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公开(公告)号:WO2005087697A1
公开(公告)日:2005-09-22
申请号:PCT/JP2005/004577
申请日:2005-03-15
IPC: C07C49/92
CPC classification number: C23C16/40 , C07C45/455 , C07C45/77 , C07C49/92 , C23C16/18 , C07C49/175
Abstract: 【課題】 CVD法による金属含有薄膜の製造に好適に使用できる金属錯体及び金属含有薄膜の製造方法を提供する。 【解決手段】 アルコキシアルキルメチル基を有するβ−ジケトナトを配位子とする金属錯体、及びこの金属錯体を用いてCVD法により金属含有薄膜を製造する方法。
Abstract translation: [问题]提供能够适用于通过CVD法制造含金属薄膜的金属络合物和含金属薄膜的制造方法。 用于解决问题的方法包含具有烷氧基烷基甲基的β-二酮的金属络合物作为配体; 以及使用上述金属络合物通过CVD法制造含金属薄膜的方法。
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公开(公告)号:JP2015134799A
公开(公告)日:2015-07-27
申请号:JP2015045356
申请日:2015-03-06
Applicant: 宇部興産株式会社
IPC: G01N30/04 , C07F7/00 , G01N30/02 , G01N30/88 , C07C31/125
Abstract: 【課題】 本発明の課題は、具体的に高純度化が達成された、即ち、ハロゲンや金属不純物の含有量が低減された高純度ジルコニウムアルコキシド原料を効率的に製造する方法を提供することにある。 【解決手段】 本発明の課題は、下記分析法で測定されるハロゲンの含有量が1質量ppm未満、鉄、クロム及び銅それぞれの含有量が0.1質量ppm未満であり、ニッケルの含有量が0.4質量ppm未満である、高純度ジルコニウムアルコキシド原料によって解決される。 ハロゲンの分析法; 高純度ジルコニウムアルコキシド原料を、そのまま又は有機溶媒に溶解した後、これに塩基性水溶液を添加して、沈殿物を除去した溶液の水溶液部分をイオンクロマトグラフィーにより高純度ジルコニウムアルコキシド原料中のハロゲン含有量を分析する。 金属含量の分析法; 高純度ジルコニウムアルコキシド原料を、そのまま又は有機溶媒に溶解した後、これに酸性水溶液を添加して、この酸性水溶液の水溶液部分を誘導結合プラズマ質量分析(ICP−MS)、誘導結合プラズマ発光分光分析(ICP−AES)又はそれらを組み合わせて高純度ジルコニウムアルコキシド原料中の鉄、クロム、銅及びニッケル含有量を分析する。 【選択図】 なし
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种有效地制备高纯度的烷氧化锆原料的方法,其特别是高纯度化,即其卤素和金属杂质被还原。方法:提供高纯度的烷氧化锆原料 通过以下分析方法测定的卤素含量小于1质量ppm以下,铁,铬和铜的含量小于0.1质量ppm,镍含量小于0.4质量ppm的材料。 卤素的分析方法:将高纯度的烷氧基锆原料按照或溶解在有机溶剂中后加入碱性水溶液; 除去析出物后,通过离子色谱法分析析出物已被除去的溶液的水溶液部分,得到高纯度的烷氧基锆原料中的卤素含量。 金属含量的分析方法:将高纯度的烷氧基锆原料按照或溶解在有机溶剂中后,加入酸性水溶液; 通过电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS),电感耦合等离子体发射光谱分析(ICP-AES)或其铁,铬,铜和镍含量的组合分析该酸性溶液的水溶液部分 在高纯度的烷氧基锆原料中。
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公开(公告)号:JP2015110581A
公开(公告)日:2015-06-18
申请号:JP2014260961
申请日:2014-12-24
Applicant: 宇部興産株式会社
CPC classification number: Y02P20/52
Abstract: 【課題】副生物の含量が低減された、工業的に好適なアルキルシクロペンタジエン化合物を高い収率で提供する。 【解決手段】原料及び原料のみに由来の副生物の含有量が5%以下であって、目的物由来の副生物の含有量が3%以下である、式(1)で示されるアルキルシクロペンタジエン化合物。四級オニウム塩、塩基又はアルキルハライドのいずれかひとつを最後に混合して反応させるアルキルシクロペンタジエン化合物の製造方法。シクロペンタジエンは予め混合しても良く、最後に混合しても良いアルキルシクロペンタジエンの製造方法。 (RはC1〜4のアルキル基;尚、シクロペンタジエン環上の任意のHはC1〜4のアルキル基で置換されていても良い) 【選択図】なし
Abstract translation: 要解决的问题:提供其副产物含量较低的烷基环戊二烯化合物,其在工业上是合适的并且可以高产率生产。溶液:烷基环戊二烯化合物的原料含量和原料衍生自 - 含量控制在5%以下的产品含量,将目标衍生的副产物含量控制在3%以下,由式(1)表示(其中R为1-4C 烷基;如果1-4C烷基在环戊二烯环上被任选的H取代,则无关紧要)。 在烷基环戊二烯化合物的制造方法中,如果季铵盐,碱和烷基卤化物中的一种最终混合并最终反应,如果环戊二烯预先混合,或最终混合环戊二烯,则无关紧要。
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