公开(公告)号：WO2004079770A1

公开(公告)日：2004-09-16

申请号：PCT/EP2004/002140

申请日：2004-03-03

Applicant: ICT, INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FÜR HALBLEITERPRÜFTECHNIK MBH ,  JASINSKI, Thomas

Inventor： JASINSKI, Thomas

IPC: H01J37/06

CPC classification number: H01J3/026 ,  H01J37/065 ,  H01J2237/022

Abstract: The invention provides a charged particle beam device, an emitter module for emitting charged particle beams and a method of operation thereof. Thereby, a charged particle beam emitter (15) emitting charged particles along an optical axis (1) is realized. On the same carrier body (32), a cleaning emitter (16) for emitting charged particles approximately along the optical axis (1) is realized. Thus, an improved cleaning can be provided.

Abstract translation: 本发明提供一种带电粒子束装置，用于发射带电粒子束的发射器模块及其操作方法。 由此，实现了沿光轴（1）发射带电粒子的带电粒子束发射器（15）。 在相同的载体（32）上，实现了用于沿着光轴（1）近似地发射带电粒子的清洁发射器（16）。 因此，可以提供改进的清洁。

公开(公告)号：WO2005055269A2

公开(公告)日：2005-06-16

申请号：PCT/GB2004/005023

申请日：2004-11-29

Applicant: MBDA UK LIMITED ,  ARMITAGE, Adam ,  HART, Alan David

Inventor： ARMITAGE, Adam ,  HART, Alan David

IPC: H01J33/00

CPC classification number: H01J3/026 ,  H01J33/04

Abstract: An electron beam window (20) is formed with six diamond panes (21) to transmit an electron beam (15). The panes (21) are formed in a cylindrical disc (17) of single crystal or of polycrystalline diamond such that each pane (21) is surrounded by a thicker integral peripheral rim (22) which conducts heat away from the panes (21). A heat sink ring (35) can be fitted to the outer cylindrical surface of the peripheral rim (22). A scanning means (36) indexes the electron beam (15) sequentially through each pane (21). The use of diamond panes reduces the electron beam energy converted to heat in each pane (21), the thicker peripheral rim (22) increases cooling of the panes (21), and the scanning movement (37) reduces the temperature rise of the panes (21).

Abstract translation: 电子束窗口（20）由六个金刚石窗格（21）形成以传输电子束（15）。 窗玻璃（21）形成在单晶或多晶金刚石的圆柱形盘（17）中，使得每个窗格（21）被较厚的整体周边边缘（22）围绕，该周边边缘将热量从窗格（21）导离。 散热环（35）可以安装到周边边缘（22）的外圆柱表面。 扫描装置（36）依次通过每个窗格（21）索引电子束（15）。 金刚石窗格的使用减少了在每个窗格（21）中转换成热量的电子束能量，较厚的外围边缘（22）增加了窗格（21）的冷却，并且扫描运动（37）降低了窗格 （21）。

公开(公告)号：WO2005055269A3

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：PCT/GB2004005023

申请日：2004-11-29

Applicant: MBDA UK LTD ,  ARMITAGE ADAM ,  HART ALAN DAVID

Inventor： ARMITAGE ADAM ,  HART ALAN DAVID

IPC: H01J3/02 ,  H01J5/18 ,  H01J5/22 ,  H01J33/04

CPC classification number: H01J3/026 ,  H01J33/04

Abstract: An electron beam window (20) is formed with six diamond panes (21) to transmit an electron beam (15). The panes (21) are formed in a cylindrical disc (17) of single crystal or of polycrystalline diamond such that each pane (21) is surrounded by a thicker integral peripheral rim (22) which conducts heat away from the panes (21). A heat sink ring (35) can be fitted to the outer cylindrical surface of the peripheral rim (22). A scanning means (36) indexes the electron beam (15) sequentially through each pane (21). The use of diamond panes reduces the electron beam energy converted to heat in each pane (21), the thicker peripheral rim (22) increases cooling of the panes (21), and the scanning movement (37) reduces the temperature rise of the panes (21).

