公开(公告)号：KR1020080041333A

公开(公告)日：2008-05-13

申请号：KR1020060109287

申请日：2006-11-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김봉균 ,  박홍식 ,  정종현 ,  홍선영 ,  신원석 ,  이병진

IPC: H01L29/786 ,  G02F1/133 ,  G02F1/136

CPC classification number: H01L21/02068 ,  G02F1/1368 ,  H01L27/1288

Abstract: A method for fabricating a TFT(thin film transistor) substrate is provided to suppress generation of corrosion byproducts and remove an organic material by performing an ultraviolet cleaning process in etching a source/drain metal layer using a copper interconnection with low resistance. A thin film is coated on a substrate(101). A photoresist pattern is formed on the thin film. The thin film is etched by using the photoresist pattern. The photoresist pattern is stripped. An ultraviolet cleaning process is performed in one of the etch process or the strip process. A process for forming a second conductive pattern group can include the following steps. A gate insulation layer(112), a semiconductor pattern(115) and a source/drain metal layer using copper are continuously deposited on a first conductive pattern group. A photoresist pattern is formed on the source/drain metal layer by using a mask. The source/drain metal layer is etched by using the photoresist pattern to form the semiconductor pattern including an active layer(114) and an ohmic contact layer(116) . The photoresist pattern is ashed. The source electrode(108) and the drain electrode(110) exposed through the ashed photoresist pattern are separated. The active layer between the separated source and drain electrodes is exposed. The photoresist pattern is stripped.

Abstract translation: 提供了制造TFT（薄膜晶体管）基板的方法，以通过使用具有低电阻的铜互连来蚀刻源极/漏极金属层，通过进行紫外线清洁处理来抑制腐蚀副产物的产生并去除有机材料。 将薄膜涂覆在基板（101）上。 在薄膜上形成光刻胶图形。 通过使用光致抗蚀剂图案来蚀刻薄膜。 剥离光致抗蚀剂图案。 在蚀刻工艺或剥离处理之一中进行紫外线清洁处理。 用于形成第二导电图案组的工艺可以包括以下步骤。 使用铜的栅极绝缘层（112），半导体图案（115）和源极/漏极金属层连续地沉积在第一导电图案组上。 通过使用掩模在源极/漏极金属层上形成光致抗蚀剂图案。 通过使用光致抗蚀剂图案来蚀刻源极/漏极金属层，以形成包括有源层（114）和欧姆接触层（116）的半导体图案。 光刻胶图案灰化。 通过灰化光刻胶图案曝光的源电极（108）和漏电极（110）被分离。 分离的源极和漏极之间的有源层被暴露。 剥离光致抗蚀剂图案。

公开(公告)号：KR1020080032312A

公开(公告)日：2008-04-15

申请号：KR1020060097883

申请日：2006-10-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김봉균 ,  박홍식 ,  정종현 ,  홍선영 ,  신원석 ,  이병진

IPC: B01D53/66 ,  B01D53/94

CPC classification number: Y02A50/2347

Abstract: A method for stripping photoresist and purifying pollution sources, a method for decomposing ozone, and an apparatus for stripping the photoresist are provided to improve the rate in decomposition of ozone used for a photolithographic process. A process of stripping photoresist and purifying pollution sources is performed by removing a photoresist film from a substrate(S10), generating ozone, decomposing the removed photoresist film through reaction between the ozone and the removed photoresist film(S20), decomposing the ozone into oxygen(S30), and discharging the oxygen. The ozone is decomposed by using UV and photo-catalyst. The photo-catalyst is at least one of zinc oxide, cadmium sulfide, and tungsten oxide.

