公开(公告)号：CN100420621C

公开(公告)日：2008-09-24

申请号：CN200510093268.5

申请日：2005-08-23

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 王薇雅 ,  郑仲原 ,  吴子扬 ,  洪嘉隆 ,  陈斐筠

IPC: B81C1/00

CPC classification number: C23F4/00 ,  B81B2201/04 ,  G02B26/0833

Abstract: 本发明揭示一种镜面制程，其是使用钨保护层来防止因金属突穿造成镜面结构的桥接，并改善镜面结构的曲率，其步骤包含：在一基底上的第一牺牲层之上，图形化一镜面结构；毯覆性地沉积一钨保护层，以覆盖上述镜面结构的侧壁及上表面；形成第二牺牲层于上述钨保护层上；以及使用含二氟化氙的一蚀刻剂施以一释出的步骤，以同时移除上述第二牺牲层、上述钨保护层、与上述第一牺牲层。

公开(公告)号：EP3088905A1

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：EP16166097.2

申请日：2016-04-19

Applicant: Honeywell International Inc.

Inventor： LODDEN, Grant ,  HORNING, Robert D.

IPC: G01P15/093 ,  G01P21/00 ,  G01P15/08 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5656 ,  G01C25/00 ,  B81B5/00

CPC classification number: G01B11/272 ,  B81B2201/0228 ,  B81B2201/04 ,  B81B2203/053 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5656 ,  G01C25/00 ,  G01P15/093 ,  G01P15/13 ,  G01P21/00 ,  G01P2015/0822 ,  G02B6/12 ,  G02B6/4295 ,  G02B6/43 ,  G02B2006/12138

Abstract: System and methods for highly integrated optical readout MEMS sensors are provided. In one embodiment, a method for an integrated waveguide optical-pickoff sensor comprises: launching a laser beam generated by a laser light source into an integrated waveguide optical-pickoff monolithically fabricated within a first substrate, the integrated waveguide optical-pickoff including an optical input port, a coupling port, and an optical output port; and detecting an amount of coupling of the laser beam from the coupling port to a sensor component separated from the coupling port by a gap by measuring an attenuation of the laser beam at the optical output port.

Abstract translation: 提供了高度集成的光学读出MEMS传感器的系统和方法。 在一个实施例中，一种用于集成波导光拾取传感器的方法包括：将由激光光源产生的激光束发射到在第一衬底内单片制造的集成波导光学检测器，所述集成波导光学检测器包括光输入 端口，耦合端口和光输出端口; 并且通过测量光输出端口处的激光束的衰减来检测激光束从耦合端口到与耦合端口分离的传感器部件之间的间隙的耦合量。

公开(公告)号：WO2016209339A1

公开(公告)日：2016-12-29

申请号：PCT/US2016/028338

申请日：2016-04-20

Applicant: RAYTHEON COMPANY

Inventor： DIEP, Buu Q. ,  KENNEDY, Adam M. ,  KOCIAN, Thomas Allan ,  LAMB, Mark

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/00

CPC classification number: B81B7/0058 ,  B81B7/0041 ,  B81B2201/0207 ,  B81B2201/04 ,  B81C1/00269 ,  B81C1/00317 ,  B81C2203/0109 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/0145 ,  B81C2203/019

Abstract: A microelectromechanical systems (MEMS) package includes a substrate extending between a first pair of outer edges to define a length and a second pair of outer edges to define a width. A seal ring assembly is disposed on the substrate and includes at least one seal ring creating a first boundary point adjacent to at least one MEMS device and a second boundary point adjacent at least one of the outer edges. The package further includes a window lid on the seal ring assembly to define a seal gap containing the at least one MEMS device. The seal ring assembly anchors the window lid to the substrate at the second boundary point such that deflection of the window lid into the seal gap is reduced.

Abstract translation: 微机电系统（MEMS）封装包括在第一对外边缘之间延伸以限定长度的基板和限定宽度的第二对外边缘。 密封环组件设置在基板上，并且包括至少一个密封环，其形成与至少一个MEMS装置相邻的第一边界点和邻近至少一个外边缘的第二边界点。 封装还包括在密封环组件上的窗口盖，以限定包含至少一个MEMS器件的密封间隙。 密封圈组件在第二边界点将窗口盖固定到基底，使得窗口盖进入密封间隙的偏转减小。

公开(公告)号：WO2015189051A1

公开(公告)日：2015-12-17

申请号：PCT/EP2015/061959

申请日：2015-05-29

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： STRAUB, Rainer ,  BAADER, Johannes ,  DUELL, Andreas ,  NJIKAM NJIMONZIE, Frederic ,  MUCHOW, Joerg ,  GRUTZECK, Helmut

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10

CPC classification number: G02B26/085 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/04 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/051 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/105 ,  G03B21/2066

Abstract: Die vorliegende Erfindung offenbart eine Mikrospiegelvorrichtung mit einer Antriebseinrichtung, welche ein bewegliches Antriebselement, welches in einer ersten Ebene liegt, und eine Führungseinrichtung aufweist, und mit einem Spiegel, welcher federnd mit dem Antriebselement gekoppelt ist und in Ruheposition in einer zweiten Ebene liegt, welche parallel zu der ersten Ebene liegt, wobei die Führungseinrichtung ausgebildet ist, eine Bewegung des Antriebselements auf einer in der ersten Ebene liegenden Gerade zu führen. Ferner offenbart die vorliegende Erfindung eine entsprechende Projektionseinrichtung.

