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公开(公告)号：WO2011021802A2
公开(公告)日：2011-02-24
申请号：PCT/KR2010/005236
申请日：2010-08-10
CPC classification number: H01J3/02
Abstract: 본 발명은 전자빔의 에미턴스를 감소시킬 수 있는 전자빔 발생장치에 대한 것이다. 이를 위하여 본 발명에 따른 전자빔 발생장치는, 전자빔이 생성되는 후면부와, 생성된 전자빔이 외부로 배출되도록 전자빔배출홀이 형성된 전면부와, 후면부와 전면부를 연결하는 측면부를 포함하며, 측면부에는 제1홀이 형성되고, 제1홀에 의하여 유발되는 전기장 불균형을 감소시키도록 제1홀과 마주보는 반대편 측면부에 제2홀이 형성된 하우징 및 제1홀을 통하여 하우징 내부로 전자기파를 공급하도록 측면부에 설치되는 웨이브가이드를 포함하며, 하우징 내부로 입사된 레이저에 의하여 전자빔이 생성되고 하우징 내부로 공급된 전자기파에 의하여 전자빔이 가속된다.
Abstract translation: 本发明涉及能够减少电子束发射的电子束产生装置。 为此，根据本发明的电子束产生装置包括：壳体，具有用于产生电子束的后表面部分，具有用于将产生的电子束发射到外部的电子束发射孔的前表面部分，以及 用于互连后表面部分和前表面部分的侧表面部分，其中侧表面部分具有第一孔，并且与第一孔面对所述侧表面的相对侧表面部分具有第二孔以减小电场不平衡 由第一洞造成; 以及布置在所述侧表面部分处的波导，以通过所述第一孔向所述壳体提供电磁波。 施加到壳体中的激光束产生电子束，并且由此产生的电子束被提供到壳体中的电磁波加速。
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公开(公告)号：KR1020110020085A
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：KR1020090077796
申请日：2009-08-21
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
CPC classification number: H01J3/02
Abstract: PURPOSE: An electron beam generating apparatus and an electron beam generating method thereof are provided to receive and discharge the laser beam by forming only one hole on the front part of the housing. CONSTITUTION: A resonant cavity is arranged on the inner side of the housings(120, 140). A wave guide(110) is combined to the peripheral part of the housing. The wave guide is communicated with the resonant cavity through the coupling hole. A first pumping port(160) is combined to the opposite side of the wave guide.
Abstract translation: 目的：提供一种电子束产生装置及其电子束产生方法，以通过在壳体前部形成一个孔来接收和排出激光束。 构成：谐振腔布置在壳体（120,140）的内侧。 波导（110）组合到壳体的周边部分。 波导通过耦合孔与谐振腔连通。 第一抽吸口（160）组合到波导的相对侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101071468B1
公开(公告)日：2011-10-10
申请号：KR1020090001275
申请日：2009-01-07
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 간섭효과를이용한빔 진단장치및 방법이개시된다. 본발명에따른빔 진단장치는광이발생되는광원, 입사된상기광을통과시키는슬릿, 상기광원과상기슬릿사이에구비되어상기슬릿의전반부에상기광의이미지를형성시키는이미지형성수단및 상기슬릿을통과하여조사된상기광에의하여간섭무늬가형성되는검출수단을포함함으로써, 간섭효과를이용하여보다효과적으로빔을진단할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020100052286A
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：KR1020080111238
申请日：2008-11-10
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01J37/06 , H01J37/065 , H01J37/12
CPC classification number: H01J37/045 , H01J3/18 , H01J37/063 , H01J37/073 , H01J37/295 , H01J2237/0432 , H01J2237/06333
Abstract: PURPOSE: A femtosecond electron beam generating apparatus and a method thereof are provided to center the electrons generated in the cathode to a pinhole by forming a focusing unit like an electrostatic lens in one side of the cathode. CONSTITUTION: A permeable window(150) which is installed in one side of a cathode(100) passes through the incident laser. A pinhole(350) is formed in an anode(300) corresponding to the location of the electrons generated in the permeable window. A focusing unit is installed in one side of the cathode in order to generate the electric field. The focusing unit centers the electrons to the pinhole by accelerating the electrons. The focusing unit is composed of the electrostatic lens.