Abstract translation: 提供剥离光致抗蚀剂和净化污染源的方法，分解臭氧的方法以及剥离光致抗蚀剂的装置，以提高用于光刻工艺的臭氧分解速率。 通过从基板去除光致抗蚀剂膜（S10），产生臭氧，通过臭氧和去除的光致抗蚀剂膜之间的反应分解除去的光致抗蚀剂膜（S20），将臭氧分解成氧气，进行剥离光致抗蚀剂和净化污染源的工艺（S10） （S30），并排出氧气。 臭氧通过使用UV和光催化剂分解。 光催化剂是氧化锌，硫化镉和氧化钨中的至少一种。

公开(公告)号：KR1020080030156A

公开(公告)日：2008-04-04

申请号：KR1020060095863

申请日：2006-09-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 신원석 ,  박홍식 ,  정종현 ,  홍선영 ,  김봉균 ,  이병진

IPC: H01L29/786 ,  G02F1/133 ,  G02F1/136

CPC classification number: G02F1/136227 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1288

Abstract: A method for manufacturing a thin film transistor array panel is provided to remove easily a transparent conductive layer from a substrate by injecting a stripper onto an undercut part of a substrate. A gate line is formed on a substrate(110). A gate insulating layer is formed on the gate line. A semiconductor layer(151), a contact member layer, and a conductive layer are formed on the gate insulating layer. A semiconductor pattern, a contact member, a data line(171), and a drain electrode(175) are formed by patterning the semiconductor layer, the contact member layer, and the conductive layer. A passivation layer is formed on the data line, the drain electrode, and the gate insulating layer. A photoresist layer is formed on the passivation layer. An opening for exposing a part of the drain electrode is formed by etching the passivation layer. A transparent conductive layer is formed on the opening of the passivation layer and the photoresist layer. An inclined transfer process for the substrate is performed to form the substrate having an inclined range of 0 to 10 degrees to a horizontal plane. A stripper is injected onto the substrate at a range of 45 to 85 degrees to the substrate, in order to form a pixel electrode(191) by removing the photoresist layer and separating the transparent conductive layer from the photoresist layer.

Abstract translation: 提供一种制造薄膜晶体管阵列面板的方法，通过将剥离剂注入到基底的底切部分上，容易地从基底上去除透明导电层。 在基板（110）上形成栅极线。 在栅极线上形成栅极绝缘层。 在栅极绝缘层上形成半导体层（151），接触部件层和导电层。 通过图案化半导体层，接触构件层和导电层来形成半导体图案，接触构件，数据线（171）和漏极（175）。 在数据线，漏电极和栅极绝缘层上形成钝化层。 在钝化层上形成光致抗蚀剂层。 通过蚀刻钝化层形成用于露出一部分漏电极的开口。 在钝化层和光致抗蚀剂层的开口上形成透明导电层。 进行基板的倾斜转印工序，形成与水平面成0〜10度的倾斜范围的基板。 为了通过去除光致抗蚀剂层并将透明导电层与光致抗蚀剂层分离而形成像素电极（191），将剥离器以45至85度的范围注入衬底上。

公开(公告)号：KR1020080001253A

公开(公告)日：2008-01-03

申请号：KR1020060059477

申请日：2006-06-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이병진 ,  박홍식 ,  정종현 ,  홍선영 ,  김봉균 ,  신원석

IPC: G02F1/136

CPC classification number: G02F1/136286 ,  H01L27/124 ,  H01L29/786

Abstract: An LCD(Liquid Crystal Display) panel is provided to form a thin film made from silver on a substrate composed with soda-lime glasses, thereby improving adhesion strength between the substrate and the thin film and accordingly improving a profile of the thin film. A substrate(101,111) is composed with soda-lime glasses. Gate lines are formed on the substrate. Data lines cross the gate lines. A TFT(Thin Film Transistor)(148) is connected with the gate lines(146) and the data lines(144). A pixel electrode(142) is connected with the TFT. At least one of the gate line and the data line is composed with at least one conductive layer including silver. The gate line comprises a gate metal layer made from silver, and a barrier layer formed on at least one of upper and lower parts of the gate metal layer.

