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公开(公告)号：KR101897460B1
公开(公告)日：2018-09-12
申请号：KR1020160152501
申请日：2016-11-16
Applicant: 한국표준과학연구원
Inventor： 조복래
Abstract: 본발명은진공배기후에진공배기라인연결부를밀봉하고게터를전자총내부에포함시켜진공을유지하며교환가능한전자총및 이를포함하는전자현미경에관한것으로, 진공배기후에진공배기라인연결부를밀봉하고게터를전자총내부에포함시켜진공을유지하며, 전자현미경용전자총을전자빔칼럼에서분리가능하여손쉽게교체가가능하고, 전자빔광학계와함께전자현미경을구성하거나, 기존의전자현미경의전자총교체용품으로사용이가능하여경제적이다.
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公开(公告)号：KR101041271B1
公开(公告)日：2011-06-14
申请号：KR1020090077796
申请日：2009-08-21
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
CPC classification number: H01J3/02
Abstract: 본 발명은 공진공동 내측의 전기장의 대칭성이 유지되는 전자빔 발생장치에 대한 것이다. 이를 위하여 내측에 공진공동이 마련된 원통형의 하우징과, 하우징에 전자기파를 입사시키기 위하여 하우징의 외주부에 결합되며 커플링홀을 통하여 공진공동과 연통되는 웨이브가이드와, 하우징의 외주부상에서 웨이브가이드의 반대편에 결합되고 제1펌핑홀을 통하여 공진공동과 연통되는 제1펌핑포트를 포함하며, 레이저빔이 내측으로 입사되는 입사홀과 레이저빔에 의하여 발생되는 전자빔이 외측으로 배출되는 배출홀이 하우징의 중심축방향의 일면에만 마련된 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020100103651A
公开(公告)日：2010-09-27
申请号：KR1020107016869
申请日：2003-10-30
Applicant: 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.
Inventor： 윌랜드마르코잰-자코 , 캠퍼비크베르트잰 , 반빈알렉산더핸드릭빈센트 , 크루이트피터
IPC: H01J37/302 , H01J37/304 , H01J37/317
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: The invention relates to an electron beam generator for generating an electron beam, comprising an electron source and an extractor. The combination of electron source and extractor in use forms a negative lens, wherein said extractor has a positive voltage with respect to the source. The extractor and the electron source are positioned such that, in use, a space charge limited region is present between them. In an embodiment, the extractor is a planar extractor. In another embodiment, the source is a thermionic source.. The generator may comprise an illumination system for collimating the electron beam.
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公开(公告)号：KR1020050066758A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：KR1020030098109
申请日：2003-12-27
Applicant: 삼성에스디아이 주식회사
Abstract: 본 발명은 임의의 간격을 두고 대향 배치되는 제1 및 제2 기판과; 제1 기판 상에서 절연층을 사이에 두고 위치하는 캐소드 전극들 및 게이트 전극들과; 제1 기판 상에 설정된 화소 영역에 대응하여 캐소드 전극의 일측 가장자리에 위치하는 전자 방출원들과; 제1 기판과 제2 기판 사이에 배치되고, 각각의 전자 방출원에 대응하여 전자빔 통과를 위한 개구부들을 형성하는 그리드 기판을 포함하는 전계 방출 표시장치에 있어서, 그리드 기판의 개구부와 전자 방출원의 위치 관계를 최적으로 설정하여 화면 휘도와 색재현성을 높이는 구성을 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020010077939A
公开(公告)日：2001-08-20
申请号：KR1020000073798
申请日：2000-12-06
Applicant: 삼성에스디아이 주식회사 , 산오프 코포레이션
IPC: H01J29/48
CPC classification number: H01J29/503 , H01J3/02 , H01J29/488 , H01J29/51 , H01J2229/481 , H01J2229/4813 , H01J2229/4834
Abstract: PURPOSE: A cathode-ray tube having an electron gun in a coated tube neck is provided, which does not require electrodes having separate passage holes for electron beams and has an electron gun generating three electron beams that converge on a single spot on a screen by themselves. CONSTITUTION: A cathode-ray tube(10) includes a main lens composed of a tube-type focus electrode, and a conductive coating portion formed on the inner side of a tube neck. The conductive coating portion is extended from the focus electrode toward the screen of the cathode-ray tube. The outlet of the focus electrode is not flat but curved, and the focus electrode has a passage-hole plate at the center area between the inlet and outlet of the focus electrode. The passage-hole plate has an oval central beam passage hole for conversing and focusing external and central electron beams and a semi-oval external beam passage hole. The focus electrode is placed at the center of the tube neck(14) and partially surrounded by the conductive coating portion.
