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公开(公告)号：CN112639391A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201980056745.0
申请日：2019-07-24
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: G01B11/00 , H01L21/304
Abstract: 差异运算部(92)计算基准图像(80)中的各卡盘销(26)的位置与对象图像(82)中的各卡盘销(26)的位置之间的差异。判定区域设定部(932)在对象图像(82)中设定用于检测喷嘴(30)的位置的判定区域(DR)。此时，判定区域设定部(932)根据作为标识部的各卡盘销(26)之间的位置差异，对基准图像(80)中设定的基准判定区域(SDR)的位置进行修正，从而在对象图像(82)中设定判定区域(DR)。
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公开(公告)号：CN109560012A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811084085.0
申请日：2018-09-17
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供能够掌握衬底的被处理面的中央侧及外周侧的处理结束时间点的衬底处理装置及衬底处理方法。衬底处理装置具备：衬底旋转部，所述衬底旋转部将衬底保持为水平并使其旋转；喷嘴，所述喷嘴向通过衬底旋转部进行旋转的衬底的被处理面供给处理液；拍摄部，所述拍摄部对包含多个对象区域的拍摄区域进行拍摄，所述对象区域是在向衬底供给了处理液时形成了液膜的区域；和检测部，所述检测部参照拍摄部的拍摄结果，基于多个对象区域的各自的亮度值的变化，来检测多个对象区域的各自的处理结束时间点。另外，拍摄区域至少包含被处理面的中央侧的区域和外周侧的区域作为多个对象区域。因此，能掌握衬底的被处理面的中央侧及外周侧的处理结束时间点。
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公开(公告)号：CN112509940B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202010840506.9
申请日：2020-08-19
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种不需要基准图像也能够判定基板是否被正常地保持的基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具有：保持部，用于保持基板；拍摄部，用于在包括被保持的基板的外缘部的拍摄范围内对基板的多个部位进行拍摄，并且输出基板的多个图像数据；提取部，用于从多个图像数据之间的差分图像提取基板的外缘部；以及判定部，用于基于差分图像中的基板的外缘部，判定基板的保持状态。
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公开(公告)号：CN116666260A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310044723.0
申请日：2023-01-30
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种即使在处理槽内贮存有处理液也能够以更高精度监视处理槽的内部的技术。基板处理装置(100)使多个基板(W)浸渍在处理液内来一并处理多个基板(W)。基板处理装置(100)具备处理槽(10)以及摄像头(30)。处理槽(10)贮存处理液。摄像头(30)与处理槽(10)相比设在铅垂上方，拍摄处理槽(10)的内部生成多个拍摄图像数据。控制部(90)基于多个拍摄图像数据的累计生成使在处理液的液面产生的摇晃的亮度分布平滑化的平滑图像数据，基于该平滑图像数据监视处理槽(10)的内部。
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公开(公告)号：CN116642902A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202211677587.0
申请日：2022-12-26
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 提供一种用户能够容易识别异常种类的基板检测装置、基板处理装置及基板检测方法。基板检测装置(102)具备照明部(60)、摄像头(50)、报知部(70)和控制部(103)。照明部(60)向包含插入于多个保持槽中的多个基板(W)在内的拍摄区域照射照明光，多个保持槽包含于基板保持部并沿着规定的排列方向排列。摄像头(50)对拍摄区域进行拍摄而生成拍摄图像数据。控制部(103)进行检测处理，即基于拍摄图像数据检测多个基板(W)中的某一个基板(W)斜着插入的斜插异常、以及在多个保持槽中的某一个保持槽中插入了两个以上基板(W)的多插异常中的至少某一方，并使报知部(70)报知所检测出的异常。
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公开(公告)号：CN112840438A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201980065740.4
申请日：2019-09-25
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 提供一种能够拍摄喷出到基板的端部的液柱状的处理液的基板处理装置。基板处理装置具有基板保持部20、杯构件40、升降机构44、第一喷嘴31以及相机70。基板保持部20保持基板W并使基板W旋转。杯构件40包围基板保持部20的外周。升降机构44以使杯构件40的上端部位于比基板保持部20保持的基板W高的上端位置的方式，使杯构件40上升。第一喷嘴31在比上端位置低的位置具有喷出口，从喷出口向基板W的端部喷出第一处理液。相机70拍摄从基板W的上方的拍摄位置观察的拍摄区域，该拍摄区域包含从第一喷嘴31的喷出口喷出的第一处理液。
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公开(公告)号：CN112397407A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202010771262.3
申请日：2020-08-04
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种能够避开缺口测量基板周边的位置，并高精度地降低基板的偏心量的技术。在第一工序中使基板(W)旋转。在第二工序中，摄像头依次拍摄基板的周边，获取多个图像(IM1)。在第三工序中，针对多个图像执行缺口检测处理。在第四工序中，将在多个图像内沿着第一轴延伸的测量区域(MR1)在第二轴上的位置设定为：测量区域在多个图像的任一个中均不包含缺口(NT1)而包含基板的周边。在第五工序中，针对包含基板的旋转位置和测量区域中的基板的周边的位置的绘图点，进行曲线插值处理求出正弦波。在第六工序中，根据该正弦波求出以缺口的位置为基准的基板的偏心。在第七工序中使基板移动，以降低基板的偏心。
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