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公开(公告)号:DE102012208146A1
公开(公告)日:2012-12-06
申请号:DE102012208146
申请日:2012-05-15
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: STOLZE THILO , KIRSCH OLAF
IPC: H01L23/495 , H01L21/60 , H01L23/50 , H01L25/18
Abstract: Ein Halbleitermodulsystem gemäß der vorliegenden Erfindung weist ein Substrat (2) auf, wenigstens einen Halbleiterchip (1), sowie eine Anzahl von wenigstens zwei elektrisch leitenden ersten Verbindungselementen (3). Das Substrat (2) weist eine Unterseite (2b) auf, sowie eine Oberseite (2a), die in einer vertikalen Richtung (v) von der Unterseite (2b) beabstandet ist. Der wenigstens eine Halbleiterchip (1) ist auf der Oberseite (2a) angeordnet. Ein jedes der ersten Verbindungselemente (3) besitzt ein erstes Ende (31), welches in einer Richtung senkrecht zur vertikalen Richtung (v) über einen Isolationsträger (20) des Substrates (2) hinausragt. Das Halbleitermodulsystem umfasst weiterhin ein Verbindungssystem mit einer mit einer Anzahl von N ≥ 1 Verbindern (6). Ein erster der Verbinder (6) weist wenigstens zwei elektrisch leitende zweite Verbindungselemente (4) auf, wobei ein jedes der zweiten Verbindungselemente (4) ein erstes Ende (41) besitzt. Das erste Ende (31) eines jeden der ersten Verbindungselemente (3) ist elektrisch leitend mit dem ersten Ende (41) eines anderen der zweiten Verbindungselemente (4) verbindbar.
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公开(公告)号:DE102009002191A1
公开(公告)日:2010-10-07
申请号:DE102009002191
申请日:2009-04-03
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: BAYERER REINHOLD , STOLZE THILO , HOHLFELD OLAF
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Leistungshalbleitermodul (100) mit einem Leistungshalbleiterchip (1), der eine oberseitige elektrische Kontaktfläche (11a) aufweist, auf die ein Bonddraht (3) gebondet ist. Zumindest wenn das Leistungshalbleitermodul (100) an einem Kühlkörper (200) befestigt ist, erzeugt ein Anpresselement (4) eine Anpresskraft (F), die auf einen Teilabschnitt (36) eines Bonddrahtabschnittes (312) wirkt, der zwischen zwei benachbarten Bondstellen (31, 32) des Bonddrahtes (3) ausgebildet ist. Durch die Anpresskraft (f) werden der Leistungshalbleiterchip (1) und ein darunter befindliches Substrat (2) gegen den Kühlkörper (200) gepresst.
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公开(公告)号:DE10294771B4
公开(公告)日:2007-12-27
申请号:DE10294771
申请日:2002-10-04
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: STOLZE THILO
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公开(公告)号:DE102012215055B4
公开(公告)日:2022-03-24
申请号:DE102012215055
申请日:2012-08-24
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: STOLZE THILO , STROTMANN GUIDO , GUTH KARSTEN
Abstract: Verfahren zur Herstellung einer Leistungshalbleiteranordnung, umfassend die Schritte:Bereitstellen eines dielektrischen Isolationsträgers (20), der eine ebene Oberseite (20t) aufweist, sowie eine auf der Oberseite (20t) angeordnete obere Metallisierungsschicht (21);Bereitstellen eines Halbleiterchips (1);Verbinden des Halbleiterchips (1) und der oberen Metallisierungsschicht (21) mittels einer Verbindungsschicht (4), die zwischen dem Halbleiterchip (1) und der oberen Metallisierungsschicht (21) angeordnet wird, wobei die Verbindungsschicht (4) durch Diffusionslöten oder Sintern hergestellt wird;Bereitstellen einer Anzahl von N ≥ 1 elektrisch leitender, gerader Kontaktpins (3), von denen ein jeder ein erstes Ende (31) sowie ein dem ersten Ende entgegengesetztes zweites Ende (32) aufweist;für jeden der Kontaktpins (3): Herstellen einer elektrisch leitenden Verbindung zwischen der oberen Metallisierungsschicht (21) und dem ersten Ende (31), wobei das Material des Kontaktpins (3) in unmittelbaren physischen Kontakt mit dem Material der oberen Metallisierungsschicht (21) gebracht und das erste Ende (31) senkrecht zur Oberseite (20t) unmittelbar an die obere Metallisierungsschicht (21) geschweißt wird, wobei das zweite Ende (32) des Kontaktpins (3) aus einem Modulgehäuse (9) herausgeführt wird.
