公开(公告)号：AT14912U1

公开(公告)日：2016-08-15

申请号：AT1072015

申请日：2015-05-06

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： DRONHOFER ANDRÉ ,  LINKE CHRISTIAN

IPC: H01J37/34

Abstract: Anschlussstück (6a-c) für ein rohrförmiges Target (1a-c) aufweisend eine zylindrische Innenfläche und eine zylindrische Außenfläche und zumindest einen magnetischen Einsatz (4a-c), wobei die Position des magnetischen Einsatzes (4a-c) entlang der axialen Richtung des Anschlussstücks (6a-c) auf zumindest einer Innen- oder Außenfläche des Anschlussstücks (6a-c) veränderbar ist. Dadurch wird ein verbessertes Anschlussstück für ein rohrförmiges Target bereitgestellt.

公开(公告)号：AT14911U1

公开(公告)日：2016-08-15

申请号：AT1082015

申请日：2015-05-06

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： DRONHOFER ANDRÉ ,  LINKE CHRISTIAN ,  EIDENBERGER ELISABETH

IPC: H01J37/34

Abstract: Target (1a-d) für eine Kathodenzerstäubungsanlage mit einem rohrförmigen Targetkörper (2a-d) aus einem Zerstäubungsmaterial, und zumindest einem mit dem Targetkörper (2a-d) verbundenen, aus dem Targetkörper herausragenden, Anschlussstück (6a-d) zum Anschließen des Targetkörpers (2a-d) an eine Kathodenzerstäubungsanlage wobei der Targetkörper (2a-d) mit dem zumindest einen Anschlussstück (6a-d) vakuumdicht und verdrehsicher verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem zumindest einen Anschlussstück (6a-d) und dem Targetkörper (2a-d) zumindest ein Dämpferelement (4a-d') angeordnet ist.

公开(公告)号：AT12292U3

公开(公告)日：2013-03-15

申请号：AT5622011

申请日：2011-10-18

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： ABENTHUNG PETER ,  LINKE CHRISTIAN ,  DRONHOFER ANDRE ,  WOLF HARTMUT ,  WILL TOBIAS ,  KOECK WOLFGANG

IPC: C23C14/34

Abstract: Die Erfindung beschreibt ein Rohrtarget aus Refraktärmetall oder einer Refraktärmetalllegierung, das zumindest einen Rohrabschnitt X mit einer relativen Dichte RDx und zumindest einen Rohrabschnitt Y mit einer relativen Dichte RDy umfasst, wobei zumindest ein Rohrabschnitt X zumindest bereichsweise einen größeren Außendurchmesser als zumindest bereichsweise ein Rohrabschnitt Y aufweist und das Dichteverhältnis die Beziehung (RDy-RDx)/RDy = 0,001 erfüllt. Weiters beschreibt die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Rohrtargets aus Refraktärmetall oder einer Refraktärmetall-Legierung durch Sintern und örtlich unterschiedlich hohes Verformen. Das Rohrtarget weist einen über die gesamte Oberfläche gleichmäßigeren Sputterabtrag auf im Vergleich zu Rohrtargets gemäß dem Stand der Technik. Die Rohrtargets neigen weder zum Arcen, noch zur Teilchengenerierung.