Abstract translation: 目的：提供一种飞秒电子束产生装置及其方法，通过在阴极的一侧形成像静电透镜这样的聚焦单元，将阴极中产生的电子对准针孔。 构成：安装在阴极（100）的一侧的可渗透窗（150）穿过入射激光。 在与可渗透窗中产生的电子的位置对应的阳极（300）中形成针孔（350）。 聚焦单元安装在阴极的一侧以产生电场。 聚焦单元通过加速电子将电子中心到针孔。 聚焦单元由静电透镜组成。
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公开(公告)号：KR1020100081855A
公开(公告)日：2010-07-15
申请号：KR1020090001275
申请日：2009-01-07
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: PURPOSE: An apparatus for diagnosing beam using interference effect is provided to reduce the distance between slit and the light source and to precisely diagnose beam using an interference effect. CONSTITUTION: An apparatus for diagnosing beam using interference effect comprises a light source(100), a slit(300), an image formation part(200) and a detecting part(500). The light source generates the light. The light passes through the slit. The image formation part is included between the light source and the slit. The image formation part constitutes the image of the light in the front part of slit. The dark fringe is formed by the light in which the detecting part passes through slit.
Abstract translation: 目的：提供一种用于使用干扰效应来诊断光束的装置，以减少狭缝和光源之间的距离，并使用干涉效应精确地诊断光束。 构成：用于使用干涉效应来诊断光束的装置包括光源（100），狭缝（300），图像形成部分（200）和检测部分（500）。 光源产生光。 光穿过狭缝。 图像形成部分包括在光源和狭缝之间。 图像形成部构成狭缝前部的光的图像。 黑色条纹由检测部穿过狭缝的光形成。
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公开(公告)号：KR100964094B1
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：KR1020080111238
申请日：2008-11-10
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01J37/06 , H01J37/065 , H01J37/12
CPC classification number: H01J37/045 , H01J3/18 , H01J37/063 , H01J37/073 , H01J37/295 , H01J2237/0432 , H01J2237/06333
Abstract: 펨토초 전자 빔 발생 장치 및 방법이 개시된다.
음극(cathode)을 통하여 발생되는 전자를 양극(anode)으로 토출하여 전자 빔을 발생하는 전자 빔 발생 장치에 있어서, 상기 음극의 일측에 구비되어 입사되는 레이저를 통과시키는 투과창, 상기 투과창에서 발생된 상기 전자의 위치에 대응하여 상기 양극 상에 형성되는 핀홀, 및 상기 음극의 일측에 구비되어 전기장을 발생함으로써 상기 전자를 가속함과 동시에 상기 핀홀로 집중시키는 포커싱 수단을 포함함으로써, 음극에 위치한 포커싱 수단에 의하여 생성된 전기장에 의하여 전자가 핀홀로 집중됨과 동시에 가속됨으로써 펨토초의 전자 빔을 발생시킬 수 있는 효과를 가진다.
양극, 음극, 펨토초, femtosecond, 전자 빔Abstract translation: 公开了一种用于产生飞秒电子束的装置和方法。 通过将通过阴极发射的电子放电到阳极来产生电子束的装置包括设置在阴极的一侧以允许入射激光通过的透射窗口，形成在阳极上的针孔，使得针孔对应于位置 的发射窗产生的电子，以及设置在阴极一侧的聚焦单元，产生电场以加速并同时将电子集中到针孔。 通过由位于阴极处的聚焦单元产生的电场，电子同时集中并加速到针孔，以产生飞秒电子束。
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公开(公告)号：KR101041271B1
公开(公告)日：2011-06-14
申请号：KR1020090077796
申请日：2009-08-21
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
CPC classification number: H01J3/02
Abstract: 본 발명은 공진공동 내측의 전기장의 대칭성이 유지되는 전자빔 발생장치에 대한 것이다. 이를 위하여 내측에 공진공동이 마련된 원통형의 하우징과, 하우징에 전자기파를 입사시키기 위하여 하우징의 외주부에 결합되며 커플링홀을 통하여 공진공동과 연통되는 웨이브가이드와, 하우징의 외주부상에서 웨이브가이드의 반대편에 결합되고 제1펌핑홀을 통하여 공진공동과 연통되는 제1펌핑포트를 포함하며, 레이저빔이 내측으로 입사되는 입사홀과 레이저빔에 의하여 발생되는 전자빔이 외측으로 배출되는 배출홀이 하우징의 중심축방향의 일면에만 마련된 것을 특징으로 한다.
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