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公开(公告)号：WO2013055141A9
公开(公告)日：2013-04-18
申请号：PCT/KR2012/008300
申请日：2012-10-12
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: A61L27/02 , C23C16/503 , C23C16/515
Abstract: 생체재료로 이용되는 임플란트나 인공관절 등의 인공대체물과 그 시술에 쓰이는 여러 부속품들의 골형성과 골유착 성능을 향상시키기 위한 생체용 재료의 표면개질 장치 및 표면개질 방법을 제공한다. 본 발명의 실시예에 따른 생체용 재료의 표면개질 장치는 내부가 진공 상태를 유지하는 진공조, 진공조에 결합되어 생체활성 물질의 플라즈마 이온을 발생하는 마그네트론 증착원, 진공조 내에서 마그네트론 증착원에 대향하는 위치에 설치되어 시료가 장착되는 시료장착대, 마그네트론 증착원에 펄스직류 전력을 공급하여, 마그네트론 증착원으로부터 스퍼터링되는 생체활성 물질의 플라즈마 이온들을 발생시키는 펄스직류 전원부, 및 시료장착대에 음(-)의 고전압 펄스를 공급하여, 마그네트론 증착원으로부터 형성되는 생체활성 물질의 플라즈마 이온들을 이온주입시키는 고전압 펄스 전원부를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2014046332A1
公开(公告)日：2014-03-27
申请号：PCT/KR2012/008662
申请日：2012-10-22
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C23C14/35
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/3485 , H01J37/3405 , H01J37/3467
Abstract: 기판상에 금속박막을 증착하는 방법이 개시된다. 본 발명에 의한 기판상에 금속박막을 증착하는 방법은 진공챔버 내부에 위치한 기판 장착대에 기판을 장착하는 단계, 진공펌프를 이용하여 상기 진공챔버 내부를 진공시키는 단계, 상기 진공챔버 내에 사용할 가스를 인입하여 내부의 압력을 일정한 압력으로 유지하는 단계, 및 상기 진공챔버에 장착된 마그네트론 스퍼터링 증착원에 양극성 펄스직류 전원장치에서 발생된 양극성 펄스직류를 인가하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 公开了一种在衬底上沉积薄金属膜的方法。 根据本发明的在基板上沉积金属薄膜的方法包括以下步骤：将基板安装在位于真空室内部的基板安装台上; 使用真空泵对真空室进行抽真空; 通过将真空室内的气体注入真空室来保持真空室的内部压力恒定; 以及将在双极脉冲直流发电机处产生的双极脉冲直流电应用到安装在真空室上的磁控溅射沉积源。
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公开(公告)号：WO2013035983A1
公开(公告)日：2013-03-14
申请号：PCT/KR2012/006211
申请日：2012-08-03
IPC: H01J37/317 , H01J37/20 , H01L21/265
CPC classification number: H01J37/32412 , H01J37/3405 , H01L21/2236
Abstract: 상온에서 고체 상태로 존재하는 원소의 이온을 낮은 공정 압력에서 시료의 표면에 효율적으로 이온주입할 수 있는 플라즈마 이온주입 장치 및 방법을 제공한다. 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 이온주입 장치는 내부가 진공 상태를 유지하는 진공조, 진공조에 결합되어 진공조 내부에 펄스 플라즈마를 발생하는 마그네트론 증착원, 진공조 내에서 마그네트론 증착원에 대향하는 위치에 설치되어 시료가 장착되는 전도성 시료 장착대, 및 입력되는 펄스 직류전력와 RF전력을 결합하여 마그네트론 증착원에 RF전력과 펄스 직류전력이 중첩된 RF-DC 결합전력을 공급하는 RF-DC 결합부를 포함한다.
