公开(公告)号：KR100856450B1

公开(公告)日：2008-09-04

申请号：KR1020067026039

申请日：2005-07-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야카베마사미 ,  카가와겐이치 ,  호시노도모히사

IPC: H01L21/3205

Abstract: 본 발명은 관통 기판은 표면(11)과 이면(12)을 관통하는 관통 구멍(19)을 갖는 실리콘 기판(10)과, 관통 구멍(19)의 내벽면을 따라 설치된 실리콘 산화막(13)과, 실리콘 산화막(13)의 내벽면에 형성된 Zn 및 Cu의 층(14, 15)과, Zn 및 Cu의 층(14, 15)의 내벽면을 따라, 사이에 절연층(16)을 통해, Cu의 시드 층(17)으로부터 성장된 Cu의 도금층(18)을 갖는 것을 목적으로 한다. 그 결과 크로스토크에 의해 노이즈를 배제할 수 있는 관통 전극을 제공할 수 있다.

公开(公告)号：KR100903842B1

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：KR1020077008447

申请日：2005-10-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 호시노도모히사 ,  야마니시요시키 ,  하시모토히로유키

IPC: G01R1/067 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R1/06733 ,  G01R1/07342 ,  G01R3/00

Abstract: 프로브 니들(20)은 캔틸레버(21)와, 기둥 형상부(22)와, 꼭대기부(23)를 포함하고, 기둥 형상부(22)는 캔틸레버(21)의 일단에, 외팔보식으로 지지되도록 형성되어 있고, 기둥 형상부(22)의 선단에 꼭대기부(23)가 형성되어 있다. 기둥 형상부(22)의 높이가 꼭대기부(23)의 높이보다도 높게 형성되며, 기둥 형상부(22)와 꼭대기부(23)의 높이가 폭에 비해 2배 이상이 되도록 선택되고 있다.

公开(公告)号：KR1020080021161A

公开(公告)日：2008-03-06

申请号：KR1020087003018

申请日：2005-07-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야카베마사미 ,  카가와겐이치 ,  호시노도모히사

IPC: H01L23/12

CPC classification number: H01L21/486 ,  H01L21/76898 ,  H01L23/147 ,  H01L23/481 ,  H01L23/49827 ,  H01L23/552 ,  H01L2223/6622 ,  H01L2924/0002 ,  H05K1/0222 ,  H05K1/0306 ,  H05K3/423 ,  H05K2201/09809 ,  H05K2203/0733 ,  Y10T29/49165 ,  H01L2924/00

Abstract: A through substrate which comprises a silicon substrate (10) having a through hole (19) penetrating a front surface (11) and a back surface (12), a oxidized silicon film (13) being provided along the inner wall surface of the through hole (19), layers (14, 15) comprising Zn and Cu, respectively, being formed on the inner wall surface of the oxidized silicon film (13), and a Cu plating layer (18) which has been grown from a Cu seed layer (17) along the inner wall surface of layers (14, 15) comprising Zn and Cu, respectively, via an insulating layer (16) between them. The above through substrate can provide a through electrode capable of avoiding the noise due to the cross talk. ® KIPO & WIPO 2008

Abstract translation: 一种贯穿基板，包括具有贯通前表面（11）和后表面（12）的通孔（19）的硅基板（10），沿着贯通孔的内壁表面设置的氧化硅膜（13） 分别形成在氧化硅膜（13）的内壁面上的包含Zn和Cu的层（14,15），以及从Cu种子生长的Cu镀层（18） 层（17）分别经由它们之间的绝缘层（16）沿着包括Zn和Cu的层（14,15）的内壁表面。 上述通过基板可以提供能够避免由于串扰引起的噪声的通孔电极。 ®KIPO＆WIPO 2008

公开(公告)号：KR1020070087058A

公开(公告)日：2007-08-27

申请号：KR1020077016041

申请日：2006-01-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고지마야스히코 ,  호시노도모히사

IPC: C23C16/448

CPC classification number: C23C16/4482 ,  C23C16/18

Abstract: There is provided vaporizer (6) capable of vaporizing a liquid raw material fed under pressure in a vacuum atmosphere to thereby generate a raw gas and discharging the raw gas together with a carrier gas, comprising liquid reservoir compartment (70) for temporarily storing of a liquid raw material fed under pressure; vaporization compartment (62) communicating via valve port (66) with the liquid reservoir compartment; valve disc (72) adapted to sit on a valve seat from the side of liquid reservoir compartment for partitioning of the valve port; actuator (81) for driving of the valve disc; carrier gas injection orifice (92) disposed at a position of the valve disc facing the valve port; and vent (28) for discharging of the raw gas from the vaporization compartment. By specified arrangement of the carrier gas injection orifice, there can be prevented any remaining of unvaporized liquid raw material understream of the valve port of the vaporizer.

