公开(公告)号：JP5957153B2

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：JP2015555138

申请日：2013-01-30

Applicant: ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. ,  Hewlett‐Packard Development Company, L.P.

Inventor： ギブソン,ゲーリー ,  クオ,ヒュエイ,ペイ ,  バルセロ,スティーヴン,ジェイ ,  リ,ツィヨン

IPC: G01J3/44 ,  G01N21/65

CPC classification number: G01N21/658 ,  G01J3/4412 ,  G01N21/21 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/0683

公开(公告)号：JP2015205775A

公开(公告)日：2015-11-19

申请号：JP2014136498

申请日：2014-07-02

Applicant: 株式会社リコー

Inventor： 尺長 憲昭 ,  松本 到 ,  大渕 哲也 ,  西村 和之 ,  小林 幸文 ,  牧野 英世 ,  中山 聡

IPC: G03G21/00 ,  G01B11/06 ,  G01B11/30 ,  B65H7/02

CPC classification number: G03G15/5029 ,  G01B5/0023 ,  G01B5/24 ,  G01N21/55 ,  G01N21/59 ,  G01N2021/556 ,  G01N2021/558 ,  G01N21/21 ,  G01N21/474 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/0683 ,  G03G2215/00738 ,  G03G2215/00751

Abstract: 【課題】シート材の厚さを精度良く検知して、シート材の判別精度が低下するのを抑制できるシート材判別装置及び画像形成装置を提供する。 【解決手段】発光手段111を発光させてシート材Pに照射した光を受光手段113で受光して、シート材の情報を検出する光学的情報検出手段110を有する情報検出手段と、情報検出手段が検出したシート材の情報に基づいてシート材の判別を行う判別手段600とを備えたシート材判別装置100において、装置内を移動するシート材を自身と対向する対向部材との間に挟むことで、前記対向部材との間にシート材を挟んでいないときに位置する初期位置から変位する変位部材171と、変位部材の変位量を検知する変位量検知手段172とを備え、変位量検知手段の検知結果に基づいてシート材の厚さを検知するシート材厚さ検知手段170を、前記情報検出手段が有する。 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够精确地检测片材厚度并抑制片材的鉴别精度降低的片材鉴别装置和图像形成装置。解决方案：片材鉴别装置100包括：信息 检测装置具有光信息检测装置110，用于通过从光发射装置111发射并照射到片状材料P的光接收由光接收装置113接收的光来检测片材信息; 以及用于基于由信息检测装置检测到的片材信息来区分片材的鉴别装置600。 信息检测装置具有片材厚度检测装置170，其包括：位移构件171，其通过将片材在位于片材的位置处的初始位置夹持在与其相对的相对构件之间移动， 不夹在相对构件之间; 以及用于检测位移构件的位移量的位移量检测单元172。 片材厚度检测装置基于位移量检测装置的检测结果检测片材的厚度。

公开(公告)号：JP2010529461A

公开(公告)日：2010-08-26

申请号：JP2010511365

申请日：2008-06-06

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation

Inventor： ウォルタース・クリスチャン ,  マイアー・ジョン

IPC: G01N21/956

CPC classification number: G01N21/4738 ,  G01N2201/067 ,  G01N2201/0683

Abstract: Systems and methods for inspecting a specimen with light at varying power levels are provided. One system configured to inspect a specimen includes a light source configured to generate light. The system also includes a power attenuator subsystem configured to alter a power level of the light directed to the specimen during inspection between at least two power levels including a full power level and a minimum power level equal to or greater than about 10% of the full power level. In addition, the system includes a detection subsystem configured to generate output responsive to the light scattered from the specimen. The output can be used to detect defects on the specimen.

公开(公告)号：KR101898217B1

公开(公告)日：2018-09-12

申请号：KR1020160182989

申请日：2016-12-29

Applicant: 엘지디스플레이 주식회사

Inventor： 황석주

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  H01L21/66 ,  H01L51/52

CPC classification number: G01N21/958 ,  G01B11/06 ,  G01B11/0625 ,  G01B11/0641 ,  G01N21/21 ,  G01N21/8422 ,  G01N2021/1748 ,  G01N2021/8427 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/101

Abstract: 본명세서는투명막을검사하는검사방법에있어서, 복수의셀 및복수의셀 사이에배치된복수의메탈키를포함하는기판및 기판상에형성되는검사대상을제공하는단계, 편광자를통해검사대상에광을조사하는단계, 복수의메탈키로이동하는라인스캔카메라(line scan camera)에의해복수의메탈키에반사되어검광자를통과한광을수광하며, 광의파장에따른진폭과위상을광의세기로합성하는단계, 및광의세기와, 미리설정된검사대상의두께별광의세기를비교하고, 비교결과에근거하여검사대상의불량을검출하는단계를포함함으로써, 투명막유무및 두께검사를넓은영역에걸쳐진행할수 있고, 투명막형성후 실시간으로검사를진행하여불량발생시즉각적으로피드백하여불량발생을최소화할수 있으므로공정비용을절감할수 있다.