Abstract translation: 本发明公开了一种微镜装置与具有位于第一平面内的可移动的驱动元件的驱动装置，以及一个导向装置和一个反射镜，其被弹性地联接到所述驱动元件和位于所述静止位置中的第二平面平行 位于与所述第一平面，其中所述导向装置形成，所述驱动件的运动上的位于第一平面上直线引导。 此外，本发明公开了一种相应的投影装置。

公开(公告)号：EP2572219A4

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：EP11784398

申请日：2011-05-23

Applicant: KAIAM CORP

Inventor： PEZESHKI BARDIA ,  SHERBACK MICHAEL ,  TON DINH

IPC: G02B6/24 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B6/4219 ,  B81B3/0045 ,  B81B2201/04 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0118 ,  G02B6/3656 ,  G02B6/366 ,  G02B6/4204 ,  G02B6/4244 ,  G02B6/4266 ,  G02B7/003 ,  G02B7/004 ,  G02B26/0808 ,  G02B26/0875

Abstract: A MEMS based alignment technology based on mounting an optical component on a released micromechanical lever configuration that uses multiple flexures rather than a single spring. The optical component may be a lens. The use of multiple flexures may reduce coupling between lens rotation and lens translation, and reduce effects of lever handle warping on lens position. The device can be optimized for various geometries.

Abstract translation: 基于MEMS的对准技术基于将光学元件安装在释放的微机械杠杆结构上，该结构使用多个挠曲而不是单个弹簧。 该光学部件可以是透镜。 使用多重弯曲可以减少镜头旋转和镜头平移之间的耦合，并减少镜头位置上的手柄翘曲的影响。 该设备可以针对各种几何形状进行优化。

公开(公告)号：EP2572219A2

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：EP11784398.7

申请日：2011-05-23

Applicant: Kaiam Corp.

Inventor： PEZESHKI, Bardia ,  SHERBACK, Michael ,  TON, Dinh

IPC: G02B6/24

CPC classification number: G02B6/4219 ,  B81B3/0045 ,  B81B2201/04 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0118 ,  G02B6/3656 ,  G02B6/366 ,  G02B6/4204 ,  G02B6/4244 ,  G02B6/4266 ,  G02B7/003 ,  G02B7/004 ,  G02B26/0808 ,  G02B26/0875

Abstract: A MEMS based alignment technology based on mounting an optical component on a released micromechanical lever configuration that uses multiple flexures rather than a single spring. The optical component may be a lens. The use of multiple flexures may reduce coupling between lens rotation and lens translation, and reduce effects of lever handle warping on lens position. The device can be optimized for various geometries.

Abstract translation: 基于MEMS的对准技术，其基于将光学部件安装在使用多个弯曲而不是单个弹簧的释放微机械杆配置上。 光学部件可以是透镜。 使用多个弯曲可以减少透镜旋转和透镜平移之间的耦合，并且减少杠杆手柄翘曲在透镜位置上的影响。 该设备可以针对各种几何形状进行优化。

公开(公告)号：JP2016212093A

公开(公告)日：2016-12-15

申请号：JP2016084374

申请日：2016-04-20

Applicant: ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド

Inventor： グラント・ロッデン ,  ロバート・ディー・ホーニング

IPC: B81B3/00 ,  G01C19/574

CPC classification number: G01B11/272 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5656 ,  G01C25/00 ,  G01P15/093 ,  G01P15/13 ,  G01P21/00 ,  G02B6/12 ,  G02B6/4295 ,  G02B6/43 ,  B81B2201/0228 ,  B81B2201/04 ,  B81B2203/053 ,  G01P2015/0822 ,  G02B2006/12138

Abstract: 【課題】高度に集積された光学読み出しMEMSセンサを提供するための代替のシステム及び方法を提供する。 【解決手段】高度に集積された光学読み出しMEMSセンサのためのシステム及び方法が提供される。一実施形態では、集積導波路光ピックオフセンサのための方法は、レーザ光源によって生成されたレーザビームを、第1の基板内にモノリシックに作製された集積導波路光ピックオフに発射するステップであって、当該集積導波路光ピックオフは、光入力ポート、結合ポート及び光出力ポートを含む、ステップと、光出力ポートにおけるレーザビームの減衰を測定することによって、結合ポートから、ギャップによって結合ポートから分離されたセンサコンポーネントへのレーザビームの結合量を検出するステップとを含む。 【選択図】図1

