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公开(公告)号：KR1020170096490A
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：KR1020160017928
申请日：2016-02-16
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은정전기제전부를구성하는광조사부의온도또는광조사부에서대전체를향하여조사되는연엑스선내지진공자외선의광도등을감지하여광조사부의성능을실시간을감지할수 있도록한 "정전기제전부의성능상태감지가가능한이오나이저"에관한것이다. 본발명에서제안하는기술적사상을구현하는실시예인정전기제거용광을조사하는정전기제전부및 정전기제전부의동작전원을공급하는전원제어부를구비하는이오나이저의정전기제전부는내부공간이형성된하우징과, 상기하우징내부에안착되어연엑스선또는진공자외선을조사하는광조사부를구비하며, 하우징내부일측에는상기광조사부에서조사되는연엑스선또는진공자외선의광도를감지하기위한광 센서, 또는상기광조사부의온도변화를감지하기위한온도센서가부설될수 있으며, 전원제어부는상기광 센서또는상기온도센서에서감지한상기광조사부의광도정보또는온도정보에기초하여상기광조사부에공급되는상기전원을조절하거나상기광조사부의교체시기를제공할수 있다. 본발명에따른정전기제전부의성능상태감지가가능한이오나이저를사용하는경우광조사부의성능이상을실시간으로파악할수 있으므로초정밀반도체공정또는디스플레이공정에서요구되는정밀한정전기제거효과를보다극대화시켜제품생산수율을개선시킬수 있다는이점이있다.
Abstract translation: 本发明是静电中和“静态权利要求整个检测的光强度，该软X-射线的等，以真空紫外光为朝向总的照射的温度或光照射照射使得可以实时检测发射构成部件的光的性能的性能 状态可检测离子发生器“。 前的操作功率和静电整个静电权利要求照射实施例除静电yonggwang执行技术精神电源控制单元壳体，具有静态和单元形成为具有本发明提出的由离子发生器的内部空间 在外壳中就位，并且包括用于照射软X射线或真空紫外线的光的照射下，该壳体内侧面可以用于感测从所述光照射部发射的软X射线或真空紫外线的光的亮度，或光照射部的温度变化而设置有光学传感器 它是用于感测敷设的温度传感器，和光学传感器的功率控制单元或亮度信息或温度信息来调整提供给发光部件或所检测到的hansanggi光的基础上的发光部由所述温度传感器的发光部的电力 您可以提供更换时间。 当使用静态性能状态检测是根据本发明的整个的可能的电离能确定至少在实时发光部分的通过高精度更最大限度地需要去除精确静电半导体处理或者显示处理效果产率的性能 有一点可以改善。
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公开(公告)号：KR101700218B1
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：KR1020150003291
申请日：2015-01-09
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은코로나방전이오나이저의작동전후또는작동중 소정시간동안방전전극청소용브러쉬를소정각도로반복회동시키는동작을수행하도록하여방전전극을수시로청소하는효과를얻음과동시에브러쉬가방전전극에끼이는것을방지하도록한 "코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법"에관한것이다. 본발명에따른일 실시예인코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법은 (a) 코로나방전이오나이저의방전침청소용브러쉬와연동되어있는제 1 모터의턴온시상기제 1 모터가소정횟수좌우로회동하면서상기제 1 모터와연동되는상기브러쉬가상기방전침주변을좌우로회동하도록한 후상기제 1 모터를턴오프시키는단계; 및 (b) 상기코로나방전이오나이저의상기방전침에코로나방전을유도하기위한고전압을인가하는고전압발생기를턴온시키고상기방전침에서의방전에의해발생되는정전기제거용이온을소정거리이동시키기위한송풍팬을구동시키는단계로이루어진다. 본발명의따른다른실시예는고전압발생기와상기고전압발생기로부터소정의전압을공급받아코로나방전을발생시키는방전침과상기방전침에의하여발생되는정전기제거용이온을소정거리이동시키기위한송풍팬을구비하는송풍형코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법으로서, 상기고전압발생기와상기송풍팬의작동이종료되는경우, 상기방전침을청소하기위한브러쉬를작동시키는모터가턴온되어상기브러쉬가상기방전침주변을수회좌우로회동하도록하는것을특징으로한다. 