:2013-02-26

    CPC classification number: Y02P20/544 C30B7/105

    Abstract: The present invention relates to a method for continuously producing a group iii nitride crystal powder, which reduces the process of connection and transport of a reactor over an existing ammonothermal synthesis reaction; minimizes contamination from oxygen and moisture by blocking the reactor from external air; and reduces the processing hours, thereby providing a reactor with excellent productivity for ammonothermal synthesis, by continuously pouring raw materials while maintaining a constant temperature and continuously collecting the powder whose reaction is finished.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于连续生产III族氮化物晶体粉末的方法,其减少了在现有的氨热合成反应器中反应器的连接和运输过程; 通过从外部空气堵塞反应器,最大限度地减少氧气和水分的污染; 并减少加工时间,从而通过连续地浇注原料同时保持恒温并连续收集反应结束的粉末,从而为氨热合成提供了优异的生产率的反应器。

    아미노싸이올레이트를 이용한 안티몬 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법
    9.
    发明授权
    아미노싸이올레이트를 이용한 안티몬 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 有权
    具有氨基苯甲酸酯的抗菌前体,其制备方法和使用其形成薄膜的方法

    公开(公告)号:KR101380897B1

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:KR1020120136559

    申请日:2012-11-28

    CPC classification number: C07F9/908 C23C16/305

    Abstract: The present invention relates to an antimony precursor denoted by chemical formula 1. The antimony precursor is a precursor which includes sulfur and does not require the addition of separate sulfur for the production of a thin film, and enables users to produce a high quality antimony thin film by having improved thermal stability and volatility. In chemical formula 1: R1 and R2 are independently a C1-C10 linear or branched alkyl group; R3 and R4 are independently a C1-C10 linear or branched alkyl or fluoroalkyl group; and n is a number selected from 1-3.

    Abstract translation: 本发明涉及由化学式1表示的锑前体。锑前体是包含硫的前体,并且不需要添加分开的硫用于生产薄膜,并且能够使用户生产高质量的锑薄 膜具有改善的热稳定性和挥发性。 在化学式1中:R1和R2独立地为C1-C10直链或支链烷基; R3和R4独立地为C1-C10直链或支链烷基或氟代烷基; 并且n是选自1-3的数字。

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