Abstract translation: 一种用于提供高集成的光学读取MEMS传感器提供的系统和方法的替代物。 提供高度集成的用于光学读取MEMS传感器的系统和方法。 在一个实施例中，用于集成波导光拾取传感器，由所述激光光源产生的激光束，其包括启动一个集成波导光学拾取制成单片第一衬底的步骤的方法 中，集成波导光敏感元件的光学输入端口的步骤包括一个连接端口和光输出端口，以及一个步骤，通过测量激光束的衰减的光输出端口，耦合端口，通过间隙与所述连接口被分离 和，并检测所述激光束到所述传感器组件的结合量。 点域1

公开(公告)号：US12116268B2

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：US18238021

申请日：2023-08-25

Applicant: Mirrorcle Technologies, Inc.

Inventor： Stefan Richter ,  Johannes Kindt ,  Veljko Milanovic

IPC: B81B3/00 ,  H02N1/00

CPC classification number: B81B3/0078 ,  H02N1/008 ,  B81B2201/04 ,  B81B2203/0154 ,  B81B2203/058

Abstract: MEMS devices include a suspended element connected to a fixed part of a substrate by one or more flexures, wherein the one or more flexures are configured to permit movement of the suspended element relative to a fixed part of the substrate. A sensor coupled to the suspended element and a damping structure coupled to the suspended element extends into a gap between the suspended element and the fixed part of the substrate. One or more fluid confinement structures are configured to permit movement of the damping structure within a limited portion of the gap and to confine a viscoelastic fluid to the limited portion of the gap.

公开(公告)号：US12019186B2

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：US16829125

申请日：2020-03-25

Applicant: INNOVIZ TECHNOLOGIES LTD

Inventor： Nir Osiroff ,  Matityahu Shani ,  David Elooz ,  Smadar David Raly

IPC: G01C3/08 ,  B60S1/02 ,  B81B3/00 ,  G01H1/00 ,  G01S7/48 ,  G01S7/481 ,  G01S7/484 ,  G01S7/4863 ,  G01S7/4911 ,  G01S7/4914 ,  G01S7/497 ,  G01S17/06 ,  G01S17/10 ,  G01S17/32 ,  G01S17/42 ,  G01S17/58 ,  G01S17/89 ,  G01S17/931 ,  G02B26/12

CPC classification number: G01S7/4817 ,  B60S1/02 ,  B81B3/0018 ,  G01H1/00 ,  G01S7/4802 ,  G01S7/4808 ,  G01S7/4814 ,  G01S7/4815 ,  G01S7/4816 ,  G01S7/484 ,  G01S7/4863 ,  G01S7/4911 ,  G01S7/4914 ,  G01S7/497 ,  G01S17/06 ,  G01S17/10 ,  G01S17/32 ,  G01S17/42 ,  G01S17/58 ,  G01S17/89 ,  G01S17/931 ,  B81B2201/04 ,  G01S2007/4975 ,  G02B26/122

Abstract: In some embodiments, a LIDAR system may include at least one processor configured to control at least one light source for projecting light toward a field of view and receive from at least one first sensor first signals associated with light projected by the at least one light source and reflected from an object in the field of view, wherein the light impinging on the at least one first sensor is in a form of a light spot having an outer boundary. The processor may further be configured to receive from at least one second sensor second signals associated with light noise, wherein the at least one second sensor is located outside the outer boundary; determine, based on the second signals received from the at least one second sensor, an indicator of a magnitude of the light noise; and determine, based on the indicator the first signals received from the at least one first sensor and, a distance to the object.

公开(公告)号：US20190204591A1

公开(公告)日：2019-07-04

申请号：US16206178

申请日：2018-11-30

Applicant: Ricoh Company, Ltd.

Inventor： Naoki NAKAMURA ,  Daisuke ICHII ,  Hiromichi ATSUUMI ,  Naoki MIYATAKE ,  Yuki HAYASHI

IPC: G02B26/12 ,  G02B26/10 ,  G02B27/10 ,  G02B27/01

CPC classification number: G02B26/126 ,  B81B2201/04 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/10 ,  G02B26/101 ,  G02B26/105 ,  G02B27/01 ,  G02B27/0101 ,  G02B27/104 ,  G02B2027/011 ,  G02B2027/013 ,  G02B2027/0141 ,  G02B2027/0145 ,  G03B21/2013 ,  G03B21/2033 ,  G09G5/00

Abstract: An image display apparatus includes a light source device including a light source unit; a scanning optical system including an image forming unit on which an intermediate image is formed by light from the light source unit; and a virtual image optical system configured to guide light of the intermediate image by using a reflecting mirror and a curved transmissive reflection member. The scanning optical system includes an optical scanning unit configured to scan the light from the light source unit in a main scanning direction and a sub-scanning direction of the image forming unit. The image forming unit is a transmissive member curved with a convex surface toward the reflecting mirror.