-
公开(公告)号：KR100782352B1
公开(公告)日：2007-12-11
申请号：KR1020050128875
申请日：2005-12-23
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N21/31
Abstract: 본 발명은 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 가스 감지를 위하여 광이 이동되는 채널 홈을 절곡시켜 동일한 크기에서 광의 이동거리를 증가시켜, 흡광도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 절곡된 홈을 적용하여 이 홈을 수용할 수 있는 기판의 크기가 줄어들어서, 스펙트로미터의 크기를 줄일 수 있어, 장치를 휴대할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명은 광의 이동거리를 증가시켜, 저농도의 가스 성분을 측정할 수 있는 효과가 있다.
마이크로, 감지, 스펙트로미터, 절곡, 홈-
公开(公告)号：KR1020070105579A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：KR1020060037880
申请日：2006-04-27
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: A tactile sensor array and a method for manufacturing the same are provided to form a metal interconnection on a polymer layer provided with a tactile sensor so that the tactile sensor makes contact with a driving circuit without an additional printed circuit board. A polymer layer is formed on a substrate. The first metal interconnection and a deformation detector are provided at the upper portion of the polymer layer. A photoresist layer is formed on the entire surface of the polymer layer. The photoresist layer is patterned such that a contact hole is formed in the upper portion of the deformation detector. The second metal interconnection is formed on the photoresist layer. A support block is formed at the end of the upper portion of the photoresist layer. A protective block is formed on the photoresist layer except for the support block area. The polymer layer is delaminated from the substrate. A load block is formed in the lower portion of the polymer layer.
Abstract translation: 提供了触觉传感器阵列及其制造方法，以在设置有触觉传感器的聚合物层上形成金属互连，使得触觉传感器与驱动电路接触而不需要附加的印刷电路板。 在基板上形成聚合物层。 第一金属互连和变形检测器设置在聚合物层的上部。 在聚合物层的整个表面上形成光致抗蚀剂层。 图案化光致抗蚀剂层，使得在变形检测器的上部形成接触孔。 第二金属互连形成在光刻胶层上。 在光致抗蚀剂层的上部的端部形成支撑块。 除了支撑块区域之外，在光致抗蚀剂层上形成保护块。 聚合物层从基材脱层。 负载块形成在聚合物层的下部。
-
公开(公告)号：KR100703889B1
公开(公告)日：2007-04-05
申请号：KR1020030098927
申请日：2003-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N21/01
CPC classification number: B01F5/0646 , B01F5/0647 , B01F13/0059 , B01L3/502707 , B01L2300/0654 , B01L2300/0816 , B01L2300/0867 , B01L2300/0887 , B01L2300/1827 , G01N2201/08
Abstract: 본 발명은 용액 성분 분석을 위한 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 혼합채널, 반응채널과 측정채널을 연속적인 미세한 홈으로 하나의 기판에 형성시켜 용액 성분 분석을 위한 소자를 구현함으로써, 소형화시킬 수 있으며, 이동하여 신속히 시료를 분석할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 용액 성분 분석을 위한 소자의 측정채널과 광섬유 사이에 투명한 실리콘 산화막을 형성함으로써, 광섬유 삽입이 용이하게 되어 시료 분석을 위한 광학계 구성을 단순화할 수 있는 효과가 있다.
미세 분석 소자, 혼합기, 반응기, 미세 채널-
公开(公告)号：KR100631187B1
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：KR1020040083773
申请日：2004-10-19
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/09
Abstract: 본 발명은 마이크로 반사경이 결합된 적외선 감지 소자의 패키지 및 그의 패키징 방법에 관한 것으로, 적외선을 투과시킬 수 있는 기판 상부에 하부전극, 적외선 감지물질막과 상부 전극이 순차적으로 적층되어 이루어진 적외선 감지 소자와; 상부 중앙영역에 오목 렌즈 영역이 형성되어 있고, 그 오목 렌즈 영역 상부에 반사막이 형성되어 있고, 상기 오목 렌즈 영역이 형성되어 있지 않은 상부에 금속 패턴이 형성되어 있고, 상기 금속 패턴 상부에 범프(Bump)가 형성되어 있으며, 상기 적외선 감지 소자의 상, 하부전극이 범프에 본딩되어 있는 베이스 기판으로 구성된다.
따라서, 본 발명은 반도체 공정을 이용하여 오목 렌즈와 적외선 감지물질막이 대향되도록 적외선 감지 소자를 패키징함으로써, 패키지의 크기를 작게할 수 있고, 오목 렌즈에 광이 모아져서 감지물질막으로 입사됨으로써, 적외선 감지 효율을 증가시킬 수 있는 우수한 효과가 있다.