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公开(公告)号:DE102012207560B4
公开(公告)日:2019-03-14
申请号:DE102012207560
申请日:2012-05-07
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: UHLEMANN ANDRE , STOLZE THILO
IPC: H01L21/60 , H01L23/498
Abstract: Verfahren zur Herstellung eines Halbleitermoduls mit folgenden Schritten:Bereitstellen eines Schaltungsträgers (2), der einen Isolationsträger (20) aufweist, auf den eine zu Leiterbahnen (211, 212, 213, 214) strukturierte Metallisierungsschicht (21) aufgebracht ist;Bereitstellen eines elektrisch leitenden Anschlusselementes (4, 9), das ein erstes Ende (41, 91) aufweist;Herstellen einer elektrisch leitenden, stoffschlüssigen Verbindung zwischen der Metallisierungsschicht (21) und dem ersten Ende (41) durch Lichtbogenschweißen, indem zur Erzeugung eines Lichtbogens (7) zwischen die Metallisierungsschicht (21) und das Anschlusselement (4, 9) eine elektrische Spannung (U) angelegt wird;Bereitstellen eines von dem ersten Ende (41, 91) verschiedenen zweiten Endes (42, 92) des Anschlusselementes (4, 9), und wobeider Schaltungsträger (2) so an einem Gehäuse (10) für das Halbleitermodul montiert wird, dass das erste Ende (41, 91) des Anschlusselements (4, 9) innerhalb des Gehäuses (10) und das zweite Ende (42, 49) des Anschlusselements (4, 9) außerhalb des Gehäuses (10) angeordnet ist.
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公开(公告)号:DE102008045615C5
公开(公告)日:2018-01-04
申请号:DE102008045615
申请日:2008-09-03
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: STOLZE THILO
IPC: H01L23/49 , H01L21/603 , H01L23/053 , H01L23/28 , H01L23/40 , H01L25/07
Abstract: Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleitermoduls, das folgendes umfasst: Bereitstellen eines Substrats (1), mit elektronischen Bauelementen (2), die auf einer ersten Oberfläche des Substrats angeordnet sind, Formen eines Kunststoffkörpers derart, dass der Kunststoffkörper an der ersten Oberfläche des Substrates (1) anliegt und die elektronischen Bauelemente (2) umhüllt, wobei der Kunststoffkörper mindestens einen Kanal (3.1) aufweist, welcher von der ersten Oberfläche des Substrates (1) durch den Kunststoffkörper hindurch verläuft und wobei der Kunststoffkörper in einem Formnest (5.1) einer Gießform durch Aufbringen einer zuerst flüssigen Kunststoffmasse an das Substrat (1) und die Bauelemente (2) und durch darauf folgendes Erhärten der Kunststoffmasse gebildet ist, wobei der Kanal (3.1) gebildet wird, indem im Formnest (5.1) durch einen darin befindlichen Körper (5.2, 6) Fluss von Kunststoffmasse in jenen Volumenbereich, welcher für den Kanal (3.1) vorgesehen ist, verhindert wird, wobei nach dem Erstarren der Kunststoffmasse eine aus dem Substrat (1), den Bauelementen (2) und dem Kunststoffkörper (3) gebildete Baueinheit ausgeformt wird, Einsetzen eines Kontaktelementes (7, 8, 9, 10) in jeden Kanal (3.1) zur elektrischen Kontaktierung einer Leiterplatte (12) mit der ersten Oberfläche des Substrates (1), wobei das jeweilige Kontaktelement (7, 8, 9, 10) an die erste Oberfläche des Substrates (1) durch die Wirkung einer elastischen Feder angedrückt wird.