公开(公告)号：KR1020180100084A

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：KR1020180097766

申请日：2018-08-22

Applicant: 한화에어로스페이스 주식회사

Inventor： 반종억

IPC: G01N21/88 ,  G02B5/04 ,  G02B5/30

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N2201/0683 ,  G02B5/045 ,  G02B5/3025

Abstract: 본발명에따른부품검사장치는, 적어도하나의검사대상부품이안착되는투과패널, 상기투과패널의상부에구비되어상기검사대상부품을촬영하는카메라부, 상기투과패널의상부에구비되어상기투과패널및 상기검사대상부품을향해조명을제공하는조명부, 상기투과패널의하부에구비되어상기조명부에서제공된빛 중상기투과패널을통과한빛을상기카메라부를향해반사하는반사부및 상기조명부에서제공된빛 중상기검사대상부품에반사되어상기카메라부로진입하는빛은차단하고, 상기조명부에서제공되어상기투과패널을통과한빛 중상기반사부에의해반사되고상기투과패널을다시통과하여상기카메라로진입하는빛은통과시키는편광부를포함한다.

公开(公告)号：KR20180045817A

公开(公告)日：2018-05-04

申请号：KR20170137297

申请日：2017-10-23

IPC: G01N21/956 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G02B27/28

CPC classification number: G06T7/001 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/8848 ,  G01N2021/95676 ,  G01N2201/0683 ,  G02B5/3025 ,  G02B5/3083 ,  G02B15/15 ,  G02B27/0938 ,  G02B27/10 ,  G03F7/70491 ,  G06T5/50 ,  G06T2207/10148 ,  G06T2207/30148 ,  H04N5/2258

Abstract: 본발명의일 형태의편광이미지취득장치는, 대물렌즈에대하여마스크기판과는반대측의위치이며대물렌즈의퓨필위치부근에배치되어, 대물렌즈를통과한후의투과광의 P 편광파와 S 편광파를서로직교하는방향으로정렬하는분할형 1/2 파장판과, P 편광파의궤도와 S 편광파의궤도를분리하는로션프리즘과, 로션프리즘을통과한 P 편광파와 S 편광파를각각상이한결상위치에결상하는결상렌즈와, P 편광파와 S 편광파중 한쪽의결상위치와는상이한다른쪽의결상위치에서다른쪽을반사하는미러와, P 편광파와 S 편광파중 한쪽의상을촬상하는제1 이미지센서와, P 편광파와 S 편광파중 다른쪽의상을촬상하는제2 이미지센서를구비한것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR1020170031810A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：KR1020150128703

申请日：2015-09-11

Applicant: 삼성디스플레이 주식회사

Inventor： 서진 ,  박용준 ,  이종수

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9505 ,  G01N21/21 ,  G01N2021/216 ,  G01N2021/8477 ,  G01N2201/0683

Abstract: 결정화도측정방법및 결정화도측정장치가제공된다. 본발명의일 실시예에따른결정화도측정장치는다결정실리콘기판을고정하는기판홀더와기판홀더하부에배치되는광원과다결정실리콘기판상부에배치되고, 원형인편광판과편광판상부에배치되어편광판을투과한이미지를촬영하는카메라를포함한다.

Abstract translation: 提供了测量结晶度的方法和用于测量结晶度的设备。 根据本发明的测量装置被布置在设置在衬底保持器和所述衬底保持器，下部固定在多晶硅基板上的光源过晶体硅衬底顶部的一个实施例的结晶度，被配置在上部圆偏振片和透过偏光板发送的偏振板 和用于拍摄图像的相机。

公开(公告)号：KR1020160127768A

公开(公告)日：2016-11-04

申请号：KR1020167026314

申请日：2015-03-02

Applicant: 코히런트 레이저시스템즈 게엠바하 운트 컴파니 카게

Inventor： 반데르빌트폴

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/02 ,  H01L21/268 ,  G01N21/95 ,  G01N21/47 ,  G01N21/84 ,  G01N21/88 ,  G02B21/00

