公开(公告)号：KR1020120001871A

公开(公告)日：2012-01-05

申请号：KR1020100062474

申请日：2010-06-30

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 김병겸 ,  백광수 ,  강현구 ,  송청호 ,  김광일

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/04

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/18 ,  H01L31/04

Abstract: PURPOSE: A device and method for processing a multilayer substrate are provided to shorten process time by performing a laser process in all directions. CONSTITUTION: A transfer table(20) supports a loaded thin film type solar cell board(50). A laser processing unit(40) processes the thin film type solar cell board using one of laser beams with different wavelengths. The laser processing unit includes a first laser source(42a), a second laser source(42b), and a rotation polarization optical system. The rotation polarization optical system branches another optical path according to the rotation of the optical system. A gantry unit(30) reciprocates the laser processing unit along a second driving shaft(36) cross a first driving shaft(24).

Abstract translation: 目的：提供一种用于处理多层基板的装置和方法，以通过在所有方向执行激光处理来缩短处理时间。 构成：转印台（20）支撑装载的薄膜型太阳能电池板（50）。 激光处理单元（40）使用不同波长的激光束之一来处理薄膜型太阳能电池板。 激光处理单元包括第一激光源（42a），第二激光源（42b）和旋转偏振光学系统。 旋转偏振光学系统根据光学系统的旋转分支另一光路。 台架单元（30）沿着穿过第一驱动轴（24）的第二驱动轴（36）使激光加工单元往复运动。

公开(公告)号：KR101094324B1

公开(公告)日：2011-12-19

申请号：KR1020100039906

申请日：2010-04-29

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 김병겸 ,  백광수 ,  강현구 ,  송청호 ,  이병국 ,  김광일

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/04

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 박막형 태양전지의 제조방법 및 레이저 가공장치가 개시된다. 일 실시예에 따른 레이저 가공장치는, 적재된 박막형 태양전지 기판을 지지하면서 제1 주행축을 따라 왕복 이동가능한 이송테이블과, 작업 영역의 일부가 서로 중첩되는 복수의 레이저 유닛을 포함하는 레이저 통합부와, 제1 주행축과 교차하여 형성된 제2 주행축을 따라 레이저 통합부를 왕복 이동시키는 갠트리 유닛을 포함할 수 있으며, 아이솔레이션 공정과 에지 딜리션 공정을 통합하여 하나의 장비에서 수행가능하도록 시스템 통합함으로써 택트 타임을 단축시키고 전체적인 제조 비용을 절감할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020110129321A

公开(公告)日：2011-12-01

申请号：KR1020100073793

申请日：2010-07-30

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 강현구 ,  백광수 ,  송청호 ,  김병겸 ,  이병국 ,  김광일

IPC: B23K26/16 ,  B23K26/402 ,  B23K26/08 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: PURPOSE: A laser processing apparatus for a multilayer substrate is provided to efficiently collect dust because a dust collecting unit is always located directly above a processing area. CONSTITUTION: A laser processing apparatus for a multilayer substrate comprises a support table(40) for supporting a multilayer substrate, a laser processing unit(10) which irradiates a laser beam to a position of the multilayer substrate regulated by a scanner, a gantry unit(30) which reciprocates along a first transfer axis(45) and is mounted with the laser processing unit to reciprocate along a second transfer axis(35) crossing the first transfer axis, and a dust collecting unit(20) which is located between the laser processing unit and the multilayer substrate and collects dust produced from the multilayer substrate by the laser beam.

Abstract translation: 目的：提供一种用于多层基板的激光加工设备，用于有效地收集灰尘，因为灰尘收集单元始终位于处理区域正上方。 构成：用于多层基板的激光加工装置包括用于支撑多层基板的支撑台（40），激光处理单元（10），其将激光束照射到由扫描仪调节的多层基板的位置，台架单元 （30），其沿着第一传送轴线（45）往复运动，并且安装有所述激光加工单元，沿着与所述第一传送轴线交叉的第二传送轴线（35）往复运动;以及集尘单元（20），其位于 激光加工单元和多层基板，并通过激光束收集由多层基板产生的灰尘。

公开(公告)号：KR1020110127910A

公开(公告)日：2011-11-28

申请号：KR1020100047421

申请日：2010-05-20

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 김병겸 ,  백광수 ,  강현구 ,  송청호 ,  이병국 ,  김광일

