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公开(公告)号：KR101760528B1
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：KR1020120122979
申请日：2012-11-01
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0022 , G03F7/16 , Y10T137/794
Abstract: 간이한처리액공급장치를이용하여처리액내의이물을저감하여, 기판의결함을저감한다. 레지스트액공급장치(100)는, 레지스트액을저류하는레지스트액공급원(101)과, 레지스트액공급원(101)으로부터도포노즐(32)에레지스트액을공급하는공급관(102)과, 공급관(102)에설치되며, 레지스트액을일단저류시키는리퀴드엔드탱크(103)와, 공급관(102)에설치되며, 레지스트액을유통시키는펌프(104)와, 공급관(102)에설치되며, 레지스트액내의이물을포집하여이탈시키지않는필터(105)와, 공급관(102)에설치되며, 레지스트액의유통을차단하는트랩(106)과, 공급관(102)에설치된밸브(107)와, 공급관(102) 내를유통하는레지스트액을필터(105)에적어도 1회왕복통과시켜, 그레지스트액을도포노즐(32)에공급하도록펌프(104)를제어하는제어부(200)를가지고있다.
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公开(公告)号：KR101542704B1
公开(公告)日：2015-08-06
申请号：KR1020147004500
申请日：2011-03-16
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/027
CPC classification number: B05D1/02 , B01D29/56 , B01D35/02 , B05C9/06 , B05C11/10 , F17D1/00 , H01L21/67017 , H01L21/6715 , H01L21/67173 , H01L21/67178 , Y10T137/794
Abstract: 본발명의약액공급시스템은, 약액을저류하는제1 용기및 제2 용기와, 제1 용기와제2 용기를연결하는제1 배관에설치되고, 제1 용기에저류된약액을제2 용기로흘려보내는제1 펌프와, 제1 배관에설치되고, 제1 용기로부터제2 용기를향하여제1 배관내를흐르는약액을여과하는제1 필터와, 제1 용기와제2 용기를연결하는제2 배관과, 제2 배관에설치되고, 제2 용기에저류된약액을제1 용기로흘려보내는제2 펌프를구비한다.
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公开(公告)号：KR1020140080469A
公开(公告)日：2014-06-30
申请号：KR1020140064224
申请日：2014-05-28
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/302 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/67017 , F04B43/0081 , F04B49/065 , F04B2205/503 , H01L21/6715
Abstract: A filtration efficiency, which is similar to the filtration efficiency obtained when a plurality of filters are provided, can be obtained by one filter, and decrease in throughput can be prevented. Based on a control signal from a control unit (101), a resist liquid (L) is sucked into a pump (70) through a filter. A part of the resist liquid sucked in the pump is discharged from a discharge nozzle (7). The remaining resist liquid is returned to a supply conduit (51b) on a primary side of the filter. A process is synthesized by adding a replenishment amount equal to the discharge amount to the return amount. The discharge of the synthesized resist liquid and the filtration thereof by the filter are performed the number of times corresponding to a rate between the discharge amount and the return amount.
Abstract translation: 通过一个过滤器可以获得与提供多个过滤器时获得的过滤效率类似的过滤效率，并且可以防止生产量的降低。 基于来自控制单元（101）的控制信号，通过过滤器将抗蚀剂液体（L）吸入泵（70）。 吸入泵中的抗蚀剂液体的一部分从排出喷嘴（7）排出。 剩余的抗蚀剂液体返回到过滤器的初级侧的供给管道（51b）。 通过将等于排出量的补充量加到返回量来合成过程。 对合成的抗蚀剂液体的排出及其过滤器的过滤进行与排出量与返回量之间的比例对应的次数。
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公开(公告)号：KR102091984B1
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：KR1020190161628
申请日：2019-12-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 요시다유이치 , 나이토우료우이치로우 , 후루쇼도시노부
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公开(公告)号：KR101973216B1
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：KR1020140064224
申请日：2014-05-28
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/302 , H01L21/02
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101517303B1
公开(公告)日：2015-05-04
申请号：KR1020130157133
申请日：2013-12-17
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/302
Abstract: 하나의 필터로 복수의 필터를 설치한 경우와 마찬가지의 여과 효율을 얻음과 함께, 스루풋 저하의 방지를 도모한다. 제어부(101)로부터의 제어 신호에 기초하여, 레지스트액(L)을 필터(52)를 통하여 펌프(70)에 흡입하고, 펌프에 흡입된 레지스트액의 일부를 토출 노즐(7)로부터 토출하고, 나머지 레지스트액을 필터의 1차측의 공급관로(51b)에 복귀시켜, 토출량과 동등한 보충량을 복귀량에 추가하여 합성하고, 합성된 레지스트액을 토출량과 복귀량의 비율의 합성에 따른 횟수로, 레지스트액의 토출과 필터에 의한 여과를 행한다.