Abstract translation: 电子束窗（20）形成有六个金刚石窗（21）以透射电子束（15）。 窗玻璃（21）形成在单晶或多晶金刚石的圆柱形盘（17）中，使得每个玻璃板（21）被较厚的整体的外围边缘（22）包围，该外围边缘将热量从玻璃板（21）传导出去。 散热器环（35）可以装配到外围边缘（22）的外圆柱形表面上。 扫描装置（36）依次通过每个窗格（21）对电子束（15）进行索引。 金刚石玻璃的使用减少了在每个玻璃板（21）中转换成热量的电子束能量，较厚的外围边缘（22）增加了窗玻璃（21）的冷却，并且扫描运动（37）降低了玻璃板的温度上升 （21）。

公开(公告)号：EP0884751A1

公开(公告)日：1998-12-16

申请号：EP98304621.0

申请日：1998-06-11

Applicant: EEV LIMITED

Inventor： Carr, David Ward

IPC: H01J1/46 ,  H01J3/02 ,  H01J23/02

CPC classification number: H01J25/04 ,  H01J1/46 ,  H01J3/026 ,  H01J23/02 ,  H01J23/065 ,  H01J2225/04

Abstract: A grid for use in a linear electron beam tube such as an IOT or TWT includes a grid section 3 and a mounting flange 4 between which is included an accommodation portion 5. During use, the grid section 3 becomes hot and consequently expands but the mounting flange 4 remains relatively cool being connected to a relatively massive structure. Thin flexible strips 8 of the accommodation portion 5 permit relative movement between the mounting flange 4 and the grid section 3 due to differential thermal expansion, thus minimising distortion to the grid section which might othenvise occur if it were connected directly to the mounting flange 4 and hence fixed in its outer diameter length.

Abstract translation: 用于诸如IOT或TWT的线性电子束管的格栅包括格栅部分3和安装凸缘4，在其间包括容纳部分5.在使用期间，网格部分3变热并因此膨胀，但是安装 凸缘4保持相对较冷，连接到相当大的结构。 容纳部分5的薄柔性条带8允许由于不同的热膨胀而在安装法兰4和格栅部分3之间的相对运动，从而最小化网格部分的变形，如果直接连接到安装法兰4和 因此固定在其外径长度上。

公开(公告)号：EP0156003B1

公开(公告)日：1988-03-09

申请号：EP84114708.5

申请日：1984-12-04

Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

Inventor： Hübner, Erwin, Dr. rer. nat.

IPC: H01J23/04 ,  H01J3/02

CPC classification number: H01J3/026 ,  H01J23/04

公开(公告)号：JPWO2008050670A1

公开(公告)日：2010-02-25

申请号：JP2008540958

申请日：2007-10-18

Applicant: 株式会社アルバック

Inventor： 飯島　栄一 ,  栄一 飯島 ,  沈　国華 ,  沈　　国華 ,  佐竹　徹 ,  徹 佐竹

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/07 ,  H01J3/026 ,  H01J37/06 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/182

Abstract: ピアス式電子銃の電子ビーム集束の制御において、電子銃内部での空間電荷効果及び空間電荷中和作用の影響を無くし、電子ビームの制御を完全なものとする。前記ピアス式電子銃の内部の温度を直接測定することにより電子銃内部の圧力をフィードバック制御する。前記ピアス式電子銃の内部の温度を直接測定する場所は、アノード(39)、フローレジスター(43)が望ましい。次いで、カソード室(31)、中間室、揺動室(33)のいずれかの出口または入口に設けたリング、絞り、排気筒のいずれかでも可能である。これにより、ビームを作る部分の安定化(電子銃自体の最適化設計)、ビーム輸送部の安定化及びビーム使用部の安定化の全てについて良好になった。

公开(公告)号：JP4888793B2

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：JP2008540958

申请日：2007-10-18

Applicant: 株式会社アルバック

Inventor： 徹 佐竹 ,  沈　　国華 ,  栄一 飯島

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/07 ,  H01J3/026 ,  H01J37/06 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/182