Abstract translation: 提供了一种用于等离子体离子注入的装置和方法，其能够在低处理压力下有效地将在室温下以固态存在的原料的离子注入样品表面。 根据本发明的一个实施例的等离子体离子注入装置包括：保持真空状态的真空室; 耦合到所述真空室并在所述真空室内产生脉冲等离子体的磁控溅射源; 导电样品台安装在与磁控管溅射源相对的真空室内的位置，样品就座在其上; 以及组合输入的脉冲DC功率和RF功率并将其提供给磁控溅射源的组合的RF-DC功率，即重叠的RF功率和脉冲DC功率的RF-DC耦合器。
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公开(公告)号：WO2018128527A1
公开(公告)日：2018-07-12
申请号：PCT/KR2018/000436
申请日：2018-01-09
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/3065 , H01L21/02 , H05H1/46 , H01L21/56 , H01L21/288
Abstract: 본 발명의 일 관점에 따른 반도체 반응기용 금속모재 상의 코팅층 형성방법은 반도체 반응기용 금속모재를 NaOH 및 NaAlO 2 를 포함하는 알칼리 수용액성 전해액에 담지하는 단계; 및 상기 금속모재에 전극을 연결하고 상기 전극에 전원을 공급하여, 플라즈마 전해 산화(plasma electrolytic oxidation, PEO)법으로 상기 금속모재 상에 코팅층을 형성하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020130128733A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：KR1020120052688
申请日：2012-05-17
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: The present invention relates to ion injection and sputtering in order to provide a method and a device for injecting plasma ions and sputtering to simultaneously or gradually perform ion injection and sputtering processes for the top of materials inside a vacuum chamber without exposing them to the outside by using a conductive sample mount to mount samples and magnetron deposition sources mounted with sputtering targets inside the vacuum chamber. [Reference numerals] (30) RF power device;(40) DC power device;(90) Gas flow control device;(94) Gas storage device;(96) High voltage pulse power device;(98) Vacuum pump
Abstract translation: 本发明涉及离子注入和溅射，以提供一种用于等离子体离子注入和溅射的方法和装置，以同时或逐渐地对真空室内的材料的顶部进行离子注入和溅射处理，而不会使其暴露于外部 使用导电样品架将样品和安装有溅射靶的磁控管沉积源安装在真空室内。 （30）射频功率器件;（40）直流电源装置;（90）气体流量控制装置;（94）储气装置;（96）高压脉冲功率器件;（98）真空泵
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101279586B1
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：KR1020110005946
申请日：2011-01-20
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L31/04 , H01L31/0224
CPC classification number: H01G9/2095 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , H01G9/2031 , H01G9/2059 , H01L51/003 , Y02E10/542 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 플렉서블 광전극과 그 제조방법, 및 이를 이용한 염료감응 태양전지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 고온내성기판 위에 고온에서 소성한 나노결정 산화물층을 형성하고, 이를 HF 용액을 이용한 전사법에 의해 유연 투명 기판으로 이동시킴으로써, 간단한 공정에 의해 저온에서 안정적으로 플라스틱 기판 위에 우수한 광전효율을 갖는 반도체 전극을 형성할 수 있는 플렉서블 광전극과 이를 포함하는 플렉서블 염료감응 태양전지에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR101181449B1
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：KR1020100003765
申请日：2010-01-15
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 인공 관절용 고분자 소재, 특히 초고분자량 폴리에틸렌의 내마모성 향상을 위한 것으로, 고체 이온을 위 고분자 소재의 표면에 효율적으로 이온 주입하기 위하여 고안된 것으로, 동기화된 펄스전압이 인가된 마그네트론(magnetron) 스퍼터링 증착원과 고전압 펄스를 이용함으로써 고체 원소 이온의 플라즈마 형태로의 주입을 가능하게 하는 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
종래 박막증착을 위한 증착원으로서 이용되고 있었던 마그네트론 스퍼터링 증착원으로서 생체적합성이 뛰어나고 시료 내부로 이온주입되어 세라믹 입자를 형성할 수 있는 원소의 스퍼터링 증착원을 장착하여 펄스직류 전원을 이용한 펄스 모드로 작동하고, 이와 동기화된 고전압 펄스를 시료에 인가함으로써 펄스 모드의 마그네트론 스퍼터링 증착원으로부터 발생된 이온을 가속하여 시료의 표면에 이온주입을 할 수 있게 한다.
