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公开(公告)号：CN104870872A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201380066772.9
申请日：2013-11-07
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 山田靖仁
IPC: F16K1/226 , F16K1/228 , F16K31/524 , F16K31/54 , F16K51/02
Abstract: 本发明提供一种蝶式压力控制阀，其适合于在真空区域内进行压力控制的情况，通过来自相同驱动源的动力发挥高密封性并且从微小流量到大流量准确地进行流量控制，发挥隔离功能而从大气压到低真空高速地进行压力控制，以简单的构造实现了小型化。本发明中，阀开闭机构(10)具有：阀芯(11)，其在与流路(4)垂直的方向上旋转；座环(12)，其能够在流路(4)方向上往复运动而与阀芯(11)接触分离；凸轮机构(13)，其用于使座环(12)从阀芯(11)分离且使阀芯(11)旋转；以及往复运动机构(14)，其用于使座环(12)在阀芯(11)方向上往复运动，该阀开闭机构(10)通过凸轮机构(13)使座环(12)分离并且使阀芯(11)无滑动地旋转，在使阀芯(11)旋转至闭阀状态时通过凸轮机构(13)、往复运动机构(14)使座环(12)与阀芯(11)接触分离，从而在流路(4)内进行压力控制，并且阀开闭机构(10)设置为能够由相同驱动源进行驱动。
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公开(公告)号：CN111750124B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202010222521.7
申请日：2020-03-26
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 高朝克图
Abstract: 本发明的课题在于提供一种膜片阀，其构成简单，并且有效地防止反应产物对阀体密封部的产生和堆积，抑制闭阀时的咬合住，因此即使经过多次开闭、长期使用，也能够良好地维持阀的隔断性。一种膜片阀，其将对圆锥形状的片体进行保持的片保持件和膜片件结合在阀箱内，利用片保持件和膜片件夹紧膜片的内径口外周缘，利用阀帽以能够上下移动的方式保持膜片件，夹紧阀帽和膜片的外周缘以使片体为悬吊于膜片的构造，具有在片体的圆锥面形成的圆锥密封部和在阀箱的一次侧开口缘形成的削落阀座部，通过片体的滑动运动将在圆锥密封部产生的反应产物削落并且利用削落阀座部密封圆锥密封部。
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公开(公告)号：CN111720621B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202010195798.5
申请日：2020-03-19
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 饭岛和夫
Abstract: 本申请的课题在于提供一种真空波纹管热阀，其为简洁且紧凑的构成，且对于加热手段的高温化、高电压化，不会损失耐久性、驱动性，而且还实现高精度的阀的调温。在具有流入口和流出口的阀箱内以升降移动自如的方式设有杆，在该杆的下端设置的阀体和杆的外周侧以伸缩自如的方式设置波纹管，在该波纹管的内周和杆的外周之间配置圆筒状的陶瓷加热器，并且在阀体的附近位置配置控制用热电偶的测温部。
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公开(公告)号：CN115038901A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202180013744.5
申请日：2021-02-08
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 饭塚久修
Abstract: 本发明在于，提供一种手动用隔膜阀，该手动用隔膜阀通过简单的构造来维持紧凑性并同时能够设定阀体的开闭范围，不会受到阀的内部形状的个体差异的影响，充分地确保全开时的流量，还能够任意地调整全开时的流量。阀本体1具备装配于主体10内部的阀体12和以能够进行升降运动的方式螺纹嵌合于主体10并使阀体12与阀座14接触分离的主轴13，在阀本体1的上方，安装有对主轴13手动地进行旋转操作的手柄2，在阀本体1的上部附近，具备全开位置调整机构20，全开位置调整机构20限制手柄2的开阀操作侧的全开时的转动，设定阀体12的全开时的流量的上限。
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公开(公告)号：CN110214244B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN201780085001.2
申请日：2017-11-15
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 高朝克图
IPC: F16K31/163 , F16K7/16 , F16K31/524 , F15B15/02 , F15B15/14
Abstract: 提供一种是简单的构造、能够容易地小型化、并且在高压下也具备可靠的阀的开闭性、并且即使阀的开闭频度较多也能够发挥较高的耐久性的阀用致动器和具备它的隔膜阀。一种阀用致动器，配置有设置在致动器主体内的弹性部件、被该弹性部件施力的活塞和用来借助空气压使活塞移动的至少两个空气室，并且在某个前述空气室收纳着用来使在阀闭方向上被放大的力发挥的增力机构。
