公开(公告)号：KR1020040110071A

公开(公告)日：2004-12-29

申请号：KR1020037016803

申请日：2002-04-23

Applicant: 마에다 히로무 ,  미즈노 토시히로

Inventor： 마에다히로무 ,  미즈노토시히로

IPC: G01J3/45 ,  G01J3/36 ,  G01N21/00

CPC classification number: G01J3/2803 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/26 ,  G01J3/36 ,  G01J3/45 ,  G01N21/3563

Abstract: 검사대상물의 내부를 통과해 온 투과광을 광섬유에 입광시키고, 그 광을 분광분석해서 검사대상물의 내부품질이나 성분을 측정, 검사하기 위해 소형 패키지화한 분광센서유닛이다. 소정 입사각이내의 광만을 통과시키는 광섬유다발을, 그 수광면으로부터 입광된 광의 편차가 출광측에서 균등하게 분산하도록 꼬아합치고, 또한 이 광섬유다발의 출광면의 형상이 광확산체의 입광측 끝면 및 광전변환소자의 수광면의 크기와 일치하도록 정형유지홀더에 의해 유지시키고, 또한 그 광섬유다발의 출광면으로부터의 광을 확산투과시키는 광확산체와, 그 광확산체의 출광끝면에 설치되는 연속가변 간섭필터와, 이 연속가변 간섭필터에 계속해서 설치되는 광전변환소자를 구비하고, 또한, 상기 광섬유다발과 광확산체와 연속가변 간섭필터의 각각의 광로를 일치시키고, 또한 이들을 패키지내에서 기밀상태로 시일유지시킨다.

公开(公告)号：KR1020010083171A

公开(公告)日：2001-08-31

申请号：KR1020010007472

申请日：2001-02-15

Applicant: 텍트로닉스 인코포레이티드

Inventor： 앤더슨두웨인알.

IPC: H04B10/07

CPC classification number: G01J3/1804 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0294 ,  G01J2003/1828 ,  G01J2003/2866 ,  G02B6/3534 ,  G02B6/3568 ,  G02B6/3586

Abstract: PURPOSE: A optical system for simultaneous detecting calibration system and test signal in optical spectrum analyzer are provided to supply a concurrent calibration signal and detect a test signal in an optical spectrum analyzer that is useful in analyzing optical telecommunications transmission lines. CONSTITUTION: The optical system(10) has a collimating optic(12), an optical axis(14), and a focal plane(16). A fiber array(18) has first and second pairs of optical fibers(22,24) with each optical fiber pair having an input optical fiber(26,28) and an output optical fiber(30,32). The input optical fiber(26) of the first pair of fibers(22) is coupled to receive the optical signal under test(34). The output optical fiber(30) of the pair is coupled to test signal detector(36). The input optical fiber(28) of the second pair of fibers(24) is connected to an optical calibration source(38) that produces a spectral output in response to shifts in emission or absorption energy levels in atomic or molecular species. The output optic fiber(32) of the pair is coupled to a calibration source detector(40). An optical tuning element drive motor(44) is connected to the optical tuning element(42) to tune the optical system(10) through the spectral range.

Abstract translation: 目的：提供用于同时检测光谱分析仪中的校准系统和测试信号的光学系统，以提供并行校准信号，并检测光谱分析仪中对分析光通信传输线路有用的测试信号。 构成：光学系统（10）具有准直光学元件（12），光轴（14）和焦平面（16）。 光纤阵列（18）具有第一和第二对光纤（22,24），每个光纤对具有输入光纤（26,28）和输出光纤（30,32）。 第一对光纤（22）的输入光纤（26）被耦合以接收待测光信号（34）。 该对的输出光纤（30）耦合到测试信号检测器（36）。 第二对光纤（24）的输入光纤（28）连接到光学校准源（38），该校准源响应于原子或分子物质中的发射或吸收能级的变化而产生光谱输出。 该对的输出光纤（32）耦合到校准源检测器（40）。 光调谐元件驱动电机（44）连接到光调谐元件（42），以通过光谱范围调谐光学系统（10）。

公开(公告)号：KR20180064318A

公开(公告)日：2018-06-14

申请号：KR20170166022

申请日：2017-12-05

IPC: G01J3/02 ,  G02B6/12

CPC classification number: G02B6/4214 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/2823 ,  G01J2003/2813 ,  G02B6/12007 ,  G02B6/1228 ,  G02B6/13 ,  G02B6/425 ,  G02B2006/12147

Abstract: 일양상에따른광자집적회로장치는, 적어도하나의광 검출기를포함하는평면검출기, 평면검출기와평행하게배열되며, 제1 광신호를가이드하는제1 집적도파관을포함하는도파관레이어, 도파관레이어의에지로부터이격된영역에서제1 집적도파관을종결하기위해도파관레이어상에형성된캐비티및 제1 집적도파관에의해가이드된제1 광신호를평면검출기의제1 광검출기를향해반사시키도록캐비티내에형성된제1 반사면을포함할수 있다.

