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公开(公告)号：KR100819212B1
公开(公告)日：2008-04-03
申请号：KR1020067017917
申请日：2006-03-20
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시끼가이샤 오크테크
Abstract: 상부 기판(15)의 하면의 절연막(14)에 제1 배선층(16)을 설치하고, 제1 배선층(16)에 입체적으로 교차하는 제2 배선층(13)을 하부 기판(11) 상의 절연막(12) 상에 설치하여, 제1 배선층(16)에 캔틸레버(17)의 일단을 접속하고, 캔틸레버(17)의 타단을 제2 배선층(13)에 간격을 두고서 대면시킨다. 상부 기판(15) 상에는 관통 구멍(18)을 덮도록 열가소성 시트(19)를 배치하고, 열가소성 시트(19)를 가열한 핀(20)으로 캔틸레버(17)에 압박함으로써 변형시켜 캔틸레버(17)의 제2 배선층(13)에의 접속 상태를 유지하게 하여 스위치(10)를 닫는다.
스위치 어레이, 변형 부재, 이방성 도전성 시트-
公开(公告)号：KR100738692B1
公开(公告)日：2007-07-12
申请号：KR1020047003365
申请日：2002-09-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 야카베마사미
IPC: G01R27/26
Abstract: 본 발명의 전위 고정 장치는, 제 1 용량(14)과, 제 1 용량에 직접적으로 접속되는 제 2 용량(15)의 두 용량 사이의 접속선(17)에 접속되는 전위 고정 장치로서, 제 1 고 저항(3)과, 제 1 고 저항에 직접적으로 접속되는 제 2 고 저항(4)과, 제 1 고 저항과 제 2 고 저항에 따라서 분압된 전위를 출력 단자에 출력하는 전압 분압 수단과, 적어도 제 1 고 저항 또는 제 2 고 저항 중 어느 한 쪽에 병렬로 접속된 제 3 용량(8)과, 제 1 용량과 제 2 용량의 합계 총 전하량을 유지하면서, 두 용량(14),(15) 사이의 접속선의 전위를 일정하게 유지하는 전압 공급 수단(1)을 구비하고, 전압 공급 수단의 출력 단자는 두 용량 사이의 신호선에 접속되어 있다.
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公开(公告)号：KR1020070029140A
公开(公告)日：2007-03-13
申请号：KR1020067018071
申请日：2005-10-31
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G01R1/067
CPC classification number: G01R1/06727 , G01R1/07342
Abstract: A probe, wherein a beam part (3) is cantilevered by a support part (2) at a specified interval relative to a probe substrate (1), and a contactor (4) extending in a direction apart from the probe substrate (1) is fitted to the beam part (3). A projection (5) extending toward the probe substrate (1) is formed on the beam part (3). Since the projection (5) is brought into contact with the probe substrate (1) when a load is applied to the probe substrate (1), a stress applied to the beam part (3) can be dispersed. ® KIPO & WIPO 2007
Abstract translation: 一种探针，其中梁部分（3）相对于探针基板（1）以指定的间隔被支撑部分（2）悬臂，以及沿与探针基板（1）相离的方向延伸的接触器（4） 装配到梁部分（3）上。 在梁部（3）上形成有朝向探针基板（1）延伸的突起（5）。 由于当向探针基板（1）施加负载时，由于使突起（5）与探针基板（1）接触，所以能够分散施加到梁部（3）的应力。 ®KIPO＆WIPO 2007
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公开(公告)号：KR1020060114017A
公开(公告)日：2006-11-03
申请号：KR1020067016697
申请日：2005-02-14
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 호시덴 가부시기가이샤
CPC classification number: H04R19/005 , H04R19/04 , G01L9/12
Abstract: A capacity detection type sensor element (10) includes a rectangular diaphragm (11) and a flat rear electrode (12) which are arranged to oppose each other. The capacity detection type sensor element (10) further includes fixed portions (14) each arranged to be adjacent to a side of the diaphragm (11) and having a side of a predetermined length at the side adjacent to the diaphragm (11). The rear electrode (12) is supported by the fixed portions (14) so as to form a space (13) between the rear electrode (12) and the diaphragm (11). The rear electrode (12) is an octagon as a whole having straight lines between adjacent fixed portions not supported by the fixed portions (14).