본 발명에 의한, 고체 원소 플라즈마 이온주입 방법은, 펄스 마그네트론 스퍼터링 증착원과 동기화된 고전압 펄스를 이용함으로써, 소재의 표면에 고체 이온을 효율적으로 이온 주입할 수 있으며, 이로 인하여 인공 관절용 소재의 내마모성 향상을 구현할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020110030141A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：KR1020090088133
申请日：2009-09-17
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: H01M8/021 , H01M8/0228 , Y02P70/56
Abstract: PURPOSE: A fuel cell interconnector and a method for manufacturing the same are provided to improve the performance of a fuel cell by forming a chromium manganese oxide-based spinel oxide layer on ferrite-based steel. CONSTITUTION: A method for manufacturing a fuel cell interconnector includes the following: Ferrite-based steel for a fuel cell interconnector is prepared. A surface deformed layer is formed on the surface of the ferrite-based steel. A Cr_2MnO_4-based spinel oxide layer is formed on the surface deformed layer by implementing a thermal treatment process at the driving temperature of a solid oxide-based fuel cell.
Abstract translation: 目的：提供燃料电池互连器及其制造方法，通过在铁素体系钢上形成铬锰氧化物系尖晶石氧化物层来提高燃料电池的性能。 构成：燃料电池互连器的制造方法包括：制备燃料电池互连器用的铁素体系钢。 在铁素体系钢的表面上形成表面变形层。 通过在固体氧化物系燃料电池的驱动温度下实施热处理工艺，在表面变形层上形成Cr 2 MnO 4系的尖晶石氧化物层。
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公开(公告)号：KR1020100048799A
公开(公告)日：2010-05-11
申请号：KR1020080108114
申请日：2008-10-31
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: PURPOSE: A coefficient of elasticity method of measurement of a multi-layered thin film which measures the modulus of elasticity is provided to measure the apparent modulus of elasticity of the multi-layered thin film using the wrinkle pitch of a single layered thin film layer and multilayer foil film layer. CONSTITUTION: Compressive stress is added to the multi-layered thin film sample in which a multi-layered thin film(1) is formed on a substrate. Wrinkle is formed on the multi-layered thin film surface of the multi-layered thin film sample. A wrinkle pitch(3) formed on the multi-layered thin film surface, and the through-thickness of the multi-layered thin film and coefficient of elasticity of substrate are measured. The apparent modulus of elasticity of the multi-layered thin film is obtained using a measured value.
Abstract translation: 目的：提供测量弹性模量的多层薄膜的弹性测量系数，以使用单层薄膜层的褶皱间距来测量多层薄膜的表观弹性模量， 多层箔膜层。 构成：在基板上形成多层薄膜（1）的多层薄膜样品中加入抗压应力。 在多层薄膜样品的多层薄膜表面上形成皱纹。 测量形成在多层薄膜表面上的皱纹间距（3）和多层薄膜的贯穿厚度以及基板的弹性系数。 使用测定值求出多层薄膜的表观弹性模量。
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公开(公告)号：KR1020080114475A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：KR1020080005374
申请日：2008-01-17
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: B22F9/08
Abstract: Tungsten composite powder which can be used for parts of a fusion reactor facing plasma due to the excellent corrosion resistance and high temperature strength, a coating material made of the same and a method of manufacturing the tungsten composite powder are provided. A manufacturing method of tungsten composite powder comprises a step for providing a mixture in which W(tungsten) particles and SiC(silicon carbide) particles having a diameter of 0.1~30mum to be formed into W1-xSiCx composition by the weight ratio(S10), a step for providing composite powder by spraying and drying the mixture(S20), and a step for heat-treating the composite powder(S30).
Abstract translation: 提供了可以用于由于优异的耐腐蚀性和高温强度而面对等离子体的熔融反应器的部件的钨复合粉末，由其制成的涂层材料和制造钨复合粉末的方法。 钨复合粉末的制造方法包括通过重量比（S10）提供其中W（钨）颗粒和直径为0.1〜30μm的SiC（碳化硅））颗粒形成W1-xSiCx组合物的混合物的步骤， ，通过喷雾和干燥混合物来提供复合粉末的步骤（S20）和用于热处理复合粉末的步骤（S30）。
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