적외선, 감지, 패키지, 오목, 렌즈, 반사경-
公开(公告)号：KR100620255B1
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：KR1020040021693
申请日：2004-03-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/00
Abstract: 본 발명은 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 멤스 공정 기술을 이용한 초소형 화학 센서 시스템에 관한 것이다.
본 발명의 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 제조 방법은 실리콘 기판 상부에 형성된 실리콘 질화막 칸티레버; 상기 실리콘 질화막 칸티레버 상부에 형성된 실리콘 산화막; 상기 실리콘 산화막 상부에 소정의 크기로 형성된 하부 전극; 상기 하부 전극 상부에 압전 구동을 위해 형성된 압전 구동층; 상기 하부 전극 상부 및 상기 압전 구동층 일부 영역 상부에 상하부 전극간 절연을 위해 형성된 절연층; 상기 절연층의 상부 및 상기 압전 구동층의 상부에 형성된 상부 전극 및 상기 상부 전극과 하부 전극에 소자의 구동을 위해 전계를 인가하기 위해 형성된 전극 라인으로 구성됨에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 및 그 제작 방법은 외부로부터 극소량의 ppb 또는 ppt 수준의 산업 환경유해 물질의 농도에 신속하게 반응하여 공진주파수의 변화를 통해 즉시 감지가 가능하여 빠른 응답 속도와 높은 감도 낮은 전력 손실이 가능한 장점이 있고, 시스템의 소형화로 인한 휴대형화, 실리콘 반도체 가공기술로 대량생산에 따른 제조원가 절감 및 집적의 용이함, 다양한 감지 대상 물질을 감지할 수 있도록 어레이 형태로 제작이 가능하며, 생명공학, 의학 및 환경관련 분야에 활용이 가능한 효과가 있다.
멤스, 마이크로 칸티레버-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100606496B1
公开(公告)日：2006-07-31
申请号：KR1020030086239
申请日：2003-12-01
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01T1/16
Abstract: 본 발명은 인체영상센서의 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 정렬핀을 이용하여 격벽구조물을 이미지 센서에 정렬하는 인체영상센서의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 인체영상센서의 제작 방법은 격벽구조물과 이미지 센서를 사용하는 인체영상센서의 제작 방법에 있어서, 소정 크기와 형상의 다수의 구멍이 형성된 격벽구조물에 정렬핀의 위치를 제작하는 단계; 상기 격벽구조물의 구멍에 변환물질을 채우는 단계 및 상기 격벽구조물과 이미지 센서를 정렬핀을 이용하여 정렬하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 인체영상센서의 제작 방법은 정렬핀을 이용하여 격벽구조물을 정렬함으로써, 별도의 복잡한 광학렌즈나 장치없이도 제작할 수 있기에 공정이 간단하다는 장점이 있고, 별도의 시설이 필요없기 때문에 경비 절감에 효과적이다.
인체영상센서, 정렬핀, 격벽-
公开(公告)号：KR100581143B1
公开(公告)日：2006-05-16
申请号：KR1020030067973
申请日：2003-09-30
Applicant: 전자부품연구원 , 유일광통신 주식회사
IPC: G02B26/08
Abstract: 본 발명은 다채널 광 스위치 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 상부에 일정간격으로 이격된 수평 요홈들과 수직 요홈들이 형성되어 있으며, 상기 수평 요홈들과 수직 요홈들이 교차되어, 사면이 요홈들로 둘러싸인 N x M 개의 공간 각각에 마이크로 액추에이터와 이 마이크로 액추에이터의 동작에 의해 직선운동 하는 마이크로 미러를 포함하는 MEMS 소자가 형성되어 있는 기판을 형성하는 제 1 단계와; 실리카 기판과, 상기 실리카 기판으로부터 돌출되어 형성된 광도파로로 이루어진 PLC(Planar Lightwave Circuit) 소자를 형성하는 제 2 단계와; 상기 MEMS 소자가 형성되어 있는 기판의 요홈들에 상기 PLC 소자의 광도파로를 삽입시키면서, 상기 광도파로의 외곽선이 상기 MEMS 소자의 외곽선에 일치되도록 정렬하는 제 3 단계와; 상기 PLC 소자와 상기 MEMS 소자가 형성된 기판의 가장자리를 접착시키는 제 4 단계를 수행하여 다채널 광 스위치를 제조한다.
