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公开(公告)号：KR1020070029140A
公开(公告)日：2007-03-13
申请号：KR1020067018071
申请日：2005-10-31
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G01R1/067
CPC classification number: G01R1/06727 , G01R1/07342
Abstract: A probe, wherein a beam part (3) is cantilevered by a support part (2) at a specified interval relative to a probe substrate (1), and a contactor (4) extending in a direction apart from the probe substrate (1) is fitted to the beam part (3). A projection (5) extending toward the probe substrate (1) is formed on the beam part (3). Since the projection (5) is brought into contact with the probe substrate (1) when a load is applied to the probe substrate (1), a stress applied to the beam part (3) can be dispersed. ® KIPO & WIPO 2007
Abstract translation: 一种探针，其中梁部分（3）相对于探针基板（1）以指定的间隔被支撑部分（2）悬臂，以及沿与探针基板（1）相离的方向延伸的接触器（4） 装配到梁部分（3）上。 在梁部（3）上形成有朝向探针基板（1）延伸的突起（5）。 由于当向探针基板（1）施加负载时，由于使突起（5）与探针基板（1）接触，所以能够分散施加到梁部（3）的应力。 ®KIPO＆WIPO 2007
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公开(公告)号：KR1020080031346A
公开(公告)日：2008-04-08
申请号：KR1020087002357
申请日：2006-08-02
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G01P21/00 , H01L21/027
CPC classification number: G01P15/123 , B81B2201/0257 , B81C99/005 , G01P15/18 , G01P2015/0842 , G01N29/346 , G01N29/42
Abstract: There are provided an inspection device, an inspection method, and an inspection program for accurately inspecting a minute structure having a movable portion by using a simple method. A test sound wave is inputted and frequency characteristic of a sensor output voltage amplitude responding to the input of the test sound wave is analyzed. The maximum frequency and the minimum frequency of the device is calculated from estimated use conditions and it is judged whether it is possible to detect a desired characteristic in the frequency band. More specifically, the device is judged to be good or bad depending whether the response characteristic in a predetermined frequency band exceeds the minimum characteristic level as a threshold value.
Abstract translation: 提供了一种检查装置，检查方法和检查程序，用于通过简单的方法精确地检查具有可移动部分的微小结构。 输入测试声波，分析响应于测试声波的输入的传感器输出电压幅度的频率特性。 从估计使用条件计算设备的最大频率和最小频率，并且判断是否可以检测到频带中的期望特性。 更具体地，根据预定频带中的响应特性是否超过最小特征电平作为阈值，判断装置是好还是坏。
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公开(公告)号：KR100771458B1
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：KR1020057014663
申请日：2004-02-10
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01C9/06 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
Abstract: 본 발명은 경사도 센서(10)는 소정 물품의 기본 자세로부터의 경사 변위를 검출하는 경사도 센서에 있어서, 경사 변위를 검출하는 1축 또는 교차하는 2축의 검출축을 포함하는 검출면을 갖는 센서 칩을 구비하는 것을 목적으로 한다. 상기 센서 칩의 상기 검출면과 직교하는 축이 상기 기본 자세시의 상기 물품의 기준면과 평행하게 되도록 배치된다. 그리고 상기 센서 칩은 상기 기준면의 경사 변위에 따른 출력 신호를 얻는다.
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公开(公告)号：KR100637979B1
公开(公告)日：2006-10-23
申请号：KR1020047003332
申请日：2002-09-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 호쿠토 덴시 고교 가부시키가이샤
IPC: G01R27/26
CPC classification number: G01D5/24 , G01N27/22 , G01R27/2605
Abstract: An electrostatic capacitance detection circuit 10 comprises an AC voltage generator 11, an operational amplifier 14 of which non-inverting input terminal is connected to specific potential (a ground in this example), an impedance converter 16, a resistance (R1) 12 connected between the AC voltage generator 11 and an inverting input terminal of the operational amplifier 14, a resistance (R2) 13 connected between the inverting input terminal of the operational amplifier 14 and an output terminal of the impedance converter 16, and an impedance element (a capacitor) 15 connected between an output terminal of the operational amplifier 14 and an input terminal of the impedance converter 16. A capacitor to be detected 17 is connected between the input terminal of the impedance converter 16 and the specific potential.
