公开(公告)号：WO2007028119A2

公开(公告)日：2007-03-08

申请号：PCT/US2006034408

申请日：2006-09-01

Applicant: UNIV MICHIGAN STATE ,  DANTUS MARCOS

Inventor： DANTUS MARCOS

IPC: G01B9/02 ,  H01J49/16

CPC classification number: H01J49/164 ,  G01J3/00 ,  G01J11/00 ,  G01N21/00

Abstract: A control system and apparatus for use with an ultra-fast laser is provided. In another aspect of the present invention, the apparatus includes a laser, pulse shaper, detection device and control system. A multiphoton intrapulse interference method is used to characterize the spectral phase of laser pulses and to compensate any distortions in an additional aspect of the present invention. In another aspect of the present invention, a system employs multiphoton intrapulse interference phase scan. Furthermore, another aspect of the present invention locates a pulse shaper and/or MIIPS unit between a laser oscillator and an output of a laser amplifier.

Abstract translation: 提供了一种与超快速激光一起使用的控制系统和装置。 在本发明的另一方面，该装置包括激光器，脉冲整形器，检测装置和控制系统。 使用多光子脉冲间干涉法来表征激光脉冲的光谱相位并补偿本发明的另外方面的任何失真。 在本发明的另一方面，一种系统采用多光子脉冲间干涉相位扫描。 此外，本发明的另一方面在激光振荡器和激光放大器的输出之间定位脉冲整形器和/或MIIPS单元。

公开(公告)号：WO00040935A1

公开(公告)日：2000-07-13

申请号：PCT/DK2000/000006

申请日：2000-01-07

IPC: G01J3/00 ,  G01J3/18 ,  G01J3/28 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01J3/00 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0278 ,  G01J3/0294 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803

Abstract: A method and apparatus for measuring spectral information of light from at least one object (15); said apparatus comprising at least one light detecting means (34); and at least one transparent body (31) having a front side (F) including: an entrance surface (311) having positioned in or near thereof an entrance aperture means (30), and at least one reflecting surface (312); and said transparent body further having a back side (B) including: at least one reflecting surface (313) for reflecting light received from said entrance aperture means, and an exit surface (314); said detecting means being positioned in or near said exit surface; said first reflecting surface, said second reflecting surface, or both, having at least one diffractive optical element (32) and/or at least one focusing means (33). Such apparatus comprising more spectral channels, and such apparatus comprising distance sensing means.

Abstract translation: 一种用于测量来自至少一个物体（15）的光的光谱信息的方法和装置; 所述装置包括至少一个光检测装置（34）; 以及具有前侧（F）的至少一个透明体（31），包括：入口表面（311），其具有位于其中或附近的入口孔装置（30）和至少一个反射表面（312）; 并且所述透明体还具有背面（B），所述背面（B）包括：用于反射从所述入口孔装置接收的光的至少一个反射表面（313）和出射表面（314）; 所述检测装置定位在所述出口表面中或附近; 所述第一反射表面，所述第二反射表面或两者具有至少一个衍射光学元件（32）和/或至少一个聚焦装置（33）。 这种装置包括更多的频谱信道，并且这种装置包括距离感测装置。

公开(公告)号：KR101714825B1

公开(公告)日：2017-03-09

申请号：KR1020137005681

申请日：2010-08-06

Applicant: 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하

Inventor： 켐프터크리스티앙

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G02B26/08

CPC classification number: G06F15/00 ,  G01J3/00 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/70508

Abstract: 마이크로리소그래피투영노광장치순차적인측정값들을발생시킬수 있는측정기기(54)와, 상기측정값들을처리하기위한프로세싱유닛(48)을갖는다. 이를위해, 상기프로세싱유닛은복수의디지털신호처리기(DSP1, DSP2, DSP3)들을포함하는프로세싱체인을갖고, 상기프로세싱체인내의제 1 디지털신호처리기(DSP1)는상기순차적인측정값들을수취하기위해상기측정기기(54)에연결된다. 또한, 상기프로세싱체인내의각각의후속디지털신호처리기(DSP2, DSP3)는상기프로세싱체인내의개별선행디지털신호처리기(DSP1, DSP2)에연결된다. 상기디지털신호처리기(DSP1, DSP2, DSP3)들은, 각각의디지털신호처리기(DSP1, DSP2, DSP3)가측정값들중 단지일부만을처리하여그들로부터처리결과들을발생시키며, 측정값들중 나머지부분을처리를위해프로세싱체인내의각각의다음디지털신호처리기(DSP2, DSP3)에전송하도록, 프로그래밍된다.

