支撑基板、带有支撑基板的层叠体及半导体元件搭载用封装基板的制造方法

    公开(公告)号:CN109564899B

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN201780048479.8

    申请日:2017-08-04

    Abstract: 一种半导体元件搭载用封装基板的制造方法,其包括如下工序:第1层叠体准备工序,准备第1层叠体,所述第1层叠体具有:树脂层、设置于前述树脂层的至少一面侧并且具备剥离单元的粘接层、和设置于前述粘接层上的第1金属层;第1布线形成工序,对前述第1金属层进行蚀刻,在前述第1层叠体形成第1布线导体;第2层叠体形成工序,在前述第1层叠体的设置有前述第1布线导体的面依次层叠绝缘树脂层和第2金属层,形成第2层叠体;第2布线形成工序,在前述绝缘树脂层形成到达至前述第1布线导体的非贯通孔,对形成有前述非贯通孔的前述绝缘树脂层实施电镀和/或化学镀,在前述绝缘树脂层上形成第2布线导体;和、剥离工序,从形成有前述第2布线导体的前述第2层叠体将至少前述树脂层剥离。

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