Abstract:
A wireless field device (34, 50, 70, 80, 91, 100) is disclosed. The field device (34, 50, 70, 80, 91, 100) includes a wireless communications module (32) and an energy conversion module (38) . The wireless communications module (32) is configured to wirelessly communicate process-related information with another device. The energy conversion module (38) is coupled to the wireless communications module (32) . The energy conversion module (38) is configured to couple to a thermal source, and to generate electricity from thermal potential energy in the thermal source.
Abstract:
An isolated connection is formed by growing interconnects from the grain growth of an electrically conductive grain growth material (16) inside an MEMS device (10) after the device (10) is bonded together. The material used for grain growth of electrical contacts is deposited inside a cavity (18) formed between first (12) and second layers (12) of the device (10).
Abstract:
An isolated connection is formed by growing interconnects from the grain growth of an electrically conductive grain growth material (16) inside an MEMS device (10) after the device (10) is bonded together. The material used for grain growth of electrical contacts is deposited inside a cavity (18) formed between first (12) and second layers (12) of the device (10).
Abstract:
A pressure sensor (100, 222) integrally formed in the shape of a beam (102) around a central channel. The beam (102) has an integral blind end (104) that is pressurized by the fluid. The beam has an opposite end (106) that is shaped to provide a stepped corner (107) with a gap (108) opening at the base of the stepped corner (107), where the gap (108) and isolated from the fluid. A sensing film (112) in the channel adjacent the blind end (104) has an electrical parameter that varies with pressure and electrical leads (110) that extend from the channel and out the gap. A seal (115) fills the gap (108) around the leads (110) and the seal (115) fills a portion of the stepped corner (107). The sensor (100) is preferably formed by direct bonding of single crystal alumina layers (114, 116). Applications include industrial pressure transmitters, aerospace and turbine engine pressure sensing.
Abstract:
La présente invention décrit un élément à l'état solide (12) de détection de l'humidité, constitué par une fine pellicule. L'élément de détection (12) est fabriqué par le dépôt en fines péllicules d'au moins une paire de deux électrodes en couche (32 et 34) sur une surface isolante (27). La surface active de l'élément (12) est ensuite recouverte par une couche de matière hygroscopique (30) et placée dans un logement (14) de limitation de la diffusion pour compléter l'unité à élément de détection (10).
Abstract:
Le thermomètre à résistance en platine en pellicule mince pouvant fonctionner à des températures élevées comprend une fine couche diélectrique (24) recouvrant l'élément de détection (14) de température à résistance en platine en pellicule mince et une couche-barrière (26) recouvrant la couche diélectrique (24). La couche-barrière (26), qui est de préférence en bioxyde de titane, résiste à la diffusion de contaminants qui pourraient altérer les caractéristiques électriques de l'élément de détection (14) tout en permettant la diffusion d'oxygène à travers la couche-barrière (26).