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公开(公告)号：KR102065192B1
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：KR1020130113946
申请日：2013-09-25
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 요시다유이치 , 나이토우료우이치로우 , 후루쇼도시노부
IPC: H01L21/02 , H01L21/027
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公开(公告)号：KR1020150039569A
公开(公告)日：2015-04-10
申请号：KR1020140130245
申请日：2014-09-29
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/027 , H01L21/02 , H01L21/302
CPC classification number: H01L21/67017 , H01L21/0274
Abstract: 처리액을쓸데없이소비하지않고서, 처리액중의파티클의증가를효율적으로억제하는것을목적으로한다. 피처리체를처리하기위한처리액을공급하는처리액공급원과, 상기처리액공급원에공급로를통해접속되며, 상기처리액을피처리체에토출하는토출부와, 상기공급로에설치되며, 처리액중의이물을제거하기위한필터장치와, 상기공급로에있어서의필터장치의일차측및 이차측에각각설치된공급펌프및 토출펌프와, 상기처리액공급원으로부터공급된처리액을, 상기공급펌프및 토출펌프중 적어도한쪽을이용해서감압하여탈기하고, 계속해서탈기된처리액을상기공급펌프및 토출펌프를이용하여상기필터장치의일차측으로부터이 필터장치를통해이차측으로통과시키도록제어신호를출력하는제어부를구비하도록장치를구성한다.
Abstract translation: 本发明的目的是有效地防止工艺溶液中颗粒的增加，而不浪费工艺溶液。 本发明包括提供用于处理物体的处理液的处理液供给源，通过供给管线连接到处理液供给源的注入部，将该处理液注入到被检体内的过滤器装置， 安装在供给管路上，除去分别安装在供给管路中的过滤装置的主要部分和次要部分中的过程溶液中的异物，供给泵和注射泵，以及减压和 通过使用供给泵和注射泵中的一个来对从过程溶液供给源提供的过程溶液进行脱气，并且输出控制信号，以使脱模处理溶液从过滤装置的主要部分转移到次级部分，方法是使用 供应泵和注射泵。
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9.发明授权
公开(公告)号：KR101452608B1
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：KR1020127027167
申请日：2011-03-16
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/027 , B05C11/10 , B01D35/26
CPC classification number: B05D1/02 , B01D29/56 , B01D35/02 , B05C9/06 , B05C11/10 , F17D1/00 , H01L21/67017 , H01L21/6715 , H01L21/67173 , H01L21/67178 , Y10T137/794
Abstract: 본 발명의 약액 공급 시스템은, 약액을 저류하는 제1 용기 및 제2 용기와, 제1 용기와 제2 용기를 연결하는 제1 배관에 설치되고, 제1 용기에 저류된 약액을 제2 용기로 흘려보내는 제1 펌프와, 제1 배관에 설치되고, 제1 용기로부터 제2 용기를 향하여 제1 배관 내를 흐르는 약액을 여과하는 제1 필터와, 제1 용기와 제2 용기를 연결하는 제2 배관과, 제2 배관에 설치되고, 제2 용기에 저류된 약액을 제1 용기로 흘려보내는 제2 펌프를 구비한다.
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公开(公告)号：KR1020140080423A
公开(公告)日：2014-06-30
申请号：KR1020130157133
申请日：2013-12-17
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/302
CPC classification number: H01L21/67017 , F04B43/0081 , F04B49/065 , F04B2205/503 , H01L21/6715
Abstract: A filtration efficiency, which is similar to the filtration efficiency obtained when a plurality of filters are provided, can be obtained by one filter, and decrease in throughput can be prevented. Based on a control signal from a control unit (101), a resist liquid (L) is sucked into a pump (70) through a filter. A part of the resist liquid sucked in the pump is discharged from a discharge nozzle (7). The remaining resist liquid is returned to a supply conduit (51b) on a primary side of the filter. A process is synthesized by adding a replenishment amount equal to the discharge amount to the return amount. The discharge of the synthesized resist liquid and the filtration thereof by the filter are performed the number of times corresponding to a rate between the discharge amount and the return amount.
Abstract translation: 可以通过一个过滤器获得与设置多个过滤器时获得的过滤效率类似的过滤效率，并且可以防止吞吐量的降低。 基于来自控制单元（101）的控制信号，抗蚀剂液体（L）通过过滤器被吸入到泵（70）中。 吸入到泵中的抗蚀剂液体的一部分从排出喷嘴（7）排出。 剩余的抗蚀剂液体返回到过滤器初级侧上的供应导管（51b）。 通过将等于放电量的补充量添加到返回量来合成处理。 合成的抗蚀剂液体的排出和由过滤器的过滤被执行与排出量和返回量之间的比率对应的次数。
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