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公开(公告)号：JP5825169B2
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：JP2012071106
申请日：2012-03-27
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: H01L21/285 , C23C16/18
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公开(公告)号：JP6340251B2
公开(公告)日：2018-06-06
申请号：JP2014112439
申请日：2014-05-30
Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , 宇部興産株式会社
IPC: H01L21/31 , C23C16/42 , C23C16/455 , C23C16/44 , H01L21/318 , H01L21/314
CPC classification number: H01L21/02167 , C23C16/36 , C23C16/45544 , C23C16/45553 , H01L21/0217 , H01L21/02211 , H01L21/0228
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公开(公告)号：JPWO2017030150A1
公开(公告)日：2018-05-31
申请号：JP2017535553
申请日：2016-08-17
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: H01L21/316 , C23C16/18 , C23C16/40
Abstract: 加熱されている成膜対象物上に下記式(1)で示されるアルミニウム化合物を供給し、前記アルミニウム化合物を酸化することにより成膜対象物上に酸化アルミニウム膜を形成する工程を有する、酸化アルミニウム膜の製造方法を提供する。下記式(1)中、Rは炭素原子数1〜2の直鎖状のアルキル基を示し、複数のRは互いに同一又は異なっていてもよい。t−Buはターシャリーブチル基を示す。【化1】
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公开(公告)号：JP2017110268A
公开(公告)日：2017-06-22
申请号：JP2015246325
申请日：2015-12-17
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: H01L21/316 , C07F5/06 , C23C16/40
Abstract: 【課題】 高品位な酸化アルミニウム膜を製造し得る酸化アルミニウム膜の製造原料及び当該原料を使用した酸化アルミニウム膜製造方法を提供する。 【解決手段】 本発明は、下記式(1)で示されるアルミニウム化合物を含有してなる酸化アルミニウム膜製造原料によって解決される。また、本発明は、300〜500℃に加熱された成膜対象物上に、下記式(1)で示されるアルミニウム化合物を供給し、酸化アルミニウム膜を形成する、酸化アルミニウム膜の製造方法によっても解決される。 (式中、R 1 は炭素原子数1〜2の直鎖状のアルキル基を示す。R 2 〜R 4 は炭素原子数1〜8の直鎖状のアルキル基を示し、同一又は異なっていても良い。) 【選択図】 なし
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP2016182537A
公开(公告)日：2016-10-20
申请号：JP2015063088
申请日：2015-03-25
Applicant: 宇部興産株式会社
Abstract: 【課題】 本発明の課題は、新規な炭窒化剤である1,2,3−トリアゾール化合物を含有するガス(1,2,3−トリアゾール化合物含有ガス)から、煩雑な操作を必要とすることなく1,2,3−トリアゾール化合物を除去すること、及びその除去状態を検知する方法を提供することにある。 【解決手段】 本発明の課題は、1,2,3−トリアゾール化合物含有ガスから1,2,3−トリアゾール化合物を除去する方法であって、 1,2,3−トリアゾール含有ガスと、物理吸着剤とを接触させる工程、 及び、前記ガス中の1,2,3−トリアゾールが除去されたことを検知する工程 を含むことを特徴とする、1,2,3−トリアゾールの処理方法によって解決される。 【選択図】 図1
Abstract translation: 要解决的问题：从含有1,2,3-三唑化合物的气体（含1,2,3-三唑化合物的气体）中除去1,2,3-三唑化合物作为新的碳氮化物，不需要复合物 并提供去除状态的检测方法。解决方案：通过1,2,3-三唑的加工方法解决了问题，该方法是1,2,3-三唑化合物从1， 包括使含有1,2,3-三唑的气体与物理吸附剂接触的步骤的2,3,3-三唑化合物气体，以及检测在 气体选择图：图1
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公开(公告)号：JP5780238B2
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：JP2012505709
申请日：2011-03-15
Applicant: 宇部興産株式会社
CPC classification number: H01M14/005 , C07F15/0053 , C09B23/102 , C09B57/10 , H01G9/2059 , H01L51/009 , H01G9/2031 , H01L51/0086 , Y02E10/542 , Y02E10/549 , Y02P70/521
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