IPC: B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  H05K3/46 ,  H01L21/027

CPC classification number: B23K26/0626 ,  B23K26/0613 ,  G03F7/2004 ,  H01L21/0275 ,  H05K3/4602

Abstract: PURPOSE: A laser processing apparatus is provided to reducing the manufacturing time by simplifying the laser processing procedure to one time. CONSTITUTION: A laser processing apparatus comprises a first laser light source(10a), a second laser light source(10b) and a beam lasing unit. The first laser light source irradiates the laser beam of a first wave length. The second laser light source irradiates the laser beam of a second wavelength having a different optical axis with the laser beam of the first wave length. The beam lasing unit changes a passage in order that the laser beam of the first wave length have the same optical axis as the laser beam of the second wavelength and irradiates the laser beam of the first wave length and laser beam of the second wavelength in a multi-layer plate(1) as the same axis.

Abstract translation: 目的：提供一种激光加工设备，通过简化激光加工程序来缩短制造时间。 构成：激光加工装置包括第一激光光源（10a），第二激光光源（10b）和光束激发单元。 第一激光光源照射第一波长的激光束。 第二激光光源用具有第一波长的激光束照射具有不同光轴的第二波长的激光束。 光束激光单元改变通道，使得第一波长的激光束具有与第二波长的激光束相同的光轴，并将第一波长的激光束和第二波长的激光束照射在第二波长的激光束中 多层板（1）为同轴。

公开(公告)号：KR101065769B1

公开(公告)日：2011-09-19

申请号：KR1020090046606

申请日：2009-05-27

Applicant: (주)미래컴퍼니 ,  고려대학교 산학협력단

Inventor： 송청호 ,  백광수 ,  김병겸 ,  김동환 ,  이준성 ,  박하영

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/04 ,  B23K26/36

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 태양전지 제조에 이용되는 레이저 식각장치 및 이를 이용한 공극 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 태양전지 제조 시 후면 패시베이션층에 공극을 형성하기 위한 레이저 식각장치에 있어서, 상기 후면 패시베이션층이 형성된 태양전지의 실리콘 기판을 거치하는 스테이지부와, 실리콘 기판의 특성에 따라 조정된 레이저 빔을 발진하는 레이저 발진부와, 공극의 크기와 모양에 따라 레이저 빔의 스폿의 크기와 모양을 변형하는 빔 형성부와, 하나 이상의 공극이 배열된 공극 패턴에 따라 레이저 빔이 공극의 위치에 조사되도록 스캔하는 스캔부와, 스캔부에 의해 스캔된 레이저 빔을 집광하여 조사하는 투영부를 포함하는 레이저 식각장치에 의하면, 고효율의 박형화된 태양전지를 제조하는 과정에서 사진 식각 기술 대신에 레이저 식각 기술을 이용하여 보다 단순화된 공정을 통해서 후면 패시베이션층에 공극 패턴을 형성� � 수 있다.
태양전지, 레이저, 식각, 패시베이션

公开(公告)号：KR101006747B1

公开(公告)日：2011-01-10

申请号：KR1020080072006

申请日：2008-07-24

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 백광수 ,  강현구 ,  이병국 ,  김병겸

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L31/206 ,  B23K26/14 ,  B23K26/142 ,  H01L31/046 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 솔라셀 패널 제조장치 및 제조방법이 개시된다. 복수의 에어 분사구가 형성되어 로딩되는 기판을 부상시키는 지지 테이블과, 지지 테이블의 상부에 위치하며, 기판에 레이저를 조사하는 레이저 가공부와, 지지 테이블의 하부에 위치하며, 레이저에 의해 기판으로부터 발생하는 파티클을 수집하는 석션부를 포함하는 솔라셀 패널 제조장치는, 솔라셀 패널을 지지 테이블 상에 부상시켜 로딩 및 이송함으로써 기판이 테이블에 물리적으로 접촉하지 않아 증착층의 스크래치(scratch)나 데미지(damage) 등의 손상을 미연에 방지할 수 있고, 증착층이 아래를 향하도록 기판을 로딩하고 그 상부에서 레이저를 조사하고 그 하부에서 파티클을 석션함으로써 레이저 식각에 의해 발생하는 파티클을 효과적으로 제거하여 패턴 간의 쇼트가 발생하지 않고 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
솔라셀, 기판, 부상, 에어 플로팅, 레이저