광학 분석 장치
    251.
    发明公开
    광학 분석 장치 审中-实审
    光学分析仪

    公开(公告)号:KR1020140068759A

    公开(公告)日:2014-06-09

    申请号:KR1020130140457

    申请日:2013-11-19

    CPC classification number: G01J3/0297 G01J3/0218 G01J3/42

    Abstract: The purpose of the present invention is to improve user convenience in use by classifying the correction of radiation change by an optical fiber and the correction of radiation change by a measurement cell. An optical analyzer comprises: an optical fiber (51(52)) which is arranged at least one among a gap between a light source (3) and a measurement cell (2) and a gap between the measurement cell (2) and an optical detector (4); an optical path switching means (6) which switches between a measurement cell passing condition (P) in which an optical path (L) formed by an optical transmission means (5) passes the measurement cell (2), and a measurement cell non-passing condition (Q) in which the optical path (L) formed the optical transmission means (5) passes a region different from the measurement cell (2) and performs a correction process for a first correction having a long correction period in the measurement cell passing condition (P) and a correction process for a second correction with a short correction period in the measurement cell non-passing condition (Q).

    Abstract translation: 本发明的目的是通过对光纤进行的辐射变化的校正进行分类以及测量单元对辐射变化的校正来提高使用者的使用便利性。 光学分析仪包括:光纤(51(52)),其布置在光源(3)和测量单元(2)之间的间隙中的至少一个与测量单元(2)之间的间隙和光学 检测器(4); 在由光传输装置(5)形成的光路(L)通过测量单元(2)的测量单元通过条件(P)与测量单元非均匀性之间切换的光路切换装置(6) 通过条件(Q),其中形成光传输装置(5)的光路(L)通过不同于测量单元(2)的区域,并且在测量单元中执行具有长校正周期的第一校正的校正处理 通过条件(P)和用于在测量单元不通过条件(Q)中具有短校正周期的第二校正的校正处理。

    유체 분석용 분광기
    255.
    发明公开
    유체 분석용 분광기 有权
    用于流体分析的光谱仪

    公开(公告)号:KR1020100092438A

    公开(公告)日:2010-08-20

    申请号:KR1020107010311

    申请日:2008-09-26

    Abstract: 본 발명은 파장대를 커버하는 광선을 생성하도록 설정된 조명장치(LSRC), 상기 조명장치로부터 출력된 광선이 분석대상인 유체와 상호작용하도록 설정된 프로브, 및 상기 광선이 분석대상인 유체와 상호작용한 후에 광선을 수용하고, 다양한 범위의 파장에 대해 광도의 측정치를 제공하도록 설정된 스펙트럼 분석 장치를 포함하는 분광기로서, 상기 조명장치가, 다양한 범위의 파장의 빛을 발산하는 수개의 발광 부재(1a-1c), 및 상기 발광 부재(1a-1c)의 발광면에 고정되고, 상기 파장대를 커버하는 생성된 광선으로 상기 발광 부재에 의해 발산된 광류를 결합하며, 상기 생성된 광류를 프로브로 가이드하는 복합 광학 부재(3)를 포함하는 것을 특징으로 하는 분광기에 관한 것이다.

    기판 처리 장치, 퇴적물 모니터 장치 및 퇴적물 모니터방법
    257.
    发明授权
    기판 처리 장치, 퇴적물 모니터 장치 및 퇴적물 모니터방법 有权
    基质处理装置,沉积物监测装置和沉积物监测方法

    公开(公告)号:KR100819313B1

    公开(公告)日:2008-04-03

    申请号:KR1020070026777

    申请日:2007-03-19

    Abstract: 퇴적물을 직접 분석하는 데 사용되는 퇴적물 모니터 장치의 구성 요소 설치의 자유도를 향상시킬 수 있다. 기판이 처리되는 처리실 내의 퇴적물을 모니터하는 기판 처리 장치의 퇴적물 모니터 장치는 상기 처리실 내에 적어도 일부가 노출되도록 배치된 광파이버를 포함한다. 입사광은 이 광파이버의 한쪽 단부에 접속되어 상기 광파이버로 방출되며, 광파이버를 통과한 광은 광파이버의 다른 쪽 단부에 접속된 수광 디바이스에 의해 수광된다.

    Abstract translation: 安装用于直接分析沉积物的沉积物监测装置的部件的自由度可以得到改善。 在其中衬底是处理腔室监测的沉积物的基板处理装置的沉淀物监测装置包括所述光纤布置成使得暴露所述处理腔室内的至少一部分上。 入射光被连接到所述光纤的一端被发射到光纤中,通过光纤已经通过的光被连接到所述光纤的另一端上的光接收器件接收。

    기판 처리 장치, 퇴적물 모니터 장치 및 퇴적물 모니터방법
    259.
    发明公开
    기판 처리 장치, 퇴적물 모니터 장치 및 퇴적물 모니터방법 有权
    基板处理装置,沉积监测装置和沉积监测方法

    公开(公告)号:KR1020070095227A

    公开(公告)日:2007-09-28

    申请号:KR1020070026777

    申请日:2007-03-19

    Abstract: A substrate processing apparatus, a deposit monitoring apparatus, and a deposit monitoring method are provided to monitor a deposit by using an exposed part of an optical fiber arranged within a processing chamber. A substrate processing apparatus includes a deposit monitoring unit(50). The deposition monitoring unit monitors a deposit within a processing chamber for performing a predetermined treatment process on a processing target substrate. The deposit monitoring unit includes an optical fiber(60) disposed within the processing chamber in order to expose at least a part, a light emitting unit connected to one end of the optical fiber and emitting incident light to the optical fiber, and a light receiving unit connected to another end of the optical fiber and receiving the light penetrating the optical fiber.

    Abstract translation: 提供了基板处理装置,沉积物监测装置和沉积物监测方法,以通过使用布置在处理室内的光纤的暴露部分来监测沉积物。 衬底处理装置包括沉积监测单元(50)。 沉积监测单元监测处理室内的沉积物,以对处理目标基板执行预定的处理过程。 沉积监测单元包括设置在处理室内的光纤(60),用于暴露至少一部分,连接到光纤的一端并将入射光发射到光纤的发光单元,以及光接收 单元连接到光纤的另一端并接收穿透光纤的光。

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