Abstract translation: 本发明提供一种蒸发器（6），其能够在真空气氛中蒸发在压力下供给的液体原料，从而产生原料气体，并将原料气体与载气一起排出，该载体气体包括用于暂时存储 液体原料在压力下进料; 通过阀口（66）与储液室连通的蒸发室（62）; 阀盘（72），其适于从液体储存室侧面坐在阀座上，用于分隔阀口; 用于驱动阀盘的致动器（81） 载气喷射孔（92），其设置在所述阀盘的面向所述阀口的位置; 以及用于从蒸发室排出原料气体的排气口（28）。 通过载气喷射孔的指定布置，可以防止蒸发器的阀口的未蒸发的液体原料流出物的任何残留。

公开(公告)号：KR1020070050991A

公开(公告)日：2007-05-16

申请号：KR1020077008447

申请日：2005-10-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 호시노도모히사 ,  야마니시요시키 ,  하시모토히로유키

IPC: G01R1/067 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R1/06733 ,  G01R1/07342 ,  G01R3/00

Abstract: 프로브 니들(20)은 캔틸레버(21)와, 기둥 형상부(22)와, 꼭대기부(23)를 포함하고, 기둥 형상부(22)는 캔틸레버(21)의 일단에, 외팔보식으로 지지되도록 형성되어 있고, 기둥 형상부(22)의 선단에 꼭대기부(23)가 형성되어 있다. 기둥 형상부(22)의 높이가 꼭대기부(23)의 높이보다도 높게 형성되며, 기둥 형상부(22)와 꼭대기부(23)의 높이가 폭에 비해 2배 이상이 되도록 선택되고 있다.

公开(公告)号：KR100908145B1

公开(公告)日：2009-07-16

申请号：KR1020077016041

申请日：2006-01-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고지마야스히코 ,  호시노도모히사

IPC: C23C16/448

CPC classification number: C23C16/4482 ,  C23C16/18

Abstract: 본 발명은 압송되어 오는 액체 원료를 감압 분위기 중에서 기화시켜서 원료 가스를 발생시켜, 이 원료 가스를 캐리어 가스와 함께 내보내는 기화 장치에 있어서,
압송되어 오는 액체 원료를 일시적으로 저류하는 액체 저장실과,
상기 액체 저장실에 밸브구를 거쳐서 연통하는 기화실과,
상기 밸브구를 구획하는 밸브시트에 상기 액체 저장실의 측에서 착석하는 밸브체와,
상기 밸브체를 구동하는 액츄에이터와,
상기 밸브구를 향하는 상기 밸브체의 위치에 마련된 캐리어 가스 분사구와,
상기 기화실 내의 원료 가스를 배출하는 배출구,
를 구비한 것을 특징으로 하는 기화 장치이다. 캐리어 가스 분사구의 특정한 배치에 근거하여, 기화 장치의 밸브구보다 하류측에 미기화 액체 원료가 잔류하는 것이 방지된다.

Abstract translation: 汽化器在减压的气氛中汽化强制供给的液体源材料以产生源气体并将源气体与载气一起排出。 蒸发器包括用于暂时储存强制供给的液体源材料的液体储存室; 以及经由阀口与储液室连通的汽化室。 此外，蒸发器包括适于放置在围绕液体储存室的阀口的阀座上的阀体; 致动器，用于驱动阀体; 形成在所述阀体的面对所述阀口的一侧的载气注入孔; 以及用于从蒸发室排出源气体的排出口。 通过载体气体注入孔的特定布置，防止液体源材料在阀端口的下游侧保持未汽化。

公开(公告)号：KR100888841B1

公开(公告)日：2009-03-17

申请号：KR1020087016587

申请日：2005-08-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 호시노도모히사 ,  하시모토히로유키 ,  하라다무네오

IPC: G01R1/067 ,  G01R1/073

CPC classification number: G01R1/06716 ,  G01R1/06727 ,  Y10T29/49002

Abstract: 프로브 침은, 일단이 고정된 한 쌍의 꼬불꼬불한 형상의 빔과, 한 쌍의 꼬불꼬불한 형상의 빔의 타단에 설치되어, 한 쌍의 꼬불꼬불한 형상의 빔을 접속하기 위한 접속부를 포함하고, 접속부의 빔의 반대측에는 피검사물에 접촉하는 콘택터가 설치되어 있다. 한 쌍의 꼬불꼬불한 형상의 빔은 절곡의 주기가 같고, 절곡의 위상의 어긋남은 180˚이다.

