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公开(公告)号：CN105637421A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201480056123.5
申请日：2014-08-25
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： M.德冈瑟
CPC classification number: G02B19/0023 , G02B5/09 , G02B19/0095 , G03F7/70075 , G03F7/70175 , G03F7/702 , G21K1/06 , G21K2201/064
Abstract: 本发明涉及一种聚光器(15)，其用于将EUV光从辐射源区域传输至照明镜头。聚光器的聚焦镜头(26)将辐射源区域(3)聚焦至下游焦点区域。聚焦镜头(26)设计为使得辐射源(3)由辐射源区域(3)与下游焦点区域之间以小于20°的波束角发射的EUV光(14)聚焦，具有至少一个第一放大率，并且使得辐射源(3)由以大于70°的波束角发射的EUV光(14)聚焦，具有至少一个第二放大率。一方面小于20°的波束角，另一方面大于70°的波束角的两个放大率相差不超过2.5倍。根据本发明的照明系统除了相应聚光器外还具有场分面传输镜头。一方面来自第一聚光器放大率和第一分面放大率的，另一方面来自第二聚光器放大率和第二分面放大率的分配给波束角的乘积相差不超过2.5倍。结果，通过聚光器，保证EUV光有效率地传输到照明或物场。
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公开(公告)号：CN103946693A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201280056950.5
申请日：2012-10-03
Applicant: X射线光学系统公司
IPC: G01N23/00
CPC classification number: G21F5/015 , G01N23/10 , G01N23/223 , G01N2223/074 , G01N2223/076 , G01N2223/301 , G01N2223/308 , G01N2223/309 , G21K2201/062 , G21K2201/064
Abstract: 一种可移动型运输和屏蔽装置，其保持住x-射线分析仪，从而在一些操作场所之间进行运输，并且还用作受屏蔽的操作台，以在其操作期间保持住x-射线分析仪。该x-射线分析仪可移除式地插入到该装置中，并且在可移动型运输及屏蔽装置内或者在该装置的外部可以进行操作。该装置可以提供在该分析仪进行操作期间控制、驱动、冷却和/或充电该x-射线分析仪的装置；以及还提供了运输该分析仪的装置(例如把手)。
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公开(公告)号：CN103827718A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201280045224.3
申请日：2012-09-17
Applicant: 佛森技术公司
Inventor： D·奇尔德斯
CPC classification number: G21K5/00 , C03C25/12 , F26B3/28 , F26B13/00 , G21K1/067 , G21K2201/064 , G21K2201/065
Abstract: 用于UV固化工件比如光纤上的涂层或印刷油墨的装置包括布置为具有共定位焦点的双椭圆反射器。工件在共定位焦点处居中，使得双椭圆反射器被布置在工件的相对侧上。两个单独的光源被放置在每个椭圆反射器的第二焦点处，其中从光源照射的光基本上集中在共定位焦点处的工件表面上。
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公开(公告)号：CN103493615A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201280017992.8
申请日：2012-03-06
Applicant: 富士机械制造株式会社
CPC classification number: H05K13/0452 , G21K1/06 , G21K2201/064 , H05K13/041 , H05K13/0812
Abstract: 在生产开始前，分别计测由多个吸嘴（21）吸附的多个元件（A～D）的识别位置的偏差量，将该计测数据存储于存储单元，然后，在生产中从上述存储单元读入识别位置偏差量的数据，来校正由各吸嘴（21）吸附的元件（A～D）的识别位置偏差。可如下进行识别位置偏差量的计测：在生产开始前，在由吸嘴（21）吸附有元件的状态下使该吸嘴（21）的中心与相机的视野中心一致来拍摄该元件，并进行图像处理来识别该元件的位置，并且，使该吸嘴（21）的位置向生产中的一并摄像位置移动而利用该相机拍摄该元件，进行图像处理来识别该元件的位置，算出这两处识别位置之间的距离与该吸嘴（21）的移动距离之差作为识别位置偏差量。
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公开(公告)号：CN102525518A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110461919.7
申请日：2011-11-26
Applicant: 通用电气公司
IPC: A61B6/00
CPC classification number: A61B6/482 , A61B6/08 , A61B6/4021 , A61B6/502 , A61B6/588 , B82Y10/00 , G21K1/06 , G21K2201/061 , G21K2201/064 , H01J35/06 , H01J2235/068
Abstract: 本发明紧凑型乳腺X线照相装置及其相关联的乳腺X线照相过程。本发明涉及一种乳腺X线照相装置(1)，其包括X射线源(2)，X射线探测器(3)，所述源(2)能够发射X射线的至少一个束(fi，j)至探测器(3)，用于执行患者(12)的乳腺X线照相，所述乳腺X线照相装置(1)的特征在于其包括X射线方向的光学控制装置(10)，其配置成以使由源(2)发射至探测器(3)的所述X射线彼此基本平行的方式来控制由源(2)发射至探测器(3)的X射线的方向。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102472714A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080029423.6
申请日：2010-06-30
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/207 , G21K1/02 , G21K1/06 , G21K3/00 , G21K5/02