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公开(公告)号：KR101019080B1
公开(公告)日：2011-03-07
申请号：KR1020087020119
申请日：2007-04-12
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01P21/00 , B81C99/005 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842 , G01R31/2829
Abstract: 다방향의 자유도를 갖는 미소 구조체에 대하여, 가동부에 직접 접촉하지 않고 각 자유도 방향의 특성의 동적 시험을 실시할 수 있는 검사 장치를 제공한다. 기판(8) 상에 형성된 가동부(16a)를 갖는 적어도 1 개의 미소 구조체(16)의 특성을 평가하는 미소 구조체의 검사 장치로서, 상기 미소 구조체(16)의 전기 신호를 취출하기 위하여, 미소 구조체(16)에 형성된 패드(8a)에 전기적으로 접속하는 프로브(4a)와, 미소 구조체(16)의 가동부(16a)의 근방에 배치되어, 기체를 분출 또는 흡입하는 복수의 노즐(10)과, 상기 복수의 노즐(10)로부터 분출 또는 흡입되는 기체의 유량을 제어하는 노즐 유량 제어부(3)와, 노즐(10)로부터 분출 또는 흡입되는 기체에 의해 인가된 가동부(16a)의 변위를, 프로브(4a)를 거쳐 얻어지는 전기 신호에 의해 검출하고, 검출 결과에 기초하여 미소 구조체(16)의 특성을 평가하는 평가 수단을 구비한다.
검사장치, 프로브, 노즐-
Patent Agency Ranking6.发明公开플라즈마 이상 방전 진단 방법, 플라즈마 이상 방전 진단 시스템 및, 컴퓨터 프로그램이 수록된 컴퓨터 판독가능 기록매체 有权等离子体异常放电诊断方法，等离子体异常放电诊断系统和计算机程序
公开(公告)号：KR1020090056936A
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：KR1020087031948
申请日：2007-07-02
Applicant: 더 리츠메이칸 트러스트 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H05H1/00 , H01L21/3065 , H01L21/00
CPC classification number: H05H1/0006 , H01J37/32935 , H01J2237/0206
Abstract: A plasma abnormal discharge diagnosis system includes: a data acquisition unit (21) for acquiring time series data fluctuating depending on a plasma state; a translation error calculation unit (24) for calculating a deterministic value serving as an index indicating whether the time series data in the plasma is deterministic or probabilistic according to the time series data acquired by the data acquisition unit (21); an abnormal discharge judging unit (26) for judging that the plasma is in an abnormal discharge state when the value indicating the deterministic feature calculated by a determinism deriving means is not greater than a predetermined threshold value. The deterministic value may be, for example, a translation error or permutation entropy. When the permutation entropy is used as a value indicating the deterministic feature, a permutation entropy calculation unit is provided.
Abstract translation: 等离子体异常放电诊断系统包括：数据获取单元，用于获取根据等离子体状态波动的时间序列数据; 用于根据由数据获取单元（21）获取的时间序列数据计算用作表示等离子体中的时间序列数据是确定性或概率的指标的确定性值的平移误差计算单元（24）; 当由确定性导出装置计算的表示确定性特征的值不大于预定阈值时，判断等离子体处于异常放电状态的异常放电判断单元（26）。 确定性值可以是例如平移误差或置换熵。 当排列熵用作表示确定性特征的值时，提供置换熵计算单元。
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公开(公告)号：KR100845485B1
公开(公告)日：2008-07-10
申请号：KR1020060029929
申请日：2006-03-31
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: B81C99/005
Abstract: 본 발명은 간편한 방식으로 미소한 가동부를 갖는 미소 구조체를 고정밀도로 검사하는 프로브 카드 및 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
프로브 카드(6)는 스피커(2)와, 프로브 침(4)을 고정하는 회로 기판(100)을 포함하고, 회로 기판(100)에 스피커(2)가 적재된다. 그리고, 회로 기판(100)에는 개구 영역이 설치되고, 그 위에 스피커(2)를 적재함으로써 테스트 음파가 미소 구조체의 가동부에 대하여 출력된다. 그리고, 이 테스트 음파에 따라 가동부가 움직임으로써 변화하는 전기적 특성 변화를 프로브 침(4)에 의해 검출하여 미소 구조체의 특성을 검사한다.-
8.发明公开
公开(公告)号：KR1020070108246A
公开(公告)日：2007-11-08
申请号：KR1020077021033
申请日：2006-03-02
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01P15/18 , B81B2201/0257 , B81C99/005 , G01C19/56 , G01C25/005 , G01N29/043 , G01N2291/02881 , G01N2291/0421 , G01N2291/044 , G01N2291/102 , G01N2291/2698 , G01P15/123 , G01P21/00 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
Abstract: A speaker unit (2) has a plurality of sound sources so that a sound wave is outputted from each of the sound sources. The arrival of the sound wave as a compressional wave outputted from the speaker unit (2), i.e., an air vibration moves a movable portion of a 3-axis acceleration sensor which is a minute structure of a detection chip TP. A change of the resistance value changing according to this motion is measured according to the output voltage given via a probe (4). A control unit (20) judges the characteristic of the 3-axis acceleration sensor according to the measured characteristic value, i.e., the measurement data. Moreover, an interval between a plurality of sound sources is set to a predetermined value according to a distance difference to the 3-axis acceleration sensor and a wavelength of the test sound wave, so that a test sound wave as a synthesized wave is applied to the movable portion so as to maximize a synthesized sound field of the synthesized sound wave.