Abstract translation: 用于制造具有光束的探针的方法和放置在光束的尖端上的接触器包括准备Si晶片20，在Si晶片20上形成晶种层21，并且在晶种层上形成所需光束形状的凹槽 接着，用金属镀层24a，24b填充凹槽以形成所需的光束形状。

公开(公告)号：KR1020070029140A

公开(公告)日：2007-03-13

申请号：KR1020067018071

申请日：2005-10-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야카베마사미 ,  호시노도모히사 ,  이케우치나오키

IPC: G01R1/067

CPC classification number: G01R1/06727 ,  G01R1/07342

Abstract: A probe, wherein a beam part (3) is cantilevered by a support part (2) at a specified interval relative to a probe substrate (1), and a contactor (4) extending in a direction apart from the probe substrate (1) is fitted to the beam part (3). A projection (5) extending toward the probe substrate (1) is formed on the beam part (3). Since the projection (5) is brought into contact with the probe substrate (1) when a load is applied to the probe substrate (1), a stress applied to the beam part (3) can be dispersed. ® KIPO & WIPO 2007

Abstract translation: 一种探针，其中梁部分（3）相对于探针基板（1）以指定的间隔被支撑部分（2）悬臂，以及沿与探针基板（1）相离的方向延伸的接触器（4） 装配到梁部分（3）上。 在梁部（3）上形成有朝向探针基板（1）延伸的突起（5）。 由于当向探针基板（1）施加负载时，由于使突起（5）与探针基板（1）接触，所以能够分散施加到梁部（3）的应力。 ®KIPO＆WIPO 2007

公开(公告)号：KR100580008B1

公开(公告)日：2006-05-12

申请号：KR1020010070037

申请日：2001-11-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  에사시마사요시

Inventor： 에사시마사요시 ,  이이노신지 ,  호시노도모히사

IPC: G01R1/073

CPC classification number: G01R1/07371

Abstract: 콘택터 기판, 콘택터 기판을 관통하여 마련된 복수의 도전 부재, 복수의 빔(梁) 부재, 각 빔 부재의 선단부에 마련된 접촉 단자 부재를 구비하는, 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위해서 사용되는 콘택터가 개시되어 있다. 이 콘택터에 있어서, 각 빔 부재는 그 양단에 선단부와 기단부를 갖고, 그 선단부와 기단부의 사이에서 계단 형상 또는 아치 형상의 구조이고, 각 빔 부재의 기단부는 각 도전 부재에 접속되어 있다. 접촉 단자 부재는 해당 빔 부재의 도전성층과 일체로 형성될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020020037276A

公开(公告)日：2002-05-18

申请号：KR1020010070037

申请日：2001-11-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  에사시마사요시

Inventor： 에사시마사요시 ,  이이노신지 ,  호시노도모히사

IPC: G01R1/073

CPC classification number: G01R1/07371

Abstract: PURPOSE: To solve the problem that, when tip contact terminals, beam parts and posts are formed in respective processes so as to be transferred mutually and integrated, a defect is easy to generate in their transferred parts so as to influence a yield, and that there exist many restriction conditions under which the melting point of a brazing material used for the transferred parts must be changed properly because they are transferred in a plurality of parts. CONSTITUTION: The contactor 10 is provided with a contactor board 11, a plurality of continuity parts 12 formed on the board, a plurality of beams 13 which come into contact with the cintinuity parts 12, and a plurality of bumps 14 which are formed at tip parts of the beams 13. The contactor brings the respective bumps 14 into contact with a wafer W so as to inspect its electric characteristic. The beams 13 are separated stepwise from the contactor board 11 so as to be extended and installed along the contactor board 11. The bumps 14 and the beams 13 are formed integrally.

Abstract translation: 目的：为了解决这样一个问题，当在各个工序中形成尖端接触端子，梁部件和支柱以便相互转移和一体化时，容易在其转移部分产生缺陷，从而影响产量，并且 存在许多限制条件，在这些条件下，用于转移部件的钎焊材料的熔点必须适当地改变，因为它们被转移成多个部分。 构成：接触器10设置有接触器板11，形成在板上的多个连续性部分12，与铁素体部分12接触的多个梁13和形成在尖端的多个凸块14 梁13的部分。接触器使各个凸起14与晶片W接触，以检查其电特性。 梁13从接触器板11逐步分离，以沿着接触器板11延伸和安装。凸块14和梁13一体形成。