公开(公告)号：KR1020070083503A

公开(公告)日：2007-08-24

申请号：KR1020077004321

申请日：2006-03-30

Applicant: 가부시끼가이샤 오크테크 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오쿠무라가츠야 ,  야카베마사미 ,  이케우치나오키

IPC: G01R1/073 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01C19/56 ,  B81C99/005 ,  G01P15/123 ,  G01P15/18 ,  G01P21/00 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0842

Abstract: A method for inspecting a microstructure having a movable part with high accuracy without damaging the probe or the inspection electrode by lessening the influence of the needle pressure when the probe is brought into contact with the inspection electrode. To inspect a microstructure, a pair of probes (2) are brought into contact with electrode pads (PD), and the pair of probes (2) are connected to a flitting power supply (50) through a relay (30). A voltage is applied to one of the probes (2) from the flitting power supply (50). As the voltage is gradually raised, a current brakes through the oxide films of the probes (2) because of the flitting phenomenon and flows from one probe (2) to the other (2) to set up electrical connection between the probes (2) and the electrode pad (PD). The power supply is switched from the flitting power supply (50) to a measuring unit (40) to electrically connect the probes (2) to the measuring unit (40) through the relay (30).

Abstract translation: 一种用于通过减小当探针与检查电极接触时针压的影响而高精度地检查具有可移动部件的微结构的方法，而不损坏探针或检查电极。 为了检查微结构，一对探针（2）与电极焊盘（PD）接触，并且一对探针（2）通过继电器（30）连接到飞行电源（50）。 从飞溅电源（50）向一个探针（2）施加电压。 随着电压逐渐升高，由于闪络现象，电流通过探针（2）的氧化膜制动，并从一个探针（2）流到另一个（2），以在探针（2）之间建立电连接， 和电极垫（PD）。 电源从飞溅电源（50）切换到测量单元（40），以通过继电器（30）将探针（2）电连接到测量单元（40）。

公开(公告)号：KR1020070062979A

公开(公告)日：2007-06-18

申请号：KR1020077005724

申请日：2005-09-09

Applicant: 가부시끼가이샤 오크테크 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야카베마사미 ,  마츠모토도시유키 ,  이케우치나오키 ,  오쿠무라가츠야

IPC: G01N29/12

CPC classification number: G01N29/14 ,  B81C99/005 ,  G01N29/4427 ,  G01N2291/2695 ,  G01N2291/2697

Abstract: A voltage is applied to a chip (TP) by a voltage driving part (30) through a probe needle (P) and a movable part of a microstructure is moved. A sound generated in response to the movement of the movable part of the microstructure is detected by a microphone (3). Then, the sound detected by the microphone (3) is measured by a measuring part (25), and characteristics of the detecting chip (TP) are evaluated by a control part (20) based on comparison with a sound detected from an ideal chip (TP).

Abstract translation: 电压通过探针（P）通过电压驱动部件（30）施加到芯片（TP），并且微结构体的可移动部分移动。 通过麦克风（3）检测响应于微结构的可移动部分的运动而产生的声音。 然后，通过测量部件（25）测量由麦克风（3）检测到的声音，并且通过与从理想芯片检测到的声音进行比较的控制部分（20）来评估检测芯片（TP）的特性 （TP）。

公开(公告)号：KR100715063B1

公开(公告)日：2007-05-04

申请号：KR1020047003343

申请日：2002-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야카베마사미 ,  이케우치나오키

IPC: G01R27/26

CPC classification number: H04R29/004 ,  G01N27/22 ,  H04R19/04

Abstract: An electrostatic capacitance detection circuit 10 comprises an AC voltage generator 11, a first operational amplifier 14 of which non-inverting input terminal is connected to specific potential (a ground in this example), a second operational amplifier 16 that includes a voltage follower, a resistance (R1) 12 connected between the AC voltage generator 11 and an inverting input terminal of the first operational amplifier 14, a resistance (R2) 13 connected between the inverting input terminal of the first operational amplifier 14 and an output terminal of the second operational amplifier 16, and an impedance element (a capacitor) 15 connected between an output terminal of the first operational amplifier 14 and a non-inverting input terminal of the second operational amplifier 16, and a capacitor to be detected 17 is connected between the non-inverting input terminal of the second operational amplifier 16 and specific potential. The electrostatic capacitance detection circuit 10 and the capacitor 17 are located adjacently.

