吸附性气体分析装置
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102338740A

    公开(公告)日:2012-02-01

    申请号:CN201110141459.X

    申请日:2011-05-18

    Abstract: 本发明涉及一种吸附性气体分析装置,其在NH3、HC等具有吸附性的气体成分浓度较低的情况下,也能够高精度地进行测定,而且能够提高该浓度测定的响应速度。本发明的吸附性气体分析装置包括:具有测定样本气体的测定单元(21)以及用于向该测定单元(21)导入样本气体的导入端口(2P)的装置主体(2);向测定单元(21)照射激光(L1)的激光照射部(22);对导入到导入端口(2P)的样本气体进行加热的加热管(4);使样本气体为负压,由加热管(4)对该负压的样本气体进行加热并将该样本气体导入到装置主体(2)的流量限制部(32);使测定单元(21)内以及从流量限制部(32)的下游侧至测定单元(21)为止的流路维持为负压的负压泵(24)。

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