Abstract translation: 容量检测型传感器元件（10）包括彼此相对布置的矩形膜片（11）和平坦的后部电极（12）。 容量检测型传感器元件（10）还包括固定部分（14），每个固定部分（14）被布置成邻近隔膜（11）并具有与隔膜（11）相邻的一侧具有预定长度的一侧。 后电极（12）由固定部分（14）支撑，以在后电极（12）和隔膜（11）之间形成空间（13）。 后电极（12）整体上是在固定部分（14）不支撑的相邻固定部分之间具有直线的整体。
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公开(公告)号：KR1020050071602A
公开(公告)日：2005-07-07
申请号：KR1020057006863
申请日：2002-10-22
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 호쿠토 덴시 고교 가부시키가이샤
IPC: G01R27/26
Abstract: An electric potential fixing apparatus is provided that can prevent the combined total amount of electricity of a connection line between the first capacitance and the second capacitance from changing even when the electric potential of the connection line between the first capacitance and the second capacitance is fixed in the case where the first capacitance and the second capacitance are directly connected. This electric potential fixing apparatus has the first high resistance (3) and the second high resistance (4) and includes a voltage supply circuit (1) that preserves the combined total amount of electric charge of a measuring capacitance (14) and a fixed capacitance (15) and maintains constant the electric potential of a signal line (17) that connects the measuring capacitance (14) and the fixed capacitance (15). And an output terminal (5) of the voltage supply circuit (1) is connected to the signal line (17).
Abstract translation: 提供一种电位定影装置，即使当第一电容和第二电容之间的连接线的电位固定时，也可以防止第一电容和第二电容之间的连接线的总电量的总和变化 第一电容和第二电容直接连接的情况。 该电位定影装置具有第一高电阻（3）和第二高电阻（4），并且包括电压供给电路（1），其保持测量电容（14）的电荷的总和量和固定电容 （15）并且保持连接测量电容（14）和固定电容（15）的信号线（17）的电位恒定。 并且电压供给电路（1）的输出端子（5）连接到信号线（17）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020080031346A
公开(公告)日：2008-04-08
申请号：KR1020087002357
申请日：2006-08-02
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G01P21/00 , H01L21/027
CPC classification number: G01P15/123 , B81B2201/0257 , B81C99/005 , G01P15/18 , G01P2015/0842 , G01N29/346 , G01N29/42
Abstract: There are provided an inspection device, an inspection method, and an inspection program for accurately inspecting a minute structure having a movable portion by using a simple method. A test sound wave is inputted and frequency characteristic of a sensor output voltage amplitude responding to the input of the test sound wave is analyzed. The maximum frequency and the minimum frequency of the device is calculated from estimated use conditions and it is judged whether it is possible to detect a desired characteristic in the frequency band. More specifically, the device is judged to be good or bad depending whether the response characteristic in a predetermined frequency band exceeds the minimum characteristic level as a threshold value.
Abstract translation: 提供了一种检查装置，检查方法和检查程序，用于通过简单的方法精确地检查具有可移动部分的微小结构。 输入测试声波，分析响应于测试声波的输入的传感器输出电压幅度的频率特性。 从估计使用条件计算设备的最大频率和最小频率，并且判断是否可以检测到频带中的期望特性。 更具体地，根据预定频带中的响应特性是否超过最小特征电平作为阈值，判断装置是好还是坏。
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公开(公告)号：KR1020080021161A
公开(公告)日：2008-03-06
申请号：KR1020087003018
申请日：2005-07-05
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L23/12
CPC classification number: H01L21/486 , H01L21/76898 , H01L23/147 , H01L23/481 , H01L23/49827 , H01L23/552 , H01L2223/6622 , H01L2924/0002 , H05K1/0222 , H05K1/0306 , H05K3/423 , H05K2201/09809 , H05K2203/0733 , Y10T29/49165 , H01L2924/00
