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公开(公告)号：CN102741958B
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201180006168.8
申请日：2011-01-14
Applicant: 维斯普瑞公司
Inventor： 达纳·德瑞斯
CPC classification number: H01G5/18 , B81B3/007 , B81B2201/014 , H02N1/006
Abstract: 本发明主题涉及MEMS可调电容器及操作这种电容器的方法。该可调电容器的特征在于衬底上的初级固定致动器电极、衬底上的次级固定致动器电极、衬底上的固定RF信号电容器极板电极、布置在衬底上方的装有弹簧的悬臂、将装有弹簧的悬臂的第一端连接至衬底的梁锚、将装有弹簧的悬臂的第二端连接至衬底的一个或多个弹性弹簧或其他偏置元件，第二端位于远离第一端的位置。弹簧悬臂可以在OFF状态和ON状态之间移动，其中OFF状态是由固定致动器电极和可移动致动器电极的为零的电势差定义的，而ON状态是由固定致动器电极和可移动致动器电极之间的非零电势差定义的。
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公开(公告)号：CN102906009B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201180025546.7
申请日：2011-06-08
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： D.丹格 , T.多安 , G.A.邓巴 , 何忠祥 , R.T.赫林 , C.V.扬斯 , J.C.马林 , W.J.墨菲 , A.K.斯坦珀 , J.G.通布利 , E.J.怀特
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B3/0021 , B81B2201/01 , B81B2201/014 , B81B2203/0118 , B81B2203/0315 , B81B2203/04 , B81C1/0015 , B81C1/00365 , B81C1/00476 , B81C1/00619 , B81C1/00626 , B81C1/00666 , B81C2201/0109 , B81C2201/013 , B81C2201/0167 , B81C2201/017 , B81C2203/0136 , B81C2203/0172 , G06F17/5068 , G06F17/5072 , H01H1/0036 , H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01L41/1136 , H01L2924/0002 , Y10S438/937 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49002 , Y10T29/49105 , Y10T29/49121 , Y10T29/49126 , Y10T29/4913 , Y10T29/49155 , Y10T29/5313 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供了平面腔体微机电系统（MEMS）结构、制造和设计结构的方法。该方法包括：采用反向镶嵌工艺形成至少一个微机电系统（MEMS）腔体（60a，60b），该至少一个微机电系统腔体具有平面表面。
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公开(公告)号：CN105016290A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510204540.6
申请日：2015-04-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B81B3/001 , B81B3/0013 , B81B3/0021 , B81B2201/014 , B81B2203/0118 , B81C1/0015 , B81C2203/0136 , H01H1/0036 , H01H35/14 , H01H35/24 , H01H2059/0072
Abstract: 本发明提供MEMS结构体、电子设备以及移动体，能够提高设计自由度且能够降低可动电极相对于固定电极的粘连。本发明的MEMS结构体(1)具有：基板(2)；下部电极(51)，其配置在基板(2)的上方；上部电极(53)，其具有与下部电极(51)分离地相对配置的可动部(531)；以及凸部(541)，其从可动部(531)的与下部电极(51)相对的一侧的面突出，由与可动部(531)不同的材料构成。
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公开(公告)号：CN104851753A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510083334.4
申请日：2015-02-16
Applicant: 亚德诺半导体集团
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H1/0036 , B81B7/0064 , B81B2201/014 , B81B2207/03 , B81B2207/07 , B81B2207/115 , B81C1/00698 , B81C2201/0171 , B81C2203/075 , H01H59/0009 , H01P1/127
Abstract: 一种MEMS设备具有衬底、输入节点、输出节点以及处于输入节点和输出节点之间的MEMS开关。所述开关对输入节点和输出节点进行有选择地连接，在所述开关断开时所述输入节点和输出节点电隔离。所述设备还具有处于衬底内的输入掺杂区域和处于衬底内的输出掺杂区域。所述输入掺杂区域和输出掺杂区域通过衬底电隔离，即，它们之间的电阻遏制了两个掺杂区域之间的不可忽略的电流的流动。所述输入掺杂区域与输入节点形成了输入电容，而所述输出掺杂区域与输出节点形成了输出电容。
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公开(公告)号：CN102906009A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201180025546.7
申请日：2011-06-08
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： D.丹格 , T.多安 , G.A.邓巴 , 何忠祥 , R.T.赫林 , C.V.扬斯 , J.C.马林 , W.J.墨菲 , A.K.斯坦珀 , J.G.通布利 , E.J.怀特
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B3/0021 , B81B2201/01 , B81B2201/014 , B81B2203/0118 , B81B2203/0315 , B81B2203/04 , B81C1/0015 , B81C1/00365 , B81C1/00476 , B81C1/00619 , B81C1/00626 , B81C1/00666 , B81C2201/0109 , B81C2201/013 , B81C2201/0167 , B81C2201/017 , B81C2203/0136 , B81C2203/0172 , G06F17/5068 , G06F17/5072 , H01H1/0036 , H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01L41/1136 , H01L2924/0002 , Y10S438/937 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49002 , Y10T29/49105 , Y10T29/49121 , Y10T29/49126 , Y10T29/4913 , Y10T29/49155 , Y10T29/5313 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供了平面腔体微机电系统（MEMS）结构、制造和设计结构的方法。该方法包括：采用反向镶嵌工艺形成至少一个微机电系统（MEMS）腔体（60a，60b），该至少一个微机电系统腔体具有平面表面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102471048A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080035440.0