Abstract translation: 目的：提供一种在涂覆管颈中具有电子枪的阴极射线管，其不需要具有用于电子束的单独通道的电极，并且具有产生三个电子束的电子枪，该电子枪在屏幕上会聚在单个点上 他们自己。 构成：阴极射线管（10）包括由管式聚焦电极构成的主透镜和形成在管颈内侧的导电涂层部分。 导电涂层部分从聚焦电极延伸到阴极射线管的屏幕。 聚焦电极的出口不平坦但弯曲，聚焦电极在聚焦电极的入口和出口之间的中心区域具有通孔板。 通孔板具有椭圆形的中央束通道孔，用于对外和中心的电子束和一个半椭圆形的外部光束通过孔。 聚焦电极放置在管颈（14）的中心并部分被导电涂层部分包围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160049425A
公开(公告)日：2016-05-09
申请号：KR1020140167653
申请日：2014-11-27
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: H01J37/06 , H01J3/02 , H01J37/061 , H01J43/14 , H05H9/00
Abstract: 본발명은펄스전자빔을방출하는 RF 전자총과선형가속기시스템및 이를이용한펄스전자빔생성방법으로서, 전자총에의한펄스전자빔생성방법에있어서, 소정시간에공진기의음극에서방출된전자가상기공진기의양극에도달하는데, 상기공진기의내부에인가되는 AC 전기장의주기의정수배의시간만큼걸리도록하는크기를갖는 DC 전기장을상기공진기의음극과양극사이에인가하는단계; 및상기소정시간에방출된전자보다늦게방출된전자의속도가상기소정시간에방출된전자의속도보다빠르도록하고, 상기소정시간에방출된전자보다일찍방출된전자의속도가상기소정시간에방출된전자의속도보다늦도록하는크기를갖는상기 AC 전기장을상기공진기내부로인가하는단계를포함하는것을특징으로하는펄스전자빔생성방법과이를구현시킬수 있는 RF 전자총및 상기 RF 전자총을이용하는선형가속기시스템이며, 이와같은본 발명에의하면음극과양극사이의거리, DC 전기장의세기, AC 전기장의세기와주파수를적절히조절하여높은주파수에서도펄스전자빔이만들어지면서또한음극과양극사이갭을통과하여자유공간을진행하는전자빔이스스로뭉치도록하는 RF 전자총을제공할수 있으며, 상기 RF 전자총을이용하여보다간단한구조의선형가속기시스템을구현할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种发射脉冲电子束的RF电子枪，一种线性加速器系统和使用该射束电子束的脉冲电子束产生方法，以及涉及一种脉冲电子束产生方法，包括：施加直流电场的步骤， 当从谐振器的负极发射的电子在谐振器的正极到达正弦时，在谐振器的负极和正极之间施加到谐振器内的AC电场的周期的整数倍的整数倍的大小在 预定时间 以及施加AC电场的步骤，其具有加速比预定时间期间发射的电子晚发射的电子的速度高于在预定时间期间发射的电子速度的尺寸，并延迟电子速度 比预定时间期间发射的电子速度比预定时间期间发射的电子更早地发射，能够实现其的RF电子枪，以及使用RF电子枪的线性加速器系统。 根据上述本发明，通过适当地控制负极和正极之间的距离，DC电场的强度以及AC电场和电子的强度和频率，以高频产生脉冲电子束 为了使通过负极和正极之间的间隙并通过自由空间的电子束结合。 此外，可以通过使用RF电子枪来形成更简单结构的线性加速器系统。
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公开(公告)号：KR101119703B1
公开(公告)日：2012-03-20
申请号：KR1020107016868
申请日：2003-10-30
Applicant: 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.
Inventor： 윌랜드마르코잰-자코 , 캠퍼비크베르트잰 , 반빈알렉산더핸드릭빈센트 , 크루이트피터
IPC: H01J37/302 , H01J37/304 , H01J37/317 , G03F7/20
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 본 발명은: 복수의 전자 빔릿들(5a, 5b)을 발생하는 빔릿 발생기; 전자 빔릿의 세기를 변조하는 복수의 변조기들을 포함하고, 상기 복수의 전자 빔릿들을 제공받는 변조 어레이; 변조 어레이에 연결되고, 변조기를 개별적으로 제어하는 제어기; 각각의 변조기에 조작적으로 연결되고, 각각의 변조기에 대한 제어 신호를 개별적으로 조절하는 조절기; 정전기적 렌즈들의 어레이(7)를 포함하고, 각각의 렌즈는 상기 변조 어레이를 지나서 투과된 해당 개별적 빔릿의 초점을 300 nm보다 작은 단면에 맞추는 집속 전자 광 시스템; 및 집속 전자 광 시스템의 제1 초점면에서 패턴이 전사되는 노출 표면을 구비한 표적을 홀드하는 표적 홀더를 포함하는, 표적의 표면상에 패턴을 전사하는 전자 빔 노출 장치에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR101119890B1
公开(公告)日：2012-03-13
申请号：KR1020107016867
申请日：2003-10-30
Applicant: 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.