公开(公告)号：KR1020180014348A

公开(公告)日：2018-02-08

申请号：KR1020160097006

申请日：2016-07-29

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 한재원

IPC: G01J3/02 ,  H01J63/08

CPC classification number: G01J3/0218 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0216 ,  H01J63/08

Abstract: 광학장치, 이를구비한고효율분광계측기및 플라즈마처리장치가개시된다. 본발명의실시예에따른광학장치는플라즈마광원의물체면(objective plane)에서방출되는제1 광, 물체면의전방영역에서방출되는제2 광및 물체면의후방영역에서방출되는제3 광을집속하는광집속렌즈; 광집속렌즈에의해집속되는제1 광의결상면에배치되고, 제1 광의결상점을감싸는영역에형성되고제2 광의집속광및 제3 광의집속광을동시에차단하는차단면을갖는차단판을포함하고, 제1 광의집속광을통과시켜회절시키는개구가차단판을관통하여제1 광의결상점에형성되는광선택부; 개구를통과하여회절된제1 광을포집하는렌즈부; 및렌즈부에의해포집된제1 광이입사되는광섬유를포함한다. 본발명의실시예에의하면, 플라즈마광원의다양한변화에대해적응적으로광신호수집효율을높일수 있다.

Abstract translation: 公开了一种光学装置，具有该装置的高效光谱测量仪器以及等离子体处理装置。 根据本发明实施例的光学设备包括从等离子体光源的物面发射的第一光，从物平面的前区发射的第二光以及从物平面的后区发射的第三光 聚焦光学聚焦透镜; 被布置在第一光学分辨率由聚光透镜聚焦的上表面，一个在围绕所述第一光学分辨率存储区中的第二光会聚的光，并具有止挡表面，阻止第三聚光光同时板的块的区域中形成 光选择单元，用于使第一光的聚焦光透射和衍射的孔穿过所述光选择单元，并穿过所述遮光板并形成在所述第一光切换点中; 一个透镜单元，用于收集通过光圈衍射的第一光; 以及由透镜单元收集的第一光入射到其中的光纤。 根据本发明的实施例，可以针对等离子光源的各种变化自适应地改善光信号收集效率。

公开(公告)号：KR101629253B1

公开(公告)日：2016-06-21

申请号：KR1020107021829

申请日：2009-04-03

Applicant: 램 리써치 코포레이션

Inventor： 베누고팔비자야쿠마르씨 ,  페이프에릭 ,  부스진-폴

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/3065

CPC classification number: G01N21/274 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0294 ,  G01J3/443 ,  G01N21/68

Abstract: 플라즈마챔버내의정규화된광방출스펙트럼을정량적으로측정하도록플라즈마방출의인시츄광학적검사를위한장치가제공된다. 상기장치는플래시램프및 일세트의석영창들을포함한다. 또한, 상기장치는상기세트의석영창들에광학적으로결합된복수의시준 (視準) 된광학조립체들을포함한다. 또한, 상기장치는적어도조사광섬유번들, 집광광섬유번들, 및기준광섬유번들을포함하는복수의광섬유번들들을포함한다. 게다가, 상기장치는적어도신호채널과기준채널에의해구성되는다중채널분광계를포함한다. 상기신호채널은적어도상기플래시램프, 상기세트의석영창들, 상기세트의시준된광학조립체들, 상기조사광섬유번들, 및상기집광광섬유번들에광학적으로결합되어제 1 신호를측정한다.

