公开(公告)号：KR1020140029555A

公开(公告)日：2014-03-10

申请号：KR1020147004500

申请日：2011-03-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 후루쇼도시노부 ,  오오쿠보다카히로 ,  요시하라고우스케 ,  야마모토유스케 ,  호닉슈테펜

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B05D1/02 ,  B01D29/56 ,  B01D35/02 ,  B05C9/06 ,  B05C11/10 ,  F17D1/00 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  Y10T137/794 ,  H01L21/0273

Abstract: 본 발명의 약액 공급 시스템은, 약액을 저류하는 제1 용기 및 제2 용기와, 제1 용기와 제2 용기를 연결하는 제1 배관에 설치되고, 제1 용기에 저류된 약액을 제2 용기로 흘려보내는 제1 펌프와, 제1 배관에 설치되고, 제1 용기로부터 제2 용기를 향하여 제1 배관 내를 흐르는 약액을 여과하는 제1 필터와, 제1 용기와 제2 용기를 연결하는 제2 배관과, 제2 배관에 설치되고, 제2 용기에 저류된 약액을 제1 용기로 흘려보내는 제2 펌프를 구비한다.