Inventor： 윌랜드마르코잰-자코 , 캠퍼비크베르트잰 , 반빈알렉산더핸드릭빈센트 , 크루이트피터
IPC: H01J37/302 , H01J37/304 , H01J37/317 , G03F7/20
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 본 발명은: 복수의 전자 빔릿들(5a, 5b)을 발생하는 빔릿 발생기; 전자 빔릿의 세기를 변조하는 복수의 변조기들을 포함하고, 상기 복수의 전자 빔릿들을 제공받는 변조 어레이; 변조 어레이에 연결되고, 변조기를 개별적으로 제어하는 제어기; 각각의 변조기에 조작적으로 연결되고, 각각의 변조기에 대한 제어 신호를 개별적으로 조절하는 조절기; 정전기적 렌즈들의 어레이(7)를 포함하고, 각각의 렌즈는 상기 변조 어레이를 지나서 투과된 해당 개별적 빔릿의 초점을 300 nm보다 작은 단면에 맞추는 집속 전자 광 시스템; 및 집속 전자 광 시스템의 제1 초점면에서 패턴이 전사되는 노출 표면을 구비한 표적을 홀드하는 표적 홀더를 포함하는, 표적의 표면상에 패턴을 전사하는 전자 빔 노출 장치에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR101077098B1
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：KR1020107016866
申请日：2003-10-30
Applicant: 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.
Inventor： 윌랜드마르코잰-자코 , 캠퍼비크베르트잰 , 반빈알렉산더핸드릭빈센트 , 크루이트피터
IPC: H01J37/302 , H01J37/304 , H01J37/317
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 본발명은: 복수의전자빔릿들(5a, 5b)을발생하는빔릿발생기; 전자빔릿의세기를변조하는복수의변조기들을포함하고, 상기복수의전자빔릿들을제공받는변조어레이; 변조어레이에연결되고, 변조기를개별적으로제어하는제어기; 각각의변조기에조작적으로연결되고, 각각의변조기에대한제어신호를개별적으로조절하는조절기; 정전기적렌즈들의어레이(7)를포함하고, 각각의렌즈는상기변조어레이를지나서투과된해당개별적빔릿의초점을 300 nm보다작은단면에맞추는집속전자광 시스템; 및집속전자광 시스템의제1 초점면에서패턴이전사되는노출표면을구비한표적을홀드하는표적홀더를포함하는, 표적의표면상에패턴을전사하는전자빔 노출장치에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及：用于产生多个电子小射束（5a，5b）的小射束发生器; 一种调制阵列，包括多个用于调制电子小射束强度的调制器，所述调制阵列具有所述多个电子小射束; 耦合到调制阵列的控制器，用于单独地控制调制器; 调节器，可操作地连接到每个调制器，用于分别调节每个调制器的控制信号; 1.一种聚焦电子光学系统，用于将通过调制阵列透射的单个子束聚焦成小于300nm的截面;以及静电透镜阵列（7）; 以及保持具有曝光表面的台的目标支架，在该曝光表面上，在聚焦电子光学系统的第一焦平面上图案被转印到该曝光表面上。
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公开(公告)号：KR101016728B1
公开(公告)日：2011-02-25
申请号：KR1020057007705
申请日：2003-10-30
Applicant: 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.
Inventor： 윌랜드마르코잰-자코 , 캠퍼비크베르트잰 , 반빈알렉산더핸드릭빈센트 , 크루이트피터
IPC: H01J37/302 , H01J37/304 , H01J37/317
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 본 발명은: 복수의 전자 빔릿들(5a, 5b)을 발생하는 빔릿 발생기; 전자 빔릿의 세기를 변조하는 복수의 변조기들을 포함하고, 상기 복수의 전자 빔릿들을 제공받는 변조 어레이; 변조 어레이에 연결되고, 변조기를 개별적으로 제어하는 제어기; 각각의 변조기에 조작적으로 연결되고, 각각의 변조기에 대한 제어 신호를 개별적으로 조절하는 조절기; 정전기적 렌즈들의 어레이(7)를 포함하고, 각각의 렌즈는 상기 변조 어레이를 지나서 투과된 해당 개별적 빔릿의 초점을 300 nm보다 작은 단면에 맞추는 집속 전자 광 시스템; 및 집속 전자 광 시스템의 제1 초점면에서 패턴이 전사되는 노출 표면을 구비한 표적을 홀드하는 표적 홀더를 포함하는, 표적의 표면상에 패턴을 전사하는 전자 빔 노출 장치에 관한 것이다.
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