公开(公告)号：KR1020150124971A

公开(公告)日：2015-11-06

申请号：KR1020157026208

申请日：2014-02-21

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 브래디그레고리 ,  쉬쉐그로브안드레이브이 ,  로터로렌스디. ,  쇼그네시데릭 ,  쉬세메리닌아나토리 ,  베젤일리야 ,  아레인무잠밀 ,  바실리에프아나토리 ,  앨런제임스 ,  슐레포브올레그 ,  힐앤드류 ,  바카르오하드 ,  마르코비쯔모쉬 ,  이스-살롬야론 ,  셀라일란 ,  마나쎈암논 ,  스비저알렉산더 ,  코크로브막심 ,  아브라모프아비 ,  티시블레스키올레그 ,  칸델다니엘 ,  기노브커마크

IPC: F21V13/00 ,  F21V13/12 ,  F21V13/08 ,  G02B6/293 ,  G02B6/35 ,  F21S2/00 ,  F21Y101/02

CPC classification number: G01J3/10 ,  F21V13/00 ,  F21V13/08 ,  F21V13/12 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/12 ,  G02B6/29332 ,  G02B6/29362 ,  G02B6/29388 ,  G02B6/29395 ,  G02B6/3508 ,  G02B6/353 ,  H01J65/04

Abstract: 본개시는조명을광 계측을위한측정헤드로제공하는시스템에관한것이다. 본개시의일부실시예에서, 복수의조명원으로부터조명빔은하나이상의선택된파장의조명을측정헤드로전달하기위해결합된다. 본개시의일부실시예에서, 측정헤드로전달된조명의세기및/또는공간적간섭이제어된다. 본개시의일부실시예에서, 하나이상의선택된파장의조명이연속하는파장범위의조명을제공하기위해구성된광대역조명원으로부터전달된다.

公开(公告)号：KR101350262B1

公开(公告)日：2014-01-16

申请号：KR1020120017070

申请日：2012-02-20

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 송용원 ,  임정아 ,  배미경

IPC: G01N21/31 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/26 ,  G01N21/7703 ,  G01N2021/772 ,  G01N2021/7723 ,  G01N2021/7779 ,  G02B6/10

Abstract: 본 명세서는, 광원에서 형성된 빛에 대하여 광섬유 패브리-페롯 간섭계의 원리에 의한 간섭파를 형성하는 헤더부, 및 상기 간섭파의 파장 변화를 기초로 특정 가스의 존재 여부를 판단하는 광 스펙트럼 분석기를 포함하되, 상기 헤더부는, 상기 특정 가스에 의하여 팽창 또는 수축하는 감지 물질을 포함하고, 상기 간섭파는, 상기 감지 물질의 팽창 또는 수축에 따라 상기 파장이 변화하는 것을 특징으로 하는 가스 감지 장치 및 그 헤더부에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR101321413B1

公开(公告)日：2013-10-22

申请号：KR1020067010382

申请日：2004-09-08

Applicant: 더 제너럴 하스피탈 코포레이션

Inventor： 윤석현 ,  보우마,브레트,유진 ,  티어니,길레모,주니어 ,  보어,요한,피츠제럴드데

IPC: G01J9/02 ,  G01J9/00 ,  G01B9/02 ,  A61B5/00

CPC classification number: H01S5/5045 ,  A61B5/0059 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/7257 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02043 ,  G01B9/02075 ,  G01B9/02081 ,  G01B9/02083 ,  G01B9/02084 ,  G01B9/0209 ,  G01B9/02091 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0264 ,  G01J3/453 ,  G01J9/0215 ,  G01N21/4795 ,  G02B6/3604 ,  G02B26/12 ,  G02B27/48 ,  G02F1/093 ,  G02F1/11 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08063 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1068 ,  H01S5/0071 ,  H01S5/0078 ,  H01S5/1025 ,  H01S5/14 ,  H01S5/141 ,  H01S5/146

Abstract: 장치 및 방법이 개시된다. 특히 적어도 하나의 제1 전자기 방사가 하나의 샘플에 제공되며, 또한 적어도 하나의 제2 전자기 방사가 비 반사 기준물에 제공될 수 있다. 제1 및/또는 제2 방사의 주파수는 시간에 따라 변한다. 상기 샘플로부터 복귀된 적어도 하나의 제3 방사와 상기 기준물로부터 복귀된 적어도 하나의 제4 방사 사이의 간섭이 검출된다. 또한 제1 전자기 방사 및/또는 제2 전자기 방사는 시간에 따라 변화하는 스펙트럼을 갖는다. 스펙트럼은 특정 시간에 다수의 주파수들을 가질 수 있다. 또한, 제1 편광 상태에서 제3 방사와 제4 방사 사이의 간섭 신호를 검출할 수 있다. 또한, 제1 편광 상태와는 다른 제2 편광 상태에서 제3 방사와 제4 방사 사이의 간섭 신호를 검출하는 것이 바람직하다. 제1 및/또는 제2 전자기 방사는 밀리 초당 100 테라 헤르츠 이상의 조정 속도에서 시간에 따라 사실상 연속적으로 변화하는 중심 주파수 스펙트럼을 가질 수 있다.
주파수 스위프 소스, 기준 암, 샘플 암, 커플러, 간섭계