Abstract: A through substrate which comprises a silicon substrate (10) having a through hole (19) penetrating a front surface (11) and a back surface (12), a oxidized silicon film (13) being provided along the inner wall surface of the through hole (19), layers (14, 15) comprising Zn and Cu, respectively, being formed on the inner wall surface of the oxidized silicon film (13), and a Cu plating layer (18) which has been grown from a Cu seed layer (17) along the inner wall surface of layers (14, 15) comprising Zn and Cu, respectively, via an insulating layer (16) between them. The above through substrate can provide a through electrode capable of avoiding the noise due to the cross talk. ® KIPO & WIPO 2008
Abstract translation: 一种贯穿基板，包括具有贯通前表面（11）和后表面（12）的通孔（19）的硅基板（10），沿着贯通孔的内壁表面设置的氧化硅膜（13） 分别形成在氧化硅膜（13）的内壁面上的包含Zn和Cu的层（14,15），以及从Cu种子生长的Cu镀层（18） 层（17）分别经由它们之间的绝缘层（16）沿着包括Zn和Cu的层（14,15）的内壁表面。 上述通过基板可以提供能够避免由于串扰引起的噪声的通孔电极。 ®KIPO＆WIPO 2008
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公开(公告)号：KR100788779B1
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：KR1020067002917
申请日：2005-02-28
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/78 , H01L21/301 , H01L21/82
CPC classification number: B81C1/00896 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 기판(51)은 다이싱 라인에 따르는 4개의 변을 갖는 직사각 형상으로 형성되어 있고, 액츄에이터 소자(50)와 입출력용 전극 패드(54, 55)의 주위 전체를 둘러싸도록 돌출부(56)가 형성되어 있다. 돌출부(56)는 4개의 변을 갖는 직사각 형상으로서, 각각의 변이 기판(51)의 각 변에 대하여 평행하게 연속적으로 연장되어 있다. 돌출부(56)에 의해 보호 테이프(9)의 밀착성을 향상시킬 수 있기 때문에, 다이싱할 때에 생기는 이물(104)이 액츄에이터 소자(50)나 전극 패드(54, 55)에 부착되는 것을 저지할 수 있다.
액츄에이터 소자, 전극 패드Abstract translation: 基板51形成为沿切割线具有四条边的矩形形状，并且形成突起56以围绕致动器元件50和输入/输出电极焊盘54和55的整个圆周 有。 突出部56具有四边形的矩形形状，并且各边与基板51的各边平行地连续。 通过突起56能够提高保护带9的密合性，并且能够防止在切割时产生的异物104附着于致动器元件50和电极垫54,55 有。
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公开(公告)号：KR100699627B1
公开(公告)日：2007-03-23
申请号：KR1020057006863
申请日：2002-10-22
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 호쿠토 덴시 고교 가부시키가이샤
IPC: G01R27/26
Abstract: 제 1 용량과 제 2 용량이 직접적으로 접속되는 경우에 제 1 용량과 제 2 용량 사이의 접속선의 전위를 고정한 경우에도, 제 1 용량과 제 2 용량 사이의 접속선의 합계 총전하량이 변화되는 것을 방지하는 것이 가능한 전위 고정 장치를 제공한다.
이 전위 고정 장치는 제 1 고저항(3) 및 제 2 고저항(4)을 갖고, 또한, 피측정 용량(14)과 고정 용량(15)과의 합계 총전하량을 유지하면서, 피측정 용량(14)과 고정 용량(15)을 접속하는 신호선(17)에서의 전위를 일정하게 유지하는 전압 공급 회로(1)를 구비하고 있다. 그리고, 전압 공급 회로(1)의 출력 단자(5)는 신호선(17)에 접속되어 있다.-
公开(公告)号：KR100637979B1
公开(公告)日：2006-10-23
申请号：KR1020047003332
申请日：2002-09-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 호쿠토 덴시 고교 가부시키가이샤
IPC: G01R27/26
CPC classification number: G01D5/24 , G01N27/22 , G01R27/2605
Abstract: An electrostatic capacitance detection circuit 10 comprises an AC voltage generator 11, an operational amplifier 14 of which non-inverting input terminal is connected to specific potential (a ground in this example), an impedance converter 16, a resistance (R1) 12 connected between the AC voltage generator 11 and an inverting input terminal of the operational amplifier 14, a resistance (R2) 13 connected between the inverting input terminal of the operational amplifier 14 and an output terminal of the impedance converter 16, and an impedance element (a capacitor) 15 connected between an output terminal of the operational amplifier 14 and an input terminal of the impedance converter 16. A capacitor to be detected 17 is connected between the input terminal of the impedance converter 16 and the specific potential.
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