Abstract translation: 微光刻投影曝光装置具有测量装置，通过该测量装置可以产生一系列测量值，以及处理单元，用于处理测量值。 处理单元具有包括多个数字信号处理器的处理链。 处理链中的第一个数字信号处理器连接到测量装置以接收测量值序列。 处理链中的每个随后的数字信号处理器连接到处理链中的分别在前的数字信号处理器。 对数字信号处理器进行编程，使得每个数字信号处理器仅处理测量值的一部分，并从其中产生处理结果，并将测量值的剩余部分转发到处理链中的相应的下一个数字信号处理器进行处理。

公开(公告)号：KR101010760B1

公开(公告)日：2011-01-25

申请号：KR1020100005929

申请日：2010-01-22

Applicant: 부산대학교 산학협력단

Inventor： 서경환

IPC: G01W1/00 ,  G01W1/14

CPC classification number: G01W1/10 ,  G01J3/00 ,  G01W1/08

Abstract: PURPOSE: A diagnostic method for the determination of capability for the simulation of Madden-Julian oscillation in numerical models is provided to precisely diagnose Madden-Julian oscillation and to prevent the different result or analysis. CONSTITUTION: A diagnostic method for the determination of capability for the simulation of Madden-Julian oscillation in numerical models comprises the steps of: selecting a numerical model in which a signal distribution approaches observational data, wherein the signal distribution is over high position 95% level of a red background field spectrum in a cycle band of 30-80 days showing Madden-Julian oscillation; selecting the numerical model approaching a spatial structure of observational data; selecting the numerical model approaching each observational data related to atmosphere and marine variables; and determining the numerical model approaching observational data of the selected numerical models.

Abstract translation: 目的：提供一种用于确定数值模型中Madden-Julian振荡模拟能力的诊断方法，以精确诊断Madden-Julian振荡并防止不同的结果或分析。 规定：在数值模型中确定Madden-Julian振荡模拟能力的诊断方法包括以下步骤：选择信号分布接近观测数据的数值模型，其中信号分布高于95％的高位 红色背景场光谱在30-80天的周期带显示Madden-Julian振荡; 选择接近观测资料空间结构的数值模型; 选择接近与大气和海洋变量相关的每个观测数据的数值模型; 并确定接近所选数值模型的观测数据的数值模型。

公开(公告)号：KR1020100099698A

公开(公告)日：2010-09-13

申请号：KR1020107013002

申请日：2008-11-07

Applicant: 크리,인코포레이티드

Inventor： 로버츠존 ,  유천후아

IPC: G09G3/36

CPC classification number: G01J3/46 ,  F21K9/00 ,  F21K9/62 ,  G01J3/00 ,  G01J3/462 ,  G01J2001/4247 ,  G01J2003/467 ,  G02F1/1336 ,  G02F1/133602 ,  G09G3/00 ,  G09G3/3406 ,  G09G3/36 ,  H05B33/0803 ,  H05B33/086 ,  H05B33/0863

Abstract: 발광체를 분류하는 방법 및 장치가 제공된다. 상기 방법의 실시예는 복수의 컬러 (color) 각각을 적어도 2개의 색도 좌표로 표현하도록 구성된 다중 축 컬러 스페이스 (multiple axis color space)의 영역을 사용하여 복수의 발광체의 일부를 선택하는 동작을 포함한다. 상기 영역은 다중 축 컬러 스페이스 상의 미리 정의된 점에 근접하며 제 1 길이를 갖는 주 축 (major axis) 및 상기 제 1 길이보다 짧은 제 2 길이를 포함하는 부 축 (minor axis)을 포함할 수 있다.

Abstract translation: 提供了用于对发光体和包括其的装置进行分组的装置和方法。 这种方法的实施例可以包括使用被配置为表示多个颜色中的每一个作为至少两个色度坐标的多轴颜色空间的区域来选择一部分发光体。 该区域可以接近多轴颜色空间上的预定点，并且包括具有第一长度的长轴和具有小于第一长度的第二长度的短轴。

公开(公告)号：KR100971836B1

公开(公告)日：2010-07-22

申请号：KR1020047015393

申请日：2003-03-26

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 캐츠블래디미르 ,  미첼벨라

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/66 ,  H01L21/306

CPC classification number: B24B49/12 ,  B24B37/013 ,  G01B11/0625 ,  G01B11/0683 ,  G01J3/00