公开(公告)号：US07355186B2

公开(公告)日：2008-04-08

申请号：US10547865

申请日：2004-03-03

Applicant: Thomas Jasinski

Inventor： Thomas Jasinski

IPC: G21G5/00 ,  A61N5/00

CPC classification number: H01J3/026 ,  H01J37/065 ,  H01J2237/022

Abstract: The invention provides a charged particle beam device, an emitter module for emitting charged particle beams and a method of operation thereof. Thereby, a charged particle beam emitter (15) emitting charged particles along an optical axis (1) is realized. On the same carrier body (32), a cleaning emitter (16) for emitting charged particles approximately along the optical axis (1) is realized. Thus, an improved cleaning can be provided.

Abstract translation: 本发明提供一种带电粒子束装置，用于发射带电粒子束的发射器模块及其操作方法。 由此，实现了沿光轴（1）发射带电粒子的带电粒子束发射器（15）。 在相同的载体（32）上，实现了用于沿着光轴（1）近似地发射带电粒子的清洁发射器（16）。 因此，可以提供改进的清洁。

公开(公告)号：US20050253496A1

公开(公告)日：2005-11-17

申请号：US10522240

申请日：2004-11-29

Applicant: Adam Armitage ,  Alan Hart

Inventor： Adam Armitage ,  Alan Hart

IPC: H01J3/02 ,  H01J5/18 ,  H01J5/22 ,  H01J33/04 ,  H05H1/00

CPC classification number: H01J3/026 ,  H01J33/04

Abstract: An electron beam window 20 is formed with six diamond panes 21 to transmit an electron beam 15. The panes 21 are formed in a cylindrical disc 17 of single crystal or of polycrystalline diamond such that each pane 21 is surrounded by a thicker integral peripheral rim 22 which conducts heat away from the panes 21. A heat sink ring 35 can be fitted to the outer cylindrical surface of the peripheral rim 22. A scanning means 36 indexes the electron beam 15 sequentially through each pane 21. The use of diamond panes reduces the electron beam energy converted to heat in each pane 21, the thicker peripheral rim 22 increases cooling of the panes 21, and the scanning movement 37 reduces the temperature rise of the panes 21.

Abstract translation: 电子束窗20形成有六个金刚石窗玻璃21以透射电子束15。 窗玻璃21形成在单晶圆柱形盘17或多晶金刚石的圆柱形盘17中，使得每个玻璃板21被从玻璃板21传导热量的较厚的整体外围边缘22包围。 散热器环35可以装配到周边边缘22的外圆柱形表面。 扫描装置36依次通过每个窗格21对电子束15进行索引。 使用金刚石窗玻璃减少在每个窗格21中转换成热的电子束能量，较厚的外围边缘22增加了窗格21的冷却，并且扫描运动37降低了窗格21的温度上升。

公开(公告)号：US4644219A

公开(公告)日：1987-02-17

申请号：US667753

申请日：1984-11-02

Applicant: Erwin Huebner

Inventor： Erwin Huebner

IPC: H01J23/02 ,  H01J1/28 ,  H01J3/02 ,  H01J23/04 ,  H01J23/06 ,  H01J1/14

CPC classification number: H01J3/026 ,  H01J23/04

Abstract: A beam generating system for electron tubes, particularly travelling wave tubes, is formed of a beam shaping electrode and a dispenser cathode supported therein having an emission disk at its end face. A positional change of the dispenser cathode in the beam shaping electrode at different ambient temperatures is suppressed with the beam generating system, and thus a beam defocussing is avoided. According to the invention, the dispenser cathode is directly connected to the beam shaping electron and is connected below the emission disk by means of a radial cathode support. The beam generating system of this type is particularly employed in travelling wave tubes.

Abstract translation: 用于电子管，特别是行波管的光束产生系统由束形成电极和支撑在其中的分配器阴极形成，其端面具有发射盘。 波束形成电极在不同环境温度下的分配器阴极的位置变化被光束产生系统抑制，因此避免了光束聚焦。 根据本发明，分配器阴极直接连接到光束成形电子，并且通过径向阴极支撑件连接在发射盘下方。 这种波束发生系统特别适用于行波管。