电容性加速度传感器
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1748148A

    公开(公告)日:2006-03-15

    申请号:CN200480003950.4

    申请日:2004-01-30

    Inventor: T·莱托宁

    CPC classification number: G01P15/18 G01P15/125 G01P2015/0828

    Abstract: 一种用于加速度测量中的测量装置,更具体地涉及电容性加速度传感器。根据本发明的电容性加速度传感器包括支承在旋转轴线(7)处的可移动电极(5),根据本发明的加速度传感器的该对电极中的电容变化被增强。根据本发明的加速度传感器结构使改进基于旋转运动的该对电极的电容灵敏度,并在电容性加速度传感器设计中以良好的性能测量加速度的成为可能。

    加速度传感器
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1693900A

    公开(公告)日:2005-11-09

    申请号:CN200510067030.5

    申请日:2005-04-21

    Abstract: 本发明提供了一种在采用磁性检出元件检测磁体位移的加速度传感器,并且,该加速度传感器是有效地抑制周边外界磁场的影响而提高检测精度的加速度传感器。本发明所提出的加速度传感器(1),具有悬臂梁结构,包括了以其固定端(221)为中心作往复动作的弹性变形运动的悬臂(22)和、在悬臂(22)的自由端(222)上设置的磁体(21a(b))、以及在悬臂(22)的往复动作领域的外周面上配置了磁性检出头部(23b)的加速度检测单元。并且,本发明所提出的加速度传感器(1),为了补正磁性检出头部(23a)、(23b)输出的检出信号,配备了分别检测作用于磁性检出头部(23a)、(23b)和磁体(21a)、(21b)的周边外界磁场的周边外界磁场检出部(43a)、(43b)。

    静电电容式应变传感器及其使用方法

    公开(公告)号:CN1157594C

    公开(公告)日:2004-07-14

    申请号:CN00801886.3

    申请日:2000-07-07

    Abstract: 一种静电电容式应变传感器,包括基板(119)和在基板上形成的两个交叉指型—对电极式电容器(209,209A)。该基板在具有平面(或曲面)的弹性体表面上,形成厚度大致一致、介电常数随变形变化的材料的电介质层膜(129)。该电容器由基板表面上的成对电极的交叉指型形成,该成对电极由多个线状导电体做成平行的线状电极形成。在该传感器中,在基板上形成一个电容器作为基准电容,将其用于另一个电容器的温度校正。为检测另一方向的变形,交叉指型中的指的方向大致互相垂直,或使线状电极相对平板中心呈同心圆形状。通过将电容器作为振荡电路的元件装入,可将变形值转换为电容和频率的变化,由于频率可精细抽出,故可容易地检测变形的细微变化。

    传感器
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1329243A

    公开(公告)日:2002-01-02

    申请号:CN01121705.7

    申请日:2001-06-18

    Abstract: 一种由半导体材料构成的传感器。该装置包括支承框架、读出元件、以及以一般对应于第一谐振频率振动方式的频率来振动读出元件的装置。错误检测装置检测谐振频率振动方式,错误检测装置的输出表示存在或者不存在所述谐振频率振动方式对所述激励的预期的响应。检测读出元件变形的装置提供表示待检测的参数的输出信号,变形检测装置和错误检测装置由相同元件构成。

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