公开(公告)号：KR100715062B1

公开(公告)日：2007-05-04

申请号：KR1020047003329

申请日：2002-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야카베마사미 ,  이케우치나오키

IPC: G01R27/26

CPC classification number: H04R29/004 ,  G01R27/26

Abstract: An electrostatic capacitance detection circuit 10 comprises an AC voltage generator 11, an operational amplifier 14 of which non-inverting input terminal is connected to specific potential (a ground in this example), an impedance converter 16, a resistance (R1) 12 connected between the AC voltage generator 11 and an inverting input terminal of the operational amplifier 14, a resistance (R2) 13 connected between the inverting input terminal of the operational amplifier 14 and an output terminal of the impedance converter 16, and an impedance element (a capacitor) 15 connected between an output terminal of the operational amplifier 14 and an input terminal of the impedance converter 16, and a capacitor to be detected 17 is connected between the input terminal of the impedance converter 16 and specific potential. The electrostatic capacitance detection circuit 10 and the capacitor 17 are located adjacently.

公开(公告)号：KR1020070022730A

公开(公告)日：2007-02-27

申请号：KR1020067026039

申请日：2005-07-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야카베마사미 ,  카가와겐이치 ,  호시노도모히사

IPC: H01L21/3205

Abstract: 본 발명은 관통 기판은 표면(11)과 이면(12)을 관통하는 관통 구멍(19)을 갖는 실리콘 기판(10)과, 관통 구멍(19)의 내벽면을 따라 설치된 실리콘 산화막(13)과, 실리콘 산화막(13)의 내벽면에 형성된 Zn 및 Cu의 층(14, 15)과, Zn 및 Cu의 층(14, 15)의 내벽면을 따라, 사이에 절연층(16)을 통해, Cu의 시드 층(17)으로부터 성장된 Cu의 도금층(18)을 갖는 것을 목적으로 한다. 그 결과 크로스토크에 의해 노이즈를 배제할 수 있는 관통 전극을 제공할 수 있다.

公开(公告)号：KR100655258B1

公开(公告)日：2006-12-11

申请号：KR1020057016160

申请日：2004-08-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야카베마사미

IPC: G01R27/26

CPC classification number: H04R3/00

Abstract: 입력 보호 회로를 갖추고, 또한, 높은 감도를 갖는 용량 검출 회로를 제공한다. 용량형 센서(Cs)의 용량을 검출하는 용량 검출 회로(20)로서, 용량형 센서(Cs)에 신호선(13)을 통해 접속되는 전압 증폭율이 1인 버퍼 앰프(12)와, 신호선(13)과 플러스 전원(+Vdd) 사이에 직렬로 접속된 다이오드(Dp1 및 Dp2)와, 신호선(13)과 마이너스 전원(-Vdd) 사이에 직렬로 접속된 다이오드(Dm1 및 Dm2)를 포함하고, 버퍼 앰프(12)의 출력 단자가, 다이오드(Dp1)와 다이오드(Dp2)와의 접속점(21a) 및 다이오드(Dm1)와 다이오드(Dm2)와의 접속점(21b)에 접속되어 있다.

公开(公告)号：KR100654471B1

公开(公告)日：2006-12-05

申请号：KR1020047003319

申请日：2002-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야카베마사미 ,  이케우치나오키

IPC: G01R27/26

CPC classification number: H04R29/004 ,  G01R27/26

Abstract: An electrostatic capacitance detection circuit 10 comprises a DC voltage generator 11, an operational amplifier 14 of which non-inverting input terminal is connected to specific potential, an impedance converter 16, a resistance (R1) 12 connected between the DC voltage generator 11 and an inverting input terminal of the operational amplifier 14, a resistance (R2) 13 connected between the inverting input terminal of the operational amplifier 14 and an output terminal of the impedance converter 16, and a capacitor 15 connected between an output terminal of the operational amplifier 14 and an input terminal of the impedance converter 16. A capacitor to be detected 17 is connected between the input terminal of the impedance converter 16 and specific potential.

