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公开(公告)号：CN107037437A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710058139.5
申请日：2017-01-23
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01S17/08 , G01S7/4815 , G01S7/4816
Abstract: 本发明提供一种能够准确地测量试样厚度的厚度测量装置及厚度测量方法。厚度测量装置具有：第一透光构件，其具有第一参照面；第二透光构件，其与第一透光构件相向设置，具有第二参照面；第一投光部，其经由第一参照面向设置在第一透光构件和第二透光构件之间的试样照射来自光源的光；第一受光部，其接收来自第一参照面的反射光，并且经由第一参照面接收来自试样的反射光；第二投光部，其经由第二参照面向试样照射来自光源的光；第二受光部，其接收来自第二参照面的反射光，并且经由第二参照面接收来自受光试样的反射光；分光部，其对由第一受光部接收的反射光和由第二受光部接收的反射光进行分光。
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公开(公告)号：CN106304845A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201580002344.9
申请日：2015-04-24
Applicant: 大塚电子株式会社
Inventor： 水口勉
IPC: G01M11/02
Abstract: 光学测定装置的控制部在旋转体的旋转速度被控制为规定值的状态下，将由光源产生的固定强度的光照射到照射区域，并且基于通过由第二检测部接收所照射出的该光的反射光或透射光而输出的强度随时间的变化来获取第一定时信息，其中，该照射区域是样本随着旋转体的旋转而经过的区域。控制部在旋转体的旋转速度被控制为规定值的状态下，将使光源按照第一定时信息周期性地产生的脉冲状的光照射到照射区域，并且基于通过使第一检测部的测定按照第一定时信息周期性地有效化而输出的结果来获取第二定时信息。
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公开(公告)号：CN101932926B
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN200980000111.X
申请日：2009-01-20
Applicant: 大塚电子株式会社
Inventor： 大久保和明
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/645 , G01J3/0254 , G01J3/0262 , G01N21/276 , G01N2021/6417 , G01N2201/0655
Abstract: 将作为量子效率的测量对象部的试样(OBJ1)以及具有已知的反射率特性的标准体(REF1)分别安装到设置于平面镜(5)的试样窗(2)上。根据在分别安装了试样(OBJ1)以及标准体(REF1)的情况下由光谱仪测量到的各个光谱来测量试样(OBJ1)的量子效率。通过使观测窗(3)的开口面与试样(OBJ1)或者标准体(REF1)的露出面实质上一致，抑制接受激发光(L1)而由试样(OBJ1)产生的荧光以及由试样(OBJ1)反射的激发光(L1)直接入射到观测窗(3)。
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公开(公告)号：CN102914268A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210273670.1
申请日：2012-08-02
Applicant: 大塚电子株式会社
Inventor： 藤森匡嘉
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明是一种膜厚测量装置(100)，该膜厚测量装置(100)具备:光源(10)、第一光路、第一聚光透镜、分光测量部(40)、第二光路、第二聚光透镜、以及数据处理部(50)。光源照射具有规定的波长范围的测量光。第一光路将从光源(10)照射的测量光引导到被测量物。第一聚光透镜将从第一光路射出的测量光汇聚到被测量物。分光测量部(40)获取反射率或者透射率的波长分布特性。第二光路将由被测量物反射的光或者透过被测量物的光引导到分光测量部。第二聚光透镜聚光到第二光路的端部。数据处理部(50)通过分析由分光测量部(40)获取的波长分布特性来求出被测量物的膜厚。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1721838B
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：CN200510084614.3
申请日：2005-07-15
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01N21/3504
Abstract: 本发明涉及气体中杂质的定量方法及装置。从气体中除去杂质、导入容器15、透过容器15光的强度作为参照实施测定。将含已知浓度杂质的气体导入同一容器15，保持同温同压，测定透过容器15光的强度，由上述两次测定所得的光强度之比求杂质的吸光度。此杂质吸光度作为杂质浓度函数记忆在存储器20a中。将含未知浓度杂质的气体导入容器15，保持同温同压，测定透过容器15的光强度，求经此测定所得杂质对上述参照的吸光度，此吸光度应用于上述函数、求杂质浓度。
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公开(公告)号：CN100525473C
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200510073705.7
申请日：2005-05-20
Applicant: 大塚电子株式会社
Inventor： 岡宏一
IPC: H04N17/00
Abstract: 使测定图形在显示器上移动，使图像传感器的视野跟踪所述测定图形的移动，并对测定图形的图像进行摄影。根据该摄影的图像，求活动图像响应曲线。接着，将获得的活动图像响应曲线变换为MTF(Modulation Transfer Function)。求从所述MTF的最亮部分以规定比例开始下降时的标准化的空间频率的值N_Sf(a%)。用所述标准化的空间频率的值N_Sf(a%)，评价显示器的活动图像质量。用直观上理解容易的活动图像质量评价指标，可以评价显示器的活动图像质量。
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公开(公告)号：CN1788498A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN03826714.4
申请日：2003-06-30
Applicant: 大塚电子株式会社
IPC: H04N13/04
CPC classification number: H04N5/2259 , H04N17/04
Abstract: 本发明提供一种画面的运动图像质量测量评价装置，具有：可旋转的反射镜(2)；通过反射镜(2)对画面进行拍摄的摄像机(3)；控制部(6)，控制部(6)如果根据画面(5)的亮度变化检测出在画面(5)上放映的运动图像所包含的测量图案通过了画面(5)的规定位置，则在该检测时刻，向反射镜(2)提供旋转时机，在反射镜(2)开始旋转之后，控制反射镜(2)使其追随该测量图案的运动而旋转，即使不取得反射镜(2)的旋转与运动图像信号的电气同步，也可以向反射镜(2)提供旋转时机，从而可以利用简单的结构，来测量画面的运动图像质量。
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公开(公告)号：CN1489684A
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN01822551.9
申请日：2001-02-09
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G02F1/1309 , G01B11/065 , G01B11/14
Abstract: 定起偏振器(14)的偏振角为θ1，测量液晶单元(15)在正交尼科耳状态下的反射强度S1和参考反射强度Ref1。然后，设定不同的偏振角θ2，测量该液晶单元在正交尼科耳状态下的反射强度S2和参考反射强度Ref2。确定测量强度的比率S1/Ref1，S2/Ref2和比率S1·Ref2/S2·Ref1，为的是抵消参考反射强度Ref1，Ref2的背景分量，从而准确地测定单元的间隙值(图1)。
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公开(公告)号：CN1457427A
公开(公告)日：2003-11-19
申请号：CN02800492.2
申请日：2002-02-28
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01N21/474 , G01N21/8507 , G01N2021/4726 , G01N2021/4742 , G01N2021/4769
Abstract: 根据本发明的用于测量散射光的探头其结构如下：一光输入光纤4和一用于收集并传输散射光的散射光测量光纤6被插入探头3的主体中；该光纤4通过设置在该用于测量光散射的探头3中的孔向外延伸；每个光纤4、6的端部用套圈66或67覆盖；套圈66、67的一端被切削成截头圆锥形，以保留光纤4或6的一部分或整个端面；并由支撑体70等以这样一种方式对套圈66、67进行固定，使得光纤4、6的端面以预定的角度、其间以预定的距离被彼此靠近设置。因而，即使它们具有很差的强度，光纤的端部也可以由套圈加强和保护。此外，将套圈的端部切削成截头圆锥形，可以减小光纤端面之间的距离。
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