Abstract: 본 발명은, 제1의 넓은 광빔으로 웨이퍼 표면의 제1부분을 조명하는 단계를 포함하는 화학 기계적 연마 프로세스동안 종점을 검출하기 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다. 제1반사 스펙트럼 데이터가 수신된다. 데이터의 제1반사 스펙트럼은 웨이퍼 표면의 제1의 조명된 부분으로부터 반사된 광의 제1스펙트럼에 대응한다. 웨이퍼 표면의 제2부분은 제2의 넓은 광빔으로 조명된다. 제2반사 스펙트럼 데이터가 수신된다. 데이터의 제2반사 스펙트럼은 웨이퍼 표면의 제2의 조명된 부분으로부터 반사된 광의 제2스펙트럼에 대응한다. 제1반사 스펙트럼 데이터는 정규화되고, 제2반사 스펙트럼 데이터도 정규화된다. 종점은 정규화된 제1스펙트럼 데이터와 정규화된 제2스펙트럼 데이터간의 차에 기초하여 결정된다.

公开(公告)号：KR1020070122565A

公开(公告)日：2007-12-31

申请号：KR1020077026849

申请日：2006-04-25

Applicant: 유니버시티 오브 매사추세츠

Inventor： 솔러,밥스알. ,  양,예 ,  쉬어,마이클에이. ,  소예미,올루솔라오.

IPC: G01J3/00 ,  F21V9/16

CPC classification number: G01N21/25 ,  A61B5/0075 ,  A61B5/14535 ,  A61B5/14539 ,  A61B5/14546 ,  A61B5/1455 ,  A61B5/14551 ,  A61B5/6824 ,  G01N21/274 ,  G01N21/359 ,  G01N21/49 ,  G01N21/55 ,  G01N21/59 ,  G01N2021/3155 ,  G01J3/00

Abstract: We disclose measurement systems and methods for measuring analytes in target regions of samples that also include features overlying the target regions. The systems include: (a) a light source; (b) a detection system; (c) a set of at least first, second, and third light ports which transmit light from the light source to a sample and receive and direct light reflected from the sample to the detection system, generating a first set of data including information corresponding to both an internal target within the sample and features overlying the internal target, and a second set of data including information corresponding to features overlying the internal target; and (d) a processor configured to remove information characteristic of the overlying features from the first set of data using the first and second sets of data to produce corrected information representing the internal target.

Abstract translation: 我们公开了测量系统和方法，用于测量样品目标区域中的分析物，还包括覆盖目标区域的特征。 系统包括：（a）光源; （b）检测系统; （c）一组至少第一，第二和第三光端口，其将来自光源的光透射到样品并且将从样品反射的光接收并引导到检测系统，生成第一组数据，其包括对应于 所述样本内的内部目标和覆盖所述内部目标的特征，以及包括对应于覆盖所述内部目标的特征的信息的第二组数据; 以及（d）处理器，被配置为使用所述第一和第二组数据从所述第一组数据中去除所述上覆特征的信息特征，以产生表示所述内部目标的校正信息。

公开(公告)号：KR101880616B1

公开(公告)日：2018-07-23

申请号：KR1020170098565

申请日：2017-08-03

Applicant: 한국해양과학기술원

Inventor： 양찬수 ,  하룬알러쉬드아메드 ,  김태호 ,  홍단비

IPC: G01W1/10 ,  G06T1/00 ,  G06T7/60 ,  G01J3/00 ,  G01S19/14

CPC classification number: Y02A90/14 ,  G01W1/10 ,  G01J3/00 ,  G01S19/14 ,  G01W2201/00 ,  G06T1/0007 ,  G06T7/60

Abstract: 본발명에따른해상풍과해무위성정보를이용한해무예측방법은, 해양관측위성으로부터복수의해양이미지를획득하는단계; 상기획득한복수의해양이미지에서해무발생영역을구별하여추출하는단계; 상기추출된해무발생영역의이미지에서해무클러스터의중심변위를결정하고해무궤적을생성을하는단계; 및상기생성된해무궤적에해상풍과해무위성정보를이용한해상풍모델데이터를이용하여해무의이동을예측하는단계를포함하는점에그 특징이있다. 본발명에따르면, 해상풍과해무위성정보를이용한해상풍데이터및 500m 공간해상도의매시간광 위성데이터를이용하여해무를예측하고, 예측된해무의궤도에대한다양한유형의오류를비교하여어떤해상도데이터가더 나은성능을제공하는지를확인할수 있게된다.