따라서 본 발명은 수직과 수평 요홈이 교차된 영역에 PLC 소자의 광도파로가 만나는 공간 각각에 N x M 개의 MEMS 소자의 마이크로 미러가 동작되어, 광의 스위칭을 수행할 수 있는 다채널 광 스위치 소자를 구현할 수 있고, 투명한 실리카 기판에서 PLC 소자가 제조됨으로써, MEMS 소자가 형성된 기판과 PLC 소자의 정렬을 용이하게 할 수 있고, 광도파로의 외곽선과 MEMS 소자의 외곽선을 일치시켜 정렬함으로써, 다채널의 모든 광축을 일치시킬 수 있는 효과가 있다.
다채널 광 스위치, 정렬, 광도파로, 마이크로 미러, 마이크로 액추에이터-
公开(公告)号：KR100574781B1
公开(公告)日：2006-04-28
申请号：KR1020040111217
申请日：2004-12-23
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 용액 성분 분석을 위한 소자에 관한 것으로, 반응채널에서 분기된 압력 해제 채널과 압력 해제구를 형성함으로써, 반응이 느린 시료들을 측정채널에 가두워 놓고, 반응시킨 후 또는 장시간 시료가 반응되는 것을 측정할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 측정채널과 대응된 끝단으로부터 일정간격 이격된 영역의 폭이 나머지 영역의 폭보다 큰 광섬유 삽입홈을 형성함으로써, 광섬유를 광섬유 삽입홈에 본딩을 위한 에폭시는 모세관 현상에 의해 광섬유 삽입홈의 끝단에는 침투하지 않아 광섬유가 에폭시에 오염되지 않게되어 광특성이 좋아져, 측정 특성을 우수하게 할 수 있는 효과 있다.
미세 분석 소자, 혼합기, 반응기, 미세 채널Abstract translation: 本发明涉及一种用于成分分析的溶液的装置，由形成所述压力释放通道和释压，得到在反应通道的分支，该反应左关战争测量较慢的采样信道，一个反应，或很长一段时间后的试样进行反应 有一个可以测量的效果。
-
公开(公告)号：KR1020060008496A
公开(公告)日：2006-01-27
申请号：KR1020040056783
申请日：2004-07-21
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/14
CPC classification number: G01N27/16 , G01N27/31 , G01N27/333
Abstract: 본 발명은 미세 다공성 구조물을 갖는 가스센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 실리콘 기판과; 상기 실리콘 기판의 중앙 영역 상부에서 내부로 형성된 미세 다공성 실리콘 산화 구조물과; 상기 미세 다공성 실리콘 산화 구조물을 포함하여 실리콘 기판 전면 상부에 형성된 멤브레인(Membrane)막과; 상기 미세 다공성 실리콘 산화 구조물이 존재하는 영역의 멤브레인막 상부에 형성된 가열 전극 패턴과; 상기 가열 전극 패턴 양측의 멤브레인막 상부에 형성된 감지 전극 패턴과; 상기 감지 전극 패턴을 제외하고 가열 전극 패턴을 감싸며, 상기 멤브레인막 상부에 형성된 절연막과; 상기 가열 전극 패턴을 감싸는 절연막을 내장시키며, 상기 감지 전극 패턴을 감싸는 감지막으로 구성된다.
따라서, 본 발명은 미세 다공성 실리콘 산화 구조물 상에 가스센서를 제조함으로써, 열 손실을 최소화할 수 있고, 외부 진동 및 충격과 가열부의 열에 의해 발생하는 열 응력에 의한 맴브레인의 파손을 최소화 할 수 있어 소자의 내구성을 높일 수 있는 효과가 있다.
다공, 가스센서, 멤브레인, 전기화학, 진공, 열, 손실-
公开(公告)号：KR1020050067894A
公开(公告)日：2005-07-05
申请号：KR1020030098927
申请日：2003-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N21/01
CPC classification number: B01F5/0646 , B01F5/0647 , B01F13/0059 , B01L3/502707 , B01L2300/0654 , B01L2300/0816 , B01L2300/0867 , B01L2300/0887 , B01L2300/1827 , G01N2201/08
Abstract: 본 발명은 용액 성분 분석을 위한 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 혼합채널, 반응채널과 측정채널을 연속적인 미세한 홈으로 하나의 기판에 형성시켜 용액 성분 분석을 위한 소자를 구현함으로써, 소형화시킬 수 있으며, 이동하여 신속히 시료를 분석할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 용액 성분 분석을 위한 소자의 측정채널과 광섬유 사이에 투명한 실리콘 산화막을 형성함으로써, 광섬유 삽입이 용이하게 되어 시료 분석을 위한 광학계 구성을 단순화할 수 있는 효과가 있다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
223
records
(took 0.026 seconds)