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公开(公告)号：CN111750124A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010222521.7
申请日：2020-03-26
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 高朝克图
Abstract: 本发明的课题在于提供一种膜片阀，其构成简单，并且有效地防止反应产物对阀体密封部的产生和堆积，抑制闭阀时的咬合住，因此即使经过多次开闭、长期使用，也能够良好地维持阀的隔断性。一种膜片阀，其将对圆锥形状的片体进行保持的片保持件和膜片件结合在阀箱内，利用片保持件和膜片件夹紧膜片的内径口外周缘，利用阀帽以能够上下移动的方式保持膜片件，夹紧阀帽和膜片的外周缘以使片体为悬吊于膜片的构造，具有在片体的圆锥面形成的圆锥密封部和在阀箱的一次侧开口缘形成的削落阀座部，通过片体的滑动运动将在圆锥密封部产生的反应产物削落并且利用削落阀座部密封圆锥密封部。
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公开(公告)号：CN107208821B
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201680005945.X
申请日：2016-01-12
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 小山刚记
CPC classification number: F16K11/22 , F16K1/36 , F16K7/16 , F16K27/003 , F16K27/0236 , F16K41/00 , F16K49/00
Abstract: 提供一种阻断阀及原料容器用阻断阀，前述阻断阀及原料容器用阻断阀具有在内部不存在液体材料、洗涤液等的滞留部的构造，并且能够将冲洗处理以较短时间进行，适合于高纯度的液体材料的使用。阻断阀(10)为，将与阻断体(11)的供给路径(14)连通的主流路(18)的一方与相对于前述阻断体(11)配设成倾斜状态的第1隔膜阀(12)的第1极小端口部(21)连结，并且将前述主流路(18)的另一方与第2隔膜阀(13)的第2极小端口部(22)连结，借助前述第2隔膜阀(13)的端口(25)和供给端口部(15)连通，并且将前述第1隔膜阀(12)的接合端口部(23)和垂直方向的连接管路(16)借助连通路(19)连结，该连通路(19)设置成倾斜状的倾斜流路。
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公开(公告)号：CN109899555A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201811494543.8
申请日：2018-12-07
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 堀口肇
Abstract: 本发明目的是提供一种在高温条件下使用、对于许多次的动作也能够发挥较高的耐久性并且能够实现CV值的稳定性的流体控制阀和流体控制阀的组装方法。一种流体控制阀，是具备环状阀座和隔膜的阀，所述环状阀座设置在具有流入口和流出口的阀身内，所述隔膜对置于该环状阀座且在致动器用杆或手动用杆的升降运动下抵接离开，在作为环状阀座的上部面的隔膜的接离面上，形成有沿着环状阀座的向心方向的锥面。
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公开(公告)号：CN117628207A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311102998.1
申请日：2023-08-30
Applicant: 株式会社开滋SCT , 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供能够提高真空处理室和真空预备室的气密性和清洁度的闸阀和基板处理装置以及基板处理方法。闸阀将与真空处理室和真空预备室的各个室对置的一侧的表面对于包围真空处理室和真空预备室的相互对置配置的基板运入运出口的整周的环状的密封部件抵接，将真空处理室与真空预备室之间开闭自如地连接，在以内外双重地包围真空处理室或真空预备室的至少一个的基板运入运出口的整周的方式设置的密封部件之间和在闸阀内部的1个以上的部位内外双重地设置的其它密封部件之间设置密封用流路，并具备包括多个密封用流路且以从流入口连续地流动到流出口的方式引导惰性气体的气体流通用流路。
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公开(公告)号：CN109899555B
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN201811494543.8
申请日：2018-12-07
Applicant: 株式会社开滋SCT
Inventor： 堀口肇
Abstract: 本发明目的是提供一种在高温条件下使用、对于许多次的动作也能够发挥较高的耐久性并且能够实现CV值的稳定性的流体控制阀和流体控制阀的组装方法。一种流体控制阀，是具备环状阀座和隔膜的阀，所述环状阀座设置在具有流入口和流出口的阀身内，所述隔膜对置于该环状阀座且在致动器用杆或手动用杆的升降运动下抵接离开，在作为环状阀座的上部面的隔膜的接离面上，形成有沿着环状阀座的向心方向的锥面。
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