公开(公告)号：KR1020150137311A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：KR1020140064968

申请日：2014-05-29

Applicant: 한국광기술원

Inventor： 김재필 ,  윤창훈 ,  전시욱 ,  송상빈 ,  김완호

IPC: G01J1/02 ,  G01J3/46 ,  G01J3/28

CPC classification number: G01J1/02 ,  G01J3/00 ,  G01J3/28 ,  G01J3/46

Abstract: 본발명은 LED 칩의상부에실장되는형광체시트의광특성을측정하여평가하는형광체시트의광특성측정장치를제공하는것을목적으로한다. 이를위해본 발명은측정대상형광체시트의상부에설치되어형광체여기용(勵起用) 빛을출력하는광원부; 상기형광체시트가상기광원부에서출력된빛에여기되는빛을검출하는영상검출부; 상기광원부와영상검출부의동작제어신호를출력하고, 상기영상검출부가검출한빛의스펙트럼을분석하여상기형광체시트의광특성을측정하며, 상기측정결과를출력하는분석제어부; 및상기분석제어부가출력하는측정결과가표시되도록하는디스플레이부를포함한다. 따라서본 발명은투명재질의고분자필름형광체시트와, 불투명의기판을사용한형광체시트의광특성을모두측정할수 있는장점이있다.

Abstract translation: 本发明提供一种测量和评价安装在LED芯片上部的荧光体片的光学特性的荧光体片的光学特性的装置。 为此，本发明包括：光源单元，其安装在目标测量荧光体片的上部，并输出用于荧光体激发的光; 图像检测单元，其通过从所述光源单元输出来检测激发所述荧光体片的光; 分析控制单元，其输出光源单元和图像检测单元的操作控制信号，分析由图像检测单元检测的光的光谱，以测量荧光体片的光学特性，并输出测量结果; 以及显示单元，显示由分析控制单元输出的测量结果。 因此，本发明可以使用不透明基板测量透明聚合物膜荧光体片和荧光体片的光学性质。

公开(公告)号：KR1020150047178A

公开(公告)日：2015-05-04

申请号：KR1020130126907

申请日：2013-10-24

Applicant: 한국광기술원

Inventor： 김강호 ,  조용익 ,  이윤철 ,  채성기 ,  정승언

IPC: G01J1/00 ,  G01J1/42 ,  G01J3/46 ,  G01M11/04

CPC classification number: G01J1/00 ,  G01J1/42 ,  G01J3/00 ,  G01J3/46 ,  G01M11/04

Abstract: 본발명은검사대상조명기기의광학성능을평가하는과정에시험의중단으로인한데이터의잡음이입을방지하고재측정에의한사용자오차를제거하여조명기기의광학특성을정확하게평가할수 있는조명기기평가장치를제공하는것을목적으로한다. 이를위해본 발명은조명기기의광학성능을측정하는적분구와상기조명기기를고정하는지그부가설치되고, 상기적분구또는지그부중 어느하나를이동시켜상기조명기기가적분구의내부에순차적으로삽입되도록하여상기조명기기의광학성능을측정하는본체부; 상기지그부에설치된조명기기가삽입되도록일측에개구부를형성하고, 상기조명기기에서출력되는광학정보를검출하여광섬유를통해상기본체부로전송하는적분구; 및상기조명기기가일정간격으로배치되어고정되도록하는지그부를포함한다. 따라서본 발명은검사대상조명기기의광학성능을평가하는과정에시험의중단으로인한데이터의노이즈이입을방지할수 있고, 재측정에의한사용자오차를제거하여조명기기의광학특성을정확하게평가할수 있는장점이있다.

Abstract translation: 本发明的目的在于提供一种用于估计照明装置的装置，其防止在评估照明装置的光效率的过程中停止测试时引起的数据的噪声输入，并且通过消除由照明装置的用户错误而精确地评估照明装置的光学特性 重新测量。 本发明包括：主体部分，包括固定测量照明装置和光学装置的光学性能的积分球的夹具部分，并且通过移动积分球或夹具部分来测量照明装置的光学性能，使得 将照明装置依次插入积分球; 形成开口部以便插入安装在夹具部上的照明装置的积分球检测从照明装置输出的光信息，并通过光纤发送检测到的信息; 以及具有以等间隔排列的照明装置的夹具部。 因此，本发明具有防止在评估照明装置的光效率的过程中停止测试时引起的噪声的引入，并且通过消除由重新测量产生的用户误差来准确评估照明装置的光学特性的优点。