公开(公告)号：KR1020060024345A

公开(公告)日：2006-03-16

申请号：KR1020057016160

申请日：2004-08-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야카베마사미

IPC: G01R27/26

CPC classification number: H04R3/00

Abstract: A capacitance determining circuit having an input protection circuit and exhibiting a high sensitivity. A capacitance determining circuit (20) for determining the capacitance of a capacitive sensor (Cs), comprising a buffer amplifier (12) connected to the capacitive sensor (Cs) via a signal line (13) and having a voltage amplification ratio of 1; diodes (Dp1, Dp2) series connected between the signal line (13) and a positive power supply (+Vdd); and diodes (Dm1, Dm2) series connected between the signal line (13) and a negative power supply (-Vdd), wherein an output terminal of the buffer amplifier (12) is connected to a junction (21a) of the diodes (Dp1, Dp2) and to a junction (21b) of the diodes (Dm1, Dm2).

Abstract translation: 具有输入保护电路并具有高灵敏度的电容确定电路。 一种用于确定电容传感器（Cs）的电容的电容确定电路（20），包括经由信号线（13）连接到电容传感器（Cs）并具有电压放大率1的缓冲放大器（12） 连接在信号线（13）和正电源（+ Vdd）之间的二极管（Dp1，Dp2）; 和串联连接在信号线（13）和负电源（-Vdd）之间的二极管（Dm1，Dm2），其中缓冲放大器（12）的输出端连接到二极管（Dp1 ，Dp2）和二极管（Dm1，Dm2）的结（21b）。

公开(公告)号：KR1020040041159A

公开(公告)日：2004-05-14

申请号：KR1020047003365

申请日：2002-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야카베마사미

IPC: G01R27/26

CPC classification number: G01D5/24 ,  G01N27/22 ,  H04R3/06

Abstract: 본 발명의 전위 고정 장치는, 제 1 용량(14)과, 제 1 용량에 직접적으로 접속되는 제 2 용량(15)의 두 용량 사이의 접속선(17)에 접속되는 전위 고정 장치로서, 제 1 고 저항(3)과, 제 1 고 저항에 직접적으로 접속되는 제 2 고 저항(4)과, 제 1 고 저항과 제 2 고 저항에 따라서 분압된 전위를 출력 단자에 출력하는 전압 분압 수단과, 적어도 제 1 고 저항 또는 제 2 고 저항 중 어느 한 쪽에 병렬로 접속된 제 3 용량(8)과, 제 1 용량과 제 2 용량의 합계 총 전하량을 유지하면서, 두 용량(14),(15) 사이의 접속선의 전위를 일정하게 유지하는 전압 공급 수단(1)을 구비하고, 전압 공급 수단의 출력 단자는 두 용량 사이의 신호선에 접속되어 있다.

Abstract translation: 本发明的电位固定装置是电位固定装置，其连接到两个电容之间的连接线（17），第一电容（14）和第二电容（15）直接连接到第一电容 包括第一高电阻（3），与第一高电阻直接连接的第二高电阻（4），将由第一高电阻和第二高电阻分压的电位输出到输出端子的分压单元 ，与所述第一高电阻和所述第二高电阻中的至少一个并联连接的第三电容（8），以及能够保持所述两个电容之间的连接线的恒定电位的电压供给单元（1） 保持第一电容和第二电容的总电荷总量，以及电压供应单元的输出端子（图14）和（15） 连接到两个电容之间的信号线。

公开(公告)号：KR1020020019909A

公开(公告)日：2002-03-13

申请号：KR1020017014204

申请日：2001-03-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  호쿠토 덴시 고교 가부시키가이샤

Inventor： 야카베마사미 ,  마츠모토도시유키 ,  히로타요시히로 ,  나카노고이치

IPC: G01R27/02

Abstract: 코어부(1)의 제2 연산 증폭기(11)는 반전 입력 단자와 출력 단자를 단락한다. 비반전 입력 단자에 신호선(19)을 접속한다. 신호선(19)에 용량 센서(18)를 접속한다. 제1 연산 증폭기(12)는 비반전 입력 단자를 접지한다. 반전 입력 단자에 제1 저항(15) 및 제2 저항(16)의 각각 일단을 접속한다. 제1 저항(15)의 다른 단은 교류 전압 발생기(14)에 접속한다. 제2 저항(16)의 다른 단은 제1 연산 증폭기(11)의 출력 단자에 접속한다. 코어부(1)의 신호 출력 단자(21)는 반전 증폭 디바이스(2)에 접속한다. 코어부(1)의 교류 출력 단자(22) 및 반전 증폭 디바이스부(2)의 반전 출력 단자(42)는 가산 디바이스(3)에 접속한다. 연산 증폭기(36)(40)의 비반전 입력 단자는 접지한다.