视觉检测系统及利用该系统的坐标转换方法

    公开(公告)号:CN102422121A

    公开(公告)日:2012-04-18

    申请号:CN201080020216.4

    申请日:2010-04-13

    CPC classification number: G01B11/005 G01B11/03 G01C11/025

    Abstract: 本发明涉及视觉检测系统及利用该系统的坐标转换方法。该系统包括:工作台,支撑被检测体;台架,使工作台在Y轴方向上直线往复运动;多个摄像机,为了获得被检测体或工作台的图像,沿X轴方向相隔配置,其中包括:多个第一标记,沿着与Y轴交叉的X轴方向相隔配置在工作台的一端;多个第二标记,一部分从多个第一标记中最左侧的第一标记开始在工作台的一侧沿Y轴方向相隔配置,另一部分从多个第一标记中最右侧的第一标记开始在工作台的另一侧沿Y轴方向相隔配置。获得多个第一标记的图像后,将此图像坐标值转换成台架坐标值,获得多个第二标记的图像后,将此图像坐标值和台架坐标值转换成台架的精确度得到补偿的以被检测体为基准的绝对坐标值。

    厚度检测装置及利用该装置的厚度检测方法

    公开(公告)号:CN105492861A

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201480046738.X

    申请日:2014-09-23

    CPC classification number: G01B11/0625

    Abstract: 本发明涉及厚度检测装置,本发明的厚度检测装置利用反射光度计(Reflectometer),其特征在于包括:光源,用于发射光;滤光部,接收从所述光源发射的光后,相对于不同的多个频率选择性地透射所述光而调制为具有强度分布的光,并能调节所述具有强度分布的光的波长宽度;光学系统,将由所述滤光部调制后的光向检测对象侧照射,并且接收从所述检测对象侧反射的光;光检测部,接收通过所述光学系统的光,并获得反射度信息;及控制部,通过设定能够透射所述滤光部的多个频率来调节由所述滤光部调制的光的波长宽度,并且通过比较理论反射度信息和由所述光检测部获得的反射度信息来检测检测对象的厚度,所述理论反射度信息通过数学式建模后预先被储存。

    TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法

    公开(公告)号:CN103460368A9

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN201280018215.5

    申请日:2012-04-13

    Abstract: 本发明涉及一种TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法,本发明的TSV检测用干涉仪在检测TSV时,利用可变视场光阑检测TSV的直径及深度,从而能够缩短检测时间,并且减少结果数据容量,其中可变视场光阑将光线的焦点调节到TSV的入口和底面。而且,本发明利用远心透镜,从而即使在如TSV那样纵横比大的情况下也能确保到达底面的光量,从而提高检测精度,其中远心透镜使向TSV入射的光线实质上成为直线光。

    反射度分布曲线的建模方法及应用该方法的厚度检测方法以及厚度检测反射仪

    公开(公告)号:CN102362146B

    公开(公告)日:2013-10-16

    申请号:CN201080013587.X

    申请日:2010-02-26

    CPC classification number: G01B11/0625

    Abstract: 本发明涉及反射度分布曲线建模方法及应用该方法的厚度检测方法、厚度检测反射仪。所述建模方法针对规定厚度的薄膜层建模基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布,包括:反射度分布曲线制作步骤,制作用于表示基于光线波长而变化的薄膜层反射度分布的反射度分布曲线;输入强度设定步骤,针对特定波长带通白色光后,在以所述特定波长为中心的规定波长带中制作用于表示光线强度分布的强度分布曲线,并在所述波长带中积分强度分布曲线后将其结果设定为特定波长的输入强度;输出强度设定步骤,在所述波长带中积分由反射度分布曲线和强度分布曲线结合而成的复合强度分布曲线,并将其结果设定为特定波长的输出强度;积分反射度设定步骤,将把特定波长输出强度除以特定波长输入强度的商作为针对特定波长的薄膜层的积分反射度;及积分反射度分布曲线生成步骤,边改变特定波长,边重复执行输入强度设定步骤、输出强度设定步骤及积分反射度设定步骤,以生成用于表示基于波长变化的积分反射度分布的积分反射度分布曲线。

    影像对中方法
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102439415A

    公开(公告)日:2012-05-02

    申请号:CN201080016220.3

    申请日:2010-04-06

    CPC classification number: G01B11/002 G01N21/956 G01N2021/8887

    Abstract: 本发明涉及影像对中方法,包括:登录阶段,用第一倍率光学系拍摄检测对象后在拍摄到的第一倍率图像中设定欲寻找的检测区域位置并登录为原型图像;拍摄阶段,用倍率比第一倍率高的第二倍率光学系按规定顺序拍摄检测对象而获得目标图像;缩小阶段,将在拍摄阶段获得的目标图像缩小成第一倍率大小并登录为检测图像;匹配阶段,在原型图像中检索检测图像;对中阶段,若通过匹配阶段检测到检测图像则移动第二倍率光学系或检测对象,使之对应于在登录阶段设定的检测区域的位置。这样即使没有光学系的比率转换也能迅速获得最终图像。而在随着检索过程中的移动而登录的目标图像中只显示原型图像的一部分或者不显示时也能获得检测区域位于中央的最终图像。

    三维形貌检测方法
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102428344A

    公开(公告)日:2012-04-25

    申请号:CN201080022149.X

    申请日:2010-04-12

    Inventor: 朴喜载 安祐正

    CPC classification number: G01B11/24

    Abstract: 本发明涉及一种三维形貌检测方法。该方法用于检测被检测体,所述被检测体具备基板和配置在所述基板上的焊锡球,其特征是包括:中心部确定步骤,获得焊锡球的图像后确定焊锡球的中心部;图像获得步骤,在被检测体上形成正弦波图纹,并获得同时包括基板上面和焊锡球的整合图像;相位值确定步骤,在整合图像中选定通过焊锡球中心部的虚拟直线—基准线,并在所述基准线的焊锡球的中心部获取投影了正弦波图纹部分的相位值后,将其定为焊锡球中心部的相位值,在位于基准线的基板上获取投影了正弦波图纹部分的相位值后,将其定为基板的相位值;及高度计算步骤,由焊锡球中心部的相位值和基板的相位值之间的差,计算从基板上面到焊锡球中心部的高度。

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