锗硅电吸收调制器
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105474078A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201480038181.5

    申请日:2014-07-31

    Inventor: 李亚明 成步文

    CPC classification number: G02F1/025 G02F2001/0157 G02F2201/063 H01L27/15

    Abstract: 提供一种电吸收调制器(100),包括:衬底层(110),包括硅衬底(112)及设置于所述硅衬底上的氧化层(114);顶层硅(120),形成于所述氧化层(114)上,且所述顶层硅(120)上形成一波导层(122);掺杂层,包括第一掺杂平板(132)及第二掺杂平板(133),所述第一掺杂平板(132)上形成一第一类型轻掺杂区(134),所述第二掺杂平板(133)上形成一第二类型轻掺杂区(135),且所述第一类型轻掺杂区(134)、波导层(122)及第二类型轻掺杂区(135)形成一PIN结;调制层(140),设置于所述波导层(122)上并与所述PIN结并联;对于一特定波长的入射光束,当所述PIN结上加载反向的调制电信号时,所述调制层(140)对所述光束的光吸收系数随所述调制电信号的变化而变化,所述光束通过调制区域后的光功率也相应变化,从而实现了对光束的电光调制。

    马赫-曾德尔波导型光调制器

    公开(公告)号:CN101981492B

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN200980111735.9

    申请日:2009-03-06

    CPC classification number: G02F1/225 G02F2001/212 G02F2201/063

    Abstract: 本发明的目的在于抑制光折变现象的影响及杂散光与信号光的耦合。一种马赫-曾德尔波导型光调制器,包括:薄板(1),由具有电光效应的材料形成且厚度在20μm以下;光波导(2),形成于该薄板的表面或背面;以及调制电极,用于调制在该光波导内通过的光,上述马赫-曾德尔波导型光调制器的特征在于,该光波导由输入光波导(21)、分支光波导(23~28)、输出光波导(30)构成,该分支光波导具有:输入侧分支部(区域B),从该输入光波导分支为多个光波导;输出侧合波部(区域D),对连接于输出光波导的多个光波导进行合波;以及平行部(区域C),形成于输入侧分支部与输出侧合波部之间,输入侧分支部或输出侧合波部中至少一个的沿分支光波导的对称轴的长度l与该平行部中的光波导间隔d的比率l/d为33~100。

    双层交叉式P-N二极管调制器

    公开(公告)号:CN104321849B

    公开(公告)日:2017-02-08

    申请号:CN201380027000.4

    申请日:2013-04-16

    Abstract: 一种用于制造光调制器的方法包括:形成n型层,所述n型层的一部分上的第一氧化物部、以及所述n型层的第二部分上的第二氧化物部;在所述第一氧化物部、所述n型层的平面表面的部分、以及所述第二氧化物部的部分之上图案化第一掩蔽层;在所述n型层中注入p型掺杂剂以形成第一p型区和第二p型区;去除所述第一掩蔽层;在所述第一氧化物部、所述第一p型区的一部分、以及所述n型层的一部分之上图案化第二掩蔽层;以及在所述n型层的暴露部、所述第一p型区的暴露部、以及被设置在所述衬底与所述第二氧化物部之间的所述n型层和所述第二p型区的区域中注入p型掺杂剂。

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