본발명에서제안하는 "코로나방전이오나이저의방전침을청소하는방법"을사용하는경우브러쉬가방전침에끼이는현상을예방할수 있음은물론주기적으로방전침을청소하는효과가얻을수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及清洁电晕放电电离器的放电尖端的方法。 用于清洁电晕放电电离器的放电尖端的方法包括以下步骤：当与用于清洁电晕放电电离器的放电尖端的清洁部件相关联的第一电动机接通时，第一电动机旋转预定次数， 与第一马达相关联的清洁部件从一侧到另一侧旋转排出尖端附近; 并且第一马达被关闭，从而防止刷子卡在排出尖端的情况。
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公开(公告)号：KR101686821B1
公开(公告)日：2016-12-15
申请号：KR1020150069155
申请日：2015-05-18
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은고전압발생기와상호탈부착가능한 X선발생기의구조에관한것이다. 본발명에서제안하는고전압발생기와탈부착가능한 X선발생기는, 한쌍의도전성와이어를통하여고전압을수신하여 X선을방사하는 X선튜브와, 후단부가한쌍의상기도전성와이어와결합되며소정길이를갖는한쌍의도전성핀과, 제 1 단부를통하여한쌍의상기도전성핀의전단부를삽입가능하게하고제 2 단부를통하여상기제 1 단부를통하여삽입된한쌍의상기도전성핀의상기전단부를노출시키는관통내관이형성되어있는원통형의커넥터와, 상호결합된상기 X선튜브, 한쌍의상기도전성핀 및상기커넥터를일체로내장하기위한제 1 중공부가형성되어있는몰딩케이스와, 상기몰딩케이스를내장하는제 2 중공부가형성되어있는외장케이스를구비한다. 본발명의경우, X선튜브와결합되는소정길이를갖는한쌍의도전성핀이외력또는고전압발생기의암 체결부전극과의결합시휘어지거나절곡될수 있는위험을제거하기위하여외력에의한휘어짐등을방지하기위하여도전성핀을삽입시켜고정안착시킬수 있는커넥터를제공함으로써단품으로제공되는 X선발생기의도전성핀 훼손가능성을사전에차단할수 있다이점이있다. 또한, 본발명에따른 X선발생기는고전압발생기와상호분리하여선택적인납품이가능하므로정전기제거장치의교체비용이절감되는효과도있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种可与高压发生器相互分离的X射线发生器的结构。 通过一对导线的高电压发生器的和所选择的生成可拆卸X，本发明和用于发射X射线的X射线管通过提出接收高电压时，与后啮合端部的一对导线对，其中具有预定长度的 一个通过内管的导电销的形成，曝光的一对导电销的前端的第一端穿过所述第一端部插入，并要被插入前端和经由第二端的一对零件上的导电销贯穿的 成本到圆柱形的连接器，交叉耦合与所述X射线管，和在模制情况下，形成第1中空部，以内置的一对导电销和一体的连接器，所述第二中空部分形成为嵌入模制管壳 还有一个外部的情况。 在当前情况下，防止翘曲等因外力以除去可以弯曲或折叠在所述一对导电销和所述外力或具有一定长度的高电压发生器的臂连接部电极的接合到与X射线管相结合的危险 它可以是通过将导电销通过提供sikilsu固定座位预先这样的优点，一个连接器来阻止作为单个单元提供可能导电销X选择动画的破坏。 此外，从由所述高电压发生器产生彼此，和X中分离的本发明可以有选择地根据与输送它具有这样的静电的更换成本删除设备节约的效果。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR101839797B1
公开(公告)日：2018-03-19
申请号：KR1020160111928
申请日：2016-08-31
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은하면에다수의삽입홈이좌우방향으로배열형성되는가이드바; 상기가이드바의내부에설치되며고전압이발생하는전압발생모듈; 상기다수의삽입홈에각각삽입되며, 좌우방향양면에각각튜브유입홀및 튜브유출홀이형성되며, 서로직렬연결되는다수의튜브바디; 상기다수의튜브바디의하부에각각상부가관통삽입되며, 하면외주면에상기튜브유입홀및 튜브유출홀과연통되는가이드유통로가형성되는다수의가이드바디; 상기가이드바디의하부를둘러싸며하면에상기가이드유통로와연통되는방호유통로가형성되는방호노즐; 상기가이드바디의내부에설치되며하면이상기가이드바디의하측으로돌출되는 X선관; 