CPC classification number: H01L21/67253 ,  C30B1/02 ,  C30B29/06 ,  G01N21/21 ,  G01N21/4788 ,  G01N21/8422 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/8461 ,  G01N2021/8477 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/068 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/0697 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/105 ,  G02B21/002 ,  G02B21/0092 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02686 ,  H01L21/268 ,  H01L22/12

Abstract: 엑시머레이저로부터의펄스로조광함으로써결정화되는실리콘층(22)을평가하는방법이개시된다. 결정화는층이노출되는펄스의수와펄스내의에너지밀도(ED)에종속적인상기결정화된층 상의주기적피처들을산출한다. 층의영역은광(29)으로조광된다. 조광된영역의현미경이미지는상기주기적피처에의해상기조광된영역으로부터회절된광으로부터만들어진다. 현미경이미지는대응하는주기적피처들을포함한다. ED는현미경이미지내의주기적피처들의컨트라스트의측정으로부터판정된다.

Abstract translation: 公开了评估通过用脉冲照射形成准分子激光而结晶的硅层的方法。 结晶层上产生周期性特征，取决于层暴露于的脉冲中的数量和能量密度。 该层的一个区域用光照亮。 照明区域的显微镜图像由从被照明的周期特征衍射的光制成。 显微镜图像包括相应的周期特征。 ED是从显微镜图像中的周期特征的对比度的量度确定的。

公开(公告)号：KR1020160101447A

公开(公告)日：2016-08-25

申请号：KR1020150024020

申请日：2015-02-17

Applicant: 아이엠이씨 브이제트더블유 ,  삼성전자주식회사

Inventor： 조성호 ,  클래스탐 ,  김동호

IPC: G01J3/447 ,  A61B5/1455

CPC classification number: G01J3/0224 ,  A61B5/0075 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/1455 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/18 ,  G01J2003/1291 ,  G01N21/27 ,  G01N21/47 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/062 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/08 ,  G02B6/105 ,  G02B6/124 ,  G02B6/2726 ,  G02B6/34 ,  G01J3/447

Abstract: 서로다른편광성분의빛들을수광할수 있도록구성된이중커플러소자, 상기이중커플러소자를포함하는분광기, 및상기분광기를포함하는비침습형생체센서가개시된다. 개시된실시예에따른이중커플러소자는, 예를들어, p-편광성분의빛을수광할수 있도록구성된제 1 커플러층과 s-편광성분의빛을수광할수 있도록구성된제 2 커플러층을포함할수 있다. 따라서, 개시된실시예에따른이중커플러소자는입사광중에포함된 p-편광성분의빛과 s-편광성분의빛을모두수광할수 있어서높은커플링효율을가질수 있다.

Abstract translation: 公开了一种双耦合器件，包括双耦合器件的分光器和包括用于接收具有不同偏振分量的光的分光镜的非侵入式生物测定传感器。 根据实施例，例如，双耦合器件可以包括用于接收p偏振分量的光的第一耦合器层和用于接收s偏振分量的光的第二耦合器层。 因此，双耦合器件可以同时接收p偏振分量的光和入射光中包含的s偏振分量的光，从而具有高的耦合效率。

公开(公告)号：KR1020160097434A

公开(公告)日：2016-08-18

申请号：KR1020150018700

申请日：2015-02-06

Applicant: 연세대학교 원주산학협력단

Inventor： 정병조 ,  하명진 ,  박지훈

IPC: G01N21/25 ,  G01N21/27 ,  G01N21/78 ,  G01N33/493

CPC classification number: G01N21/255 ,  G01N21/27 ,  G01N21/78 ,  G01N33/493 ,  G01N2201/0683

Abstract: 소변검출기는광을발생시키는광원, 상기광원으로부터생성된광의편광을조절하고소변진단스틱(stick)의시약영역으로상기광을조사하는제 1 편광소자, 상기제 1 편광소자와교차편광상태로상기시약영역으로부터반사된광의편광을조절하는제 2 편광소자, 상기제 2 편광소자에의해편광이조절된광으로부터컬러성분데이터를획득하는컬러센서및 상기광원, 제 1 편광소자, 제 2 편광소자및 컬러센서를수용하는하우징을포함할수 있다.

Abstract translation: 尿检测器可以包括：产生光的光源; 控制从所述光源产生的光的偏振光的第一偏振光元件，并将所述光照射到尿诊断棒的试剂区域; 第二偏振光元件，以与所述第一偏振光元件交叉偏振光的状态来控制从所述试剂区域反射的光的偏振光; 颜色传感器，从由第二偏振光元件控制偏振光的光获取色分量数据; 以及容纳光源，第一偏振光元件，第二偏振光元件和颜色传感器的壳体。