Abstract translation: 扬声器单元（2）具有多个声源，从而从每个声源输出声波。 作为从扬声器单元（2）输出的压缩波的声波的到来，即空气振动使作为检测芯片TP的微小结构的3轴加速度传感器的可动部移动。 根据该运动而改变的电阻值的变化根据通过探针（4）给出的输出电压来测量。 控制单元（20）根据所测量的特性值即测量数据判断3轴加速度传感器的特性。 此外，根据与3轴加速度传感器的距离差和测试声波的波长，将多个声源之间的间隔设定为预定值，从而将作为合成波的测试声波应用于 可动部，使合成声波的合成声场最大化。
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公开(公告)号：KR1020040040456A
公开(公告)日：2004-05-12
申请号：KR1020047003332
申请日：2002-09-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 호쿠토 덴시 고교 가부시키가이샤
IPC: G01R27/26
CPC classification number: G01D5/24 , G01N27/22 , G01R27/2605
Abstract: 교류 전압 발생기(11)와, 비반전 입력 단자가 소정의 전위(본 예에서는, 접지)에 접속된 연산 증폭기(14)와, 임피던스 변환기(16)와, 교류 전압 발생기(11)와 연산 증폭기(14)의 반전 입력 단자 사이에 접속되는 저항(R1)(12)과, 연산 증폭기(14)의 반전 입력 단자와 임피던스 변환기(16)의 출력 단자 사이에 접속되는 저항(R2)(13)과, 연산 증폭기(14)의 출력 단자와 임피던스 변환기(16)의 입력 단자 사이에 접속되는 임피던스 소자(콘덴서)(15)를 구비하는 정전 용량 검출 회로(10)로서, 피검출 콘덴서(17)는 임피던스 변환기(16)의 입력 단자와 소정의 전위 사이에 접속되어 있다.
Abstract translation: 静电电容检测电路10包括交流电压发生器11，其非反相输入端子连接到特定电位（在该示例中为地）的运算放大器14，阻抗转换器16，连接在其间的电阻（R1）12 交流电压发生器11和运算放大器14的反相输入端，连接在运算放大器14的反相输入端和阻抗变换器16的输出端之间的电阻（R2）13，以及阻抗元件（电容器 ）15连接在运算放大器14的输出端和阻抗变换器16的输入端之间。待检测电容器17连接在阻抗变换器16的输入端和特定电位之间。 ＆lt;图像＆GT;
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公开(公告)号：KR1020080017430A
公开(公告)日：2008-02-26
申请号：KR1020087000061
申请日：2006-07-05
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 이케우치나오키
Abstract: A sensor main body (1) is coupled to a plate-shaped diaphragm (2) which oscillates with acoustic waves, and has a plurality of resonance beams (5) which resonate with specific frequencies, respectively. The sensor main body is supported by a supporting section (11), and a cap (12) is provided on the sensor main body (1) for acoustically separating one plane of the diaphragm (2) from the other plane. Thus, a differential pressure between an acoustic pressure applied on the one plane of the diaphragm (2) and that applied on the other plane is increased, and sensitivity is improved.
Abstract translation: 传感器主体（1）耦合到用声波振荡的板状隔膜（2），并且具有分别与特定频率共振的多个谐振波束（5）。 传感器主体由支撑部分（11）支撑，并且在传感器主体（1）上设置有用于将隔膜（2）的一个平面与另一个平面隔离的帽（12）。 因此，施加在隔膜（2）的一个平面上的声压与施加在另一平面上的声压之间的压差增加，并且灵敏度得到改善。
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