公开(公告)号：KR1020130012588A

公开(公告)日：2013-02-04

申请号：KR1020127032575

申请日：2011-03-15

Applicant: 코니카 미놀타 옵틱스, 인크.

Inventor： 츠루타니가츠토시

IPC: G01J3/51 ,  G01J1/04

CPC classification number: G01J3/51 ,  G01J1/0242 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/506 ,  G01J3/513 ,  G09G3/006

Abstract: 본 발명에 따른 측정 프로브(40)에서는, 측정광은 간섭막 필터(13A, 14A, 15A)를 통해서 수광 센서(13B, 14B, 15B)에서 수광되기 전에, 단선 파이버(13C, 14C, 15C)에 입사된다. 그리고, 간섭막 필터(13A, 14A, 15A)는 상기 간섭막 필터(13A, 14A, 15A)에의 입사광의 입사 각도에 대한 강도 분포의 조건에 따라, 측정 파라미터에 대응한 투과율 특성이 얻어지도록 형성된다. 이로 인해, 본 발명에 따른 측정 프로브(40)는, 간섭막 필터(13A, 14A, 15A)를 사용하면서, 그 입사 각도에 따른 투과율 특성의 어긋남의 영향을 저감할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020120103480A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：KR1020120023733

申请日：2012-03-08

Applicant: 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤

Inventor： 사노히로유끼 ,  다구찌구니까즈

IPC: G01J3/36

CPC classification number: G01J3/0291 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/027 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803

Abstract: PURPOSE: A device and a method for measuring spectral characteristics are provided to stably measuring the spectral characteristics even when an environment is changed a lot. CONSTITUTION: A method for measuring spectral characteristics is as follows. As to a device for measuring spectrums, the light in a second wavelength range which is a part of a first wavelength range is incident(S100). The characteristic information showing stray light components is obtained from the part corresponding to the range except for the second wavelength range among a first spectrum(S102). The characteristic information is extrapolated until the second wavelength range among the first wavelength range(S124). A pattern showing the stray light components is obtained in the device for measuring the spectrums(S126). [Reference numerals] (AA) Obtaining a stray light pattern; (BB) Finish; (S100) Preparing incident light for obtaining a stray light spectrum; (S102) Obtaining a spectrum measured in a measuring machine; (S104) Obtaining the strength of a signal detected in the correction area of a photodetector; (S110) Forming a state that the light is blocked to the measuring machine; (S112) Obtaining a dark spectrum detected from the measuring machine; (S120) Reducing a dark spectrum from the measured spectrum; (S122) The interpolation is performed using the value of a short wavelength from a cutoff wave length; (S124) The extrapolation is performed using an approximation function; (S126) Obtaining a stray light pattern by standardizing a stray light spectrum

Abstract translation: 目的：提供一种用于测量光谱特性的装置和方法，以便即使当环境发生很大变化时也能稳定地测量光谱特性。 构成：用于测量光谱特性的方法如下。 对于用于测量光谱的装置，入射了作为第一波长范围的一部分的第二波长范围的光（S100）。 显示杂散光分量的特征信息从对应于第一光谱中的第二波长范围之外的范围的部分获得（S102）。 特征信息被外推直到第一波长范围内的第二波长范围（S124）。 在用于测量光谱的装置中获得显示杂散光成分的图案（S126）。 （附图标记）（AA）获得杂散光图案; （BB）完成; （S100）准备入射光以获得杂散光谱; （S102）获取测定机中测定的光谱; （S104）获得在光电检测器的校正区域中检测到的信号的强度; （S110）形成光被阻挡到测量机的状态; （S112）获取从测量机检测到的暗谱; （S120）从测量光谱中减少暗谱; （S122）使用截止波长的短波长的值进行插值; （S124）外推使用近似函数进行; （S126）通过标准化杂散光谱获得杂散光图案