CPC classification number: G21K1/06 , B82Y10/00 , G01J3/12 , G21K1/062 , G21K2201/064 , H01J2237/1205 , H01J2237/1516
Abstract: 本发明提供一种X射线装置、其使用方法以及X射线照射方法，该X射线装置产生能量宽度狭小的虚拟射线源，并能够进行高分解能力的X射线衍射测定。X射线装置(100)包括：分光器(105)，该分光器将发散X射线一边进行分光一边进行集光；以及选择部(107)，该选择部设置于被集光的X射线的集光位置，选择特定范围波长的X射线而使其通过，产生虚拟射线源。由此，能够在焦点(110)上产生具有狭小能量宽度的虚拟射线源，通过该虚拟射线源，能够进行高分解能力的X射线衍射测定。通过使用X射线装置(100)，从而能够充分地分离例如Kα1射线和Kα2射线那样非常狭小能量宽度的X射线。此外，也能够切出连续的X射线的一部分而形成虚拟射线源。
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公开(公告)号：CN102193121A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110065446.9
申请日：2011-03-17
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： 汉斯-于尔根.曼
CPC classification number: G02B5/0891 , B82Y10/00 , G02B5/0875 , G03F7/70958 , G21K1/062 , G21K2201/064
Abstract: 本申请公开了一种反射光学元件、投射系统和投射曝光设备。该反射光学元件用于紫外到极紫外波长范围中的工作波长。该反射光学元件包括在基底上的具有多层系统的反射面，所述多层系统具有至少两种交替材料的层，所述两种交替材料在工作波长具有不同的折射率实部。某个入射角带宽分布的工作波长的辐射可以入射在所述反射光学元件上。所述反射面具有一个或多个第一部分和一个或多个其它部分，第一部分中的交替材料的层具有第一周期厚度，以及第二部分中的交替材料的层具有第一周期厚度和至少一个其它周期厚度。第一部分和其它部分在反射面上的布置适配于所述入射角带宽分布。
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公开(公告)号：CN101278360B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200680036809.3
申请日：2006-07-26
Applicant: X射线光学系统公司
IPC: G21K1/06 , G01N23/223
CPC classification number: G01N23/223 , B82Y10/00 , G01N2223/076 , G21K1/06 , G21K2201/061 , G21K2201/062 , G21K2201/064
Abstract: 一种用于激发处于x射线分析中的样品的x射线系统或方法，其使用弯曲的单色光学器件将来自x射线源的单色x射线束引导朝向第一焦点区域。第二光学器件安置在单色x射线束中并接收该单色x射线束，且将聚焦的x射线束引导朝向样品上的第二焦点区域。探测器安置在样品附近，以收集作为聚焦的x射线束的结果的而来自样品的辐射。弯曲的单色光学器件在所述第一焦点区域产生的束斑尺寸大于由所述第二光学器件在所述第二焦点区域产生的束斑尺寸，因此，通过使用第二光学器件减小了样品上的束斑尺寸。双曲单色光学器件和多毛细管光学器件作为光学器件的可能的实施被公开。
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公开(公告)号：CN1507361A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN01821224.7
申请日：2001-09-19
Applicant: 姆拉丁·阿布比奇罗维奇·库马科夫
Inventor： 姆拉丁·阿布比奇罗维奇·库马科夫
IPC: A61N5/10
CPC classification number: G21K1/06 , A61N5/1001 , A61N5/1014 , A61N2005/1091 , A61N2005/1095 , G21K2201/064 , G21K2201/067
Abstract: 本发明涉及一种X射线治疗恶性和良性肿瘤和某些其它疾病的设备，它包括一中空探头(5)、一X射线或γ量子或中子形式的中性粒子的放射源(1)和一形成沿探头的纵轴线定向的粒子束的装置。本发明的形成粒子束的装置是以准直器或透镜(18)的形式被部分埋置的，它是以一组用于具有全内反射的放射传送的曲线通道的形式被埋置的。所述装置可以位于探头的内部。本发明的探头在使用时引入病人的身体(11)内，它的远端接近病理部位或直接插入其中。为了作用于病理部位，使用了中性粒子源的放射线或位于探头的远端内的目标中激发的二次放射或由这目标散射的放射。本发明设备的结构不要求探头抽真空或在探头内使用高电压。通过调换探头，尤其是改变其尺寸和作用在病理区上的照射的能量和方向，易于变换它的结构设计。可拆卸的探头简化了它的消毒。
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公开(公告)号：CN105637421B
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：CN201480056123.5
申请日：2014-08-25
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： M.德冈瑟
CPC classification number: G02B19/0023 , G02B5/09 , G02B19/0095 , G03F7/70075 , G03F7/70175 , G03F7/702 , G21K1/06 , G21K2201/064
Abstract: 本发明涉及一种聚光器(15)，其用于将EUV光从辐射源区域传输至照明镜头。聚光器的聚焦镜头(26)将辐射源区域(3)聚焦至下游焦点区域。聚焦镜头(26)设计为使得辐射源(3)由辐射源区域(3)与下游焦点区域之间以小于20°的波束角发射的EUV光(14)聚焦，具有至少一个第一放大率，并且使得辐射源(3)由以大于70°的波束角发射的EUV光(14)聚焦，具有至少一个第二放大率。一方面小于20°的波束角，另一方面大于70°的波束角的两个放大率相差不超过2.5倍。根据本发明的照明系统除了相应聚光器外还具有场分面传输镜头。一方面来自第一聚光器放大率和第一分面放大率的，另一方面来自第二聚光器放大率和第二分面放大率的分配给波束角的乘积相差不超过2.5倍。结果，通过聚光器，保证EUV光有效率地传输到照明或物场。
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