및상기방호노즐의하부를둘러싸며하면에상기방호유통로와연통되는에어홀이형성되는에어노즐;을포함하는것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种导杆，其中在其下表面上沿横向方向布置有多个插入槽; 电压产生模块，安装在导杆内并产生高电压; 多个管体，所述多个管体插入到所述多个插入槽中，所述多个管体分别在左右方向上的两侧上形成有管入口孔和管出口孔并且彼此串联连接; 多个导向体，每个导向体具有插入所述多个管体的下部的上部，并具有在下表面的外表面上与所述管入口孔和所述管出口连通的引导通道; 保护喷嘴，围绕所述引导体的下部并且具有形成有与所述引导流路连通的保护流路的下表面; X射线管，其安装在所述引导体内并向所述下表面引导体的下侧突出; 围绕保护喷嘴的下部并具有与保护流路连通的气孔的空气喷嘴。
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公开(公告)号：KR1020180024902A
公开(公告)日：2018-03-08
申请号：KR1020160111928
申请日：2016-08-31
Applicant: (주)선재하이테크
CPC classification number: H01J35/16 , H05F3/06 , H01J2235/166 , H01J2235/168 , H01J2235/186
Abstract: 본발명은하면에다수의삽입홈이좌우방향으로배열형성되는가이드바; 상기가이드바의내부에설치되며고전압이발생하는전압발생모듈; 상기다수의삽입홈에각각삽입되며, 좌우방향양면에각각튜브유입홀및 튜브유출홀이형성되며, 서로직렬연결되는다수의튜브바디; 상기다수의튜브바디의하부에각각상부가관통삽입되며, 하면외주면에상기튜브유입홀및 튜브유출홀과연통되는가이드유통로가형성되다수의가이드바디; 상기가이드바디의하부를둘러싸며하면에상기가이드유통로와연통되는방호유통로가형성되는방호노즐; 상기가이드바디의내부에설치되며하면이상기가이드바디의하측으로돌출되는 X선관; 및상기방호노즐의하부를둘러싸며하면에상기방호유통로와연통되는에어홀이형성되는에어노즐;을포함하는것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种导杆，其中在其下表面上沿横向方向布置有多个插入槽; 电压产生模块，安装在导杆内并产生高电压; 多个管体，所述多个管体插入到所述多个插入槽中，所述多个管体分别在左右方向上的两侧上形成有管入口孔和管出口孔并且彼此串联连接; 多个管体，每个管体具有插入其下部的上部以及在下表面的外周表面上与管入口孔和管出口连通的引导通道， 保护喷嘴，围绕所述引导体的下部并且具有形成有与所述引导流路连通的保护流路的下表面; X射线管，其安装在所述引导体内并向所述下表面引导体的下侧突出; 围绕保护喷嘴的下部并具有与保护流路连通的气孔的空气喷嘴。
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30.发明授权
公开(公告)号：KR101735457B1
公开(公告)日：2017-05-15
申请号：KR1020150068563
申请日：2015-05-18
Applicant: (주)선재하이테크
Abstract: 본발명은연 엑스선튜브모듈, 분기된매체를이용한연 엑스선조사장치및 탈부착형연 엑스선이오나이저에관한것으로서, 연엑스선조사와함께매체를동시에분사함으로써제전성능을향상시키고, 연엑스선튜브모듈과고전압발생모듈의탈부착을용이하게하는연 엑스선튜브모듈, 분기된매체를이용한연 엑스선조사장치및 탈부착형연 엑스선이오나이저에관한것이다. 이를위해매체주입부, 매체주입부를통해공급된매체가관을통해일측에서타측으로이송되어토출되도록하는공급관, 및연 엑스선을발생시키는연 엑스선튜브를포함하며, 공급관을통해매체를이송시킴으로써연 엑스선튜브에매체가충돌하지않도록하면서연 엑스선의조사와함께매체를분사하는것을특징으로하는연 엑스선튜브모듈이개시된다.
Abstract translation: 本发明软X-射线管模块中，软X射线照射器和可拆卸hyeongyeon涉及X射线离子发生器，通过注入的同时在介质用软X射线照射，以提高防静电性能，软X射线管模块和高电压发生器使用支化的介质 开，以促进X射线管模块的可移动模块，使用所述支化介质和可拆卸hyeongyeon软X射线照射器涉及的X射线离子发生器。 为此包括软X射线管用于产生供给管，mityeon X射线，使得其他饲料朝向在一侧通过穿过介质入口，介质喷射，在软X射线管的介质玻璃进料排出，通过进料管馈送的介质 在介质不碰撞的情况下，介质与开放式X射线的照射一起喷射。
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