公开(公告)号：KR102139494B1

公开(公告)日：2020-07-30

申请号：KR1020180090362

申请日：2018-08-02

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김진영 ,  황창규 ,  김종민 ,  유성종 ,  장종현 ,  김형준 ,  황세훈 ,  한승희

IPC: H01M4/88 ,  H01M4/92 ,  H01M4/90 ,  H01M4/86

公开(公告)号：KR1020170096806A

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：KR1020160018526

申请日：2016-02-17

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 한승희 ,  이근혁 ,  안세훈 ,  장성우 ,  황세훈

IPC: C23C14/58 ,  C23C14/14 ,  C23C14/06 ,  C23C14/34 ,  C23C14/22 ,  C23C16/44 ,  C23C16/06 ,  C23C16/26 ,  C23C16/56

Abstract: 본발명은탄화귀금속박막을형성한후, 산소플라즈마를이용하여박막내 탄소원자를선택적으로제거하는산소플라즈마디얼로잉(O2 plasma de-alloying) 공정을통해다공성귀금속박막의제조방법에관한것으로서, 본발명에의하면, 다공성의귀금속박막구조를제작하는전 과정이건식공정으로만이루어짐으로써, 종래전기화학적분해법또는선택적용해법등 습식공정을사용하는경우에비해청결한공정이가능하고높은재현특성으로인해다공성박막의응용분야인촉매, 센서, 연료전지전극, 에너지저장장치등의다양한분야에이용될수 있으며, 대량생산이가능하다는장점을갖는다.

Abstract translation: 本发明涉及通过划船制备多孔贵金属薄膜（O 2等离子体脱合金化）工艺用氧等离子体径向以选择性地通过使用碳化物贵金属薄膜，氧等离子体，在形成后除去在碳源那些薄膜的方法 根据本发明，由于整个过程yigeonsik过程euroman，常规的电化学分解或诸如可用的和高纯度的过程再现特性选择溶液与使用湿法工艺由yirueojim以产生多孔膜的孔隙率的贵金属薄膜结构的情况相比 催化剂的应用，而在传感器的不同区域使用，例如燃料电池用电极，能量存储装置具有大规模生产的优点是可能的。