公开(公告)号：KR101530959B1

公开(公告)日：2015-06-23

申请号：KR1020100009009

申请日：2010-02-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 타키구치야스시 ,  요시무라코키 ,  미야타유이치로 ,  야마모토유스케

IPC: H01L21/027

Abstract: 횡방향으로일렬로배치된기판보지부를구비한복수의액 처리부와, 이들액 처리부에대하여공용화된처리액노즐을구비한액 처리장치에서, 상기처리액노즐로부터기판으로처리액이낙하되는것을억제하여수율의저하를방지하는것이다. 횡방향으로일렬로배열된복수의컵체의개구부간에서처리액노즐의이동로의하방측에, 이동수단에의해이동하는처리액노즐로부터매달려있는상기처리액의액적에접촉하여이 액적을처리액노즐로부터제거하기위한액 제거부가설치되어있다. 따라서, 처리액노즐이기판에처리를행하기위하여대기부와각 액처리부를이동함에있어서처리액노즐로부터기판상으로상기액적이낙하되는것을방지할수 있다. 그결과로서수율의저하를억제할수 있다.

公开(公告)号：KR101452608B1

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：KR1020127027167

申请日：2011-03-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 후루쇼도시노부 ,  오오쿠보다카히로 ,  요시하라고우스케 ,  야마모토유스케 ,  호닉슈테펜

IPC: H01L21/027 ,  B05C11/10 ,  B01D35/26

CPC classification number: B05D1/02 ,  B01D29/56 ,  B01D35/02 ,  B05C9/06 ,  B05C11/10 ,  F17D1/00 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  Y10T137/794

Abstract: 본 발명의 약액 공급 시스템은, 약액을 저류하는 제1 용기 및 제2 용기와, 제1 용기와 제2 용기를 연결하는 제1 배관에 설치되고, 제1 용기에 저류된 약액을 제2 용기로 흘려보내는 제1 펌프와, 제1 배관에 설치되고, 제1 용기로부터 제2 용기를 향하여 제1 배관 내를 흐르는 약액을 여과하는 제1 필터와, 제1 용기와 제2 용기를 연결하는 제2 배관과, 제2 배관에 설치되고, 제2 용기에 저류된 약액을 제1 용기로 흘려보내는 제2 펌프를 구비한다.

公开(公告)号：KR1020130057984A

公开(公告)日：2013-06-03

申请号：KR1020127027167

申请日：2011-03-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 후루쇼도시노부 ,  오오쿠보다카히로 ,  요시하라고우스케 ,  야마모토유스케 ,  호닉슈테펜

IPC: H01L21/027 ,  B05C11/10 ,  B01D35/26

CPC classification number: B05D1/02 ,  B01D29/56 ,  B01D35/02 ,  B05C9/06 ,  B05C11/10 ,  F17D1/00 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  Y10T137/794 ,  B01D35/26 ,  B05C11/1002 ,  H01L21/0274

Abstract: 본 발명의 약액 공급 시스템은, 약액을 저류하는 제1 용기 및 제2 용기와, 제1 용기와 제2 용기를 연결하는 제1 배관에 설치되고, 제1 용기에 저류된 약액을 제2 용기로 흘려보내는 제1 펌프와, 제1 배관에 설치되고, 제1 용기로부터 제2 용기를 향하여 제1 배관 내를 흐르는 약액을 여과하는 제1 필터와, 제1 용기와 제2 용기를 연결하는 제2 배관과, 제2 배관에 설치되고, 제2 용기에 저류된 약액을 제1 용기로 흘려보내는 제2 펌프를 구비한다.

公开(公告)号：KR1020140029555A

公开(公告)日：2014-03-10

申请号：KR1020147004500

申请日：2011-03-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 후루쇼도시노부 ,  오오쿠보다카히로 ,  요시하라고우스케 ,  야마모토유스케 ,  호닉슈테펜

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B05D1/02 ,  B01D29/56 ,  B01D35/02 ,  B05C9/06 ,  B05C11/10 ,  F17D1/00 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  Y10T137/794 ,  H01L21/0273

Abstract: 본 발명의 약액 공급 시스템은, 약액을 저류하는 제1 용기 및 제2 용기와, 제1 용기와 제2 용기를 연결하는 제1 배관에 설치되고, 제1 용기에 저류된 약액을 제2 용기로 흘려보내는 제1 펌프와, 제1 배관에 설치되고, 제1 용기로부터 제2 용기를 향하여 제1 배관 내를 흐르는 약액을 여과하는 제1 필터와, 제1 용기와 제2 용기를 연결하는 제2 배관과, 제2 배관에 설치되고, 제2 용기에 저류된 약액을 제1 용기로 흘려보내는 제2 펌프를 구비한다.

公开(公告)号：KR101542704B1

公开(公告)日：2015-08-06

申请号：KR1020147004500

申请日：2011-03-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 후루쇼도시노부 ,  오오쿠보다카히로 ,  요시하라고우스케 ,  야마모토유스케 ,  호닉슈테펜

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B05D1/02 ,  B01D29/56 ,  B01D35/02 ,  B05C9/06 ,  B05C11/10 ,  F17D1/00 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  Y10T137/794

Abstract: 본발명의약액공급시스템은, 약액을저류하는제1 용기및 제2 용기와, 제1 용기와제2 용기를연결하는제1 배관에설치되고, 제1 용기에저류된약액을제2 용기로흘려보내는제1 펌프와, 제1 배관에설치되고, 제1 용기로부터제2 용기를향하여제1 배관내를흐르는약액을여과하는제1 필터와, 제1 용기와제2 용기를연결하는제2 배관과, 제2 배관에설치되고, 제2 용기에저류된약액을제1 용기로흘려보내는제2 펌프를구비한다.

公开(公告)号：KR1020100092881A

公开(公告)日：2010-08-23

申请号：KR1020100009009

申请日：2010-02-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 타키구치야스시 ,  요시무라코키 ,  미야타유이치로 ,  야마모토유스케

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/3021 ,  G03F7/3057 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70933 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715

Abstract: 횡방향으로일렬로배치된기판보지부를구비한복수의액 처리부와, 이들액 처리부에대하여공용화된처리액노즐을구비한액 처리장치에서, 상기처리액노즐로부터기판으로처리액이낙하되는것을억제하여수율의저하를방지하는것이다. 횡방향으로일렬로배열된복수의컵체의개구부간에서처리액노즐의이동로의하방측에, 이동수단에의해이동하는처리액노즐로부터매달려있는상기처리액의액적에접촉하여이 액적을처리액노즐로부터제거하기위한액 제거부가설치되어있다. 따라서, 처리액노즐이기판에처리를행하기위하여대기부와각 액처리부를이동함에있어서처리액노즐로부터기판상으로상기액적이낙하되는것을방지할수 있다. 그결과로서수율의저하를억제할수 있다.

Abstract translation: 目的：提供一种用于处理液体的装置和方法以及存储介质，以通过防止来自处理液喷嘴的基板上的液滴来抑制产量的劣化。 构成：显影处理单元（21a-21c）排列成一列，并包括通过吸收水平地保持基板的后中心的旋转卡盘（22a）。 旋转卡盘通过插入旋转轴线（23a）与旋转驱动单元（24a）接触。 工艺液喷嘴（4a-4c）被供给到基板，并且包括用于向下排放处理液的出口。 处理液喷嘴被接收在备用单元中。