申请日：2010-08-12
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/0015 , B81B3/0018 , B81B2201/014 , B81C1/00333 , B81C2203/0136 , B81C2203/0145 , G06F17/5068 , H01L21/302
Abstract: 提供了集成MEMS切换器、设计结构及这种切换器的制造方法。所述方法包括在切换器件(34)的侧面上形成牺牲材料(36)至少一个凸片(32a)，所述切换器件嵌于所述牺牲材料中。所述方法还包括通过在所述切换器件的所述侧面上的所述至少一个凸片上形成的至少一个开口清除所述牺牲材料，以及以覆盖材料密封所述至少一个开口。
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公开(公告)号：CN101276707B
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN200810087276.2
申请日：2008-03-26
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01L41/094 , B81B3/001 , B81B2201/014 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01H2059/0072
Abstract: 本发明提供一种MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端。具体地说，提供一种工作电压低、接触压力大且分离力大的MEMS器件成为可能。一种MEMS器件，包括：衬底；设置在所述衬底上的支撑单元；设置在所述衬底上的固定电极；致动器，其包括第一电极、形成于所述第一电极上的第一压电膜以及形成于所述第一压电膜上的第二电极，利用所述支撑单元将所述致动器的一端固定到所述衬底上，所述致动器在连接所述支撑单元和所述固定电极的方向上延伸，所述第一电极被设置成面对所述固定电极；以及止动器单元，其设置在连接所述支撑单元和所述固定电极的直线上，并且设置在所述衬底上，以面对所述第一电极。
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公开(公告)号：CN101689438A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880022718.3
申请日：2008-06-26
Applicant: 朗讯科技公司
Inventor： 阿尔曼·加斯帕安 , 约翰·梵纳他·盖茨 , 玛丽亚·埃利娜·西蒙
IPC: H01H37/00
CPC classification number: H01H1/0036 , B81B3/0024 , B81B2201/014 , B81B2201/031 , H01H37/00 , H01H2001/0047 , H01H2037/008 , H01H2061/006 , H01H2061/008
Abstract: 本发明提供了一种双向微机电元件、包括所述双向元件的微机电开关和减小所述双向元件中的机械蠕变的方法。在一个实施方式中，所述双向微机电元件包括具有自由端和第一端的冷柱，所述第一端连接到冷柱锚定件。所述冷柱锚定件连接到基板。第一柱对通过自由端拴紧件连接到冷柱并且配置成在被加热从而达到比所述冷柱的温度更高的温度时伸长。第二柱对位于所述冷柱的与第一柱对相对的一侧上并且由所述自由端拴紧件连接到所述第一柱对和所述冷柱。所述第二柱对配置成在被加热从而到达所述的更高的温度时伸长。
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公开(公告)号：CN101336466A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200680051827.9
申请日：2006-12-19
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
IPC: H01L21/20
CPC classification number: B81C1/0046 , B33Y10/00 , B81B2201/014 , B81B2203/0118 , B81C2201/0184 , B81C2201/0197 , C23C18/1608 , C23C18/1844 , C25D1/003 , C25D1/12 , C25D5/02 , G01R1/06755 , G01R3/00 , H01L21/288 , H01L21/76873 , H01L2924/0001 , H01L2924/0002 , H01L2924/01005 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01033 , H01L2924/01055 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01082 , H01L2924/1461 , H05K3/1275 , H01L2224/13099 , H01L2924/00
Abstract: 揭示了按照三维阵列沉积多个微滴的系统和方法。该阵列可以包括：第一类微滴，设置它们是为了形成支撑结构；以及第二类微滴，用于在支撑结构上形成导电晶种层。结构材料可以被电沉积到晶种层上以产生三维结构。
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公开(公告)号：CN1942987A
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200680000146.X
申请日：2006-03-20
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 奥克泰克有限公司
CPC classification number: H01H1/0036 , B81B3/0054 , B81B2201/014 , B81B2203/053 , H01H1/24 , H01H37/46 , H01H67/22 , H01H2001/0042 , H01H2037/008
Abstract: 在上部基板(15)的下表面的绝缘膜(14)上设有第一布线层(16)，在下部基板(11)上的绝缘膜(12)上设有与第一布线层(16)立体交差的第二布线层(13)，使悬臂(17)的一端与第一布线层(16)连接，使悬臂(17)的另一端与第二布线层(13)间隔相对。在上部基板(15)上配置覆盖贯通孔(18)的热可塑性片材(19)，通过用加热的销(20)将热可塑性片材(19)压向悬臂(17)来使之变形，并维持悬臂(17)与第二布线层(13)的连接状态，从而闭合开关(10)。
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