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公开(公告)号:DE102013205138A1
公开(公告)日:2014-09-25
申请号:DE102013205138
申请日:2013-03-22
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: STOLZE THILO , HÖGERL JÜRGEN , BEER GOTTFRIED
Abstract: Ein Aspekt der Erfindung betrifft ein Halbleiterbauelement (100). Das Halbleiterbauelement (100) weist einen Halbleiterkörper (1) mit einer Oberseite (1t) und einer der Oberseite (1t) entgegengesetzten Unterseite (1b) auf. Auf die Oberseite (1t) ist eine obere Metallisierung (11) aufgebracht, auf die Unterseite (1b) eine untere Metallisierung (16). Eine Feuchtigkeitsbarriere (2) dichtet den Halbleiterkörper (1) in Zusammenwirkung mit der oberen Metallisierung (11) und der unteren Metallisierung (16) vollständig ab.
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公开(公告)号:DE102011085282A1
公开(公告)日:2012-05-03
申请号:DE102011085282
申请日:2011-10-27
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: SCHLOERKE RALF , STOLZE THILO
Abstract: Ein Leistungshalbleitermodul umfasst ein Modulgehäuse (6), das auf einer Oberseite (6t) mit einem ersten Dichtring (41) versehen ist. Zusammen mit dem Modulgehäuse (6) und einer Leiterplatte () dichtet der erste Dichtring (41) Durchführungsstellen (65) an der Oberseite (6t) des Modulgehäuses (6) hermetisch ab. Auf der Unterseite (6b) des Modulgehäuses (6) dichtet ein zweiter Dichtring (42) die Unterseite des Modulgehäuses (6) hermetisch ab.
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公开(公告)号:DE102009026558B3
公开(公告)日:2010-12-02
申请号:DE102009026558
申请日:2009-05-28
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: STOLZE THILO , HOHLFELD OLAF , KANSCHAT PETER
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Leistungshalbleitermodul (100) mit einem Gehäuse (1) und zumindest einem flachen, mit wenigstens einem Leistungshalbleiterchip (4) bestückten Schaltungsträger (2). Das Gehäuse (1) weist eine Gehäuseunterseite (12) auf, sowie eine Gehäuseoberseite (11), die in einer positiven vertikalen Richtung (v) von der Gehäuseunterseite (12) beabstandet ist. Außerdem besitzt der Schaltungsträger (2) eine dem Gehäuseinneren abgewandte Unterseite (25). Der Schaltungsträger (2) ist in einer an der Gehäuseunterseite (12) ausgebildeten Öffnung des Gehäuses (1) angeordnet und mittels eines elastischen Verbindungsmittels (5) parallel zur vertikalen Richtung (v) relativ zu dem Gehäuse (1) beweglich an dem Gehäuse (1) befestigt. Im unmontierten Zustand des Leistungshalbleitermoduls (100) nimmt der Schaltungsträger (2) relativ zu dem Gehäuse (1) eine Ruhelage ein. Um den Schaltungsträger (2) aus dieser Ruhelage parallel zur vertikalen Richtung (v) in und/oder entgegen der vertikalen Richtung (v) auszulenken, ist eine Kraft von nur 0,1 N bis 100 N je Millimeter Auslenkung erforderlich.
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公开(公告)号:DE10293997B4
公开(公告)日:2010-11-11
申请号:DE10293997
申请日:2002-08-23
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: STOLZE THILO
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