폴리벤지이미다졸 촉매 바인더, 그 제조 방법 및 이를이용한 막전극접합체
    271.
    发明公开
    폴리벤지이미다졸 촉매 바인더, 그 제조 방법 및 이를이용한 막전극접합체 失效
    聚苯并咪唑催化剂粘合剂,其制备方法,使用聚苯并咪唑催化剂粘合剂的膜电极组件

    公开(公告)号:KR1020060085102A

    公开(公告)日:2006-07-26

    申请号:KR1020050006073

    申请日:2005-01-22

    Abstract: 본 발명에서는 폴리벤지이미다졸계 화합물을 이용하여 제작된 멤브레인을 포함하는 MEA의 전극 제조시 사용되는 촉매 바인더이고, 폴리벤지이미다졸을 포함하는 것을 특징으로 하는 촉매 바인더를 제공한다. 그리고, 상기 폴리벤지이미다졸은 3,3
    ' -디아미노벤지다인(3,3
    ' -Diaminobenzidine) 및 이소프탈릭산(isophthalic acid) 또는 테레프탈릭산(terephthalic acid)의 단량체를, 폴리포스포릭산(polyphosphoric acid) 또는 P
    2 O
    5 중 어느 하나, 및 CF
    3 SO
    3 H 또는 CH
    3 SO
    3 H 중의 어느 하나 또는 둘의 혼합물에 섞고 가열하여 반응시켜 제조된 고분자인 것이 바람직하고, 상기 폴리벤지이미다졸은 상기 혼합물이 CF
    3 SO
    3 H 및 CH
    3 SO
    3 H를 모두 혼합한 혼합물인 것이 더욱 바람직하며, 상기 혼합물은 상기 CF
    3 SO
    3 H 및 CH
    3 SO
    3 H의 부피비가 1:1인 것이 가장 바람직하다.
    본 발명에 따르면, 종래에 사용되어 왔던 저성능의 나피온 타입의 퍼플루오르술폰산 고분자와 달리, 고온 저습 상태에서의 연료전지 운전이 가능하다. 또한, 본 발명에 따르면, 유기 및 무기 용매에 용해가능하고 촉매 바인더에 적합한 충분한 고분자량을 가지는 촉매 바인더용 폴리벤지이미다졸을 얻을 수 있다.
    나피온, 폴리벤지이미다졸, 멤브레인, 촉매바인더, 전극, 막전극접합체

    캔틸레버 센서 및 그 제조 방법
    273.
    发明授权
    캔틸레버 센서 및 그 제조 방법 有权
    CANTILEVER传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR100479687B1

    公开(公告)日:2005-03-30

    申请号:KR1020020030340

    申请日:2002-05-30

    CPC classification number: G01P15/0922 G01P2015/0828

    Abstract: 본 발명은 캔틸레버 센서에 관한 것으로서, 압전막들을 동일면에 형성하여 전기적 측정 방법을 통하여 여러 정보를 감지하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
    본 발명인 캔틸레버 센서는 그 일부는 일면의 실리콘 기판 위에 형성되고, 나머지 일부는 실리콘 웨이퍼의 뒷면을 식각하여 멤브레인으로서 제작된 제 1 실리콘 질화막 또는 실리콘/실리콘산화막(2중막)과; 상기 실리콘 질화막 위에 형성된 실리콘 산화막과; 상기 실리콘 산화막 상에 소정의 크기로 형성된 하부 전극과; 상기 하부 전극 상에 형성된 제 1 압전막과, 상기 제 1 압전막과 접촉하지 않도록 형성된 제 2 압전막과; 상기 제 1 및 제 2 압전막 위에 소정의 크기로 형성된 상부 전극과; 상기 하부 실리콘 산화막과, 하부 전극과, 제 1 및 제 2 압전막과, 상부 전극들에 형성된 보호막과; 각각의 상부 전극 상의 보호막과, 상기 하부 전극 상의 보호막에 형성된 제 1 개구들와 제 2 개구들과; 상기 제 1 및 제 2 개구들에 각각 형성된 제 1 및 제 2 콘택 패드 및; 상기 기판의 타면에 형성된 제 2 실리콘 질화막으로 이루어진다.

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