Abstract translation: 提供LCD（液晶显示器）面板以在由钠钙玻璃构成的基板上形成由银制成的薄膜，从而提高基板和薄膜之间的粘合强度，从而提高薄膜的轮廓。 基体（101,111）由钠钙玻璃构成。 栅极线形成在衬底上。 数据线穿过栅极线。 TFT（薄膜晶体管）（148）与栅极线（146）和数据线（144）连接。 像素电极（142）与TFT连接。 栅极线和数据线中的至少一个由包括银的至少一个导电层构成。 栅极线包括由银制成的栅极金属层和形成在栅极金属层的上部和下部的至少一个上的阻挡层。

公开(公告)号：KR100745040B1

公开(公告)日：2007-08-01

申请号：KR1020060063428

申请日：2006-07-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남한석 ,  김봉균 ,  김환

IPC: H04B1/40

Abstract: A unified contents file searching method of a portable terminal is provided to be capable of performing integrated search for each contents file stored in the terminal and to enable a searched contents file to be immediately executed, thereby easily searching and executing various contents-related data of the terminal. A contents file search mode of a portable terminal is set(S201,S203). A predetermined search character string is inputted(S205). The inputted search character string is displayed on a display of the terminal(S207). A text entry of contents files of the terminal is accessed(S209). The search character string is compared with the text entry to decide whether text which includes the search character string exists(S211). Text of a contents file which includes the search character string is displayed on the display(S213). The contents file which includes the displayed text is executed(S215,S217).

Abstract translation: 提供了一种便携式终端的统一内容文件搜索方法，其能够对存储在终端中的每个内容文件执行综合搜索，并且使搜​​索到的内容文件能够被立即执行，从而容易地搜索并执行各种内容相关数据 终点站。 设置便携式终端的内容文件搜索模式（S201，S203）。 预定的搜索字符串被输入（S205）。 输入的搜索字符串被显示在终端的显示器上（S207）。 访问终端的内容文件的文本输入（S209）。 将搜索字符串与文本条目进行比较以确定是否存在包含搜索字符串的文本（S211）。 包括搜索字符串的内容文件的文本显示在显示器上（S213）。 包含显示文本的内容文件被执行（S215，S217）。

公开(公告)号：KR1020070055085A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：KR1020050113399

申请日：2005-11-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박홍식 ,  정종현 ,  홍선영 ,  이병진 ,  김봉균 ,  신원석

IPC: H01L29/786

Abstract: 본 발명은 식각공정시 노출된 식각공정의 비대상인 박막을 보호할 수 있는 박막 패터닝 방법 및 이를 이용한 박막트랜지스터 기판의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 박막 패터닝 방법은 기판 상에 식각계열이 유사한 재질의 제1 및 제2 박막을 순차적으로 도포하는 단계와; 상기 제2 박막 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계와; 상기 포토레지스트 패턴을 이용하여 상기 제2 박막을 패터닝하는 단계와; 상기 제2 박막을 패터닝 후 상기 제2 포토레지스트 패턴에 의해 노출된 제2 박막에 반응 억제막을 형성하는 단계와; 상기 포토레지스트 패턴을 이용하여 상기 제1 박막을 패터닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1019930011759A

公开(公告)日：1993-06-24

申请号：KR1019910021182

申请日：1991-11-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김봉균

IPC: H04W84/00

Abstract: 다수개의 통화 영역을 관장하는 무선 교환기와, 상기 무선 교환기의 제어하에 통화영역내에 휴대장치와 무선링크를 형성하는 다수의 고정장치군들과, 휴대장치로서 상기 고정장치군들과 무선 링크를 형성하는 휴대장치로 구성되는 무선 교환 시스템에서 휴대장치의 발호방법과 이에 따른 휴대장치의 위치등록에 관한 것이다.
상기의 위치 등록 방법은 상기 다수의 고정장치군들이 순차적으로 자신의 ID를 포함하는 통지 메세지 신호를 발생하여 상기 전 휴대장치로 전파하며, 상기 상기 용지요구 메세지들을 수신하여 메모리에 저장한후 수신레벨이 가장 큰 고정장치군을 '주', 두번째로 큰 고정장치군을 '부'고정장치로하고 자신의 고유번호가 포함된 위치 등록메세지를 상기 주고정장치군을 통해 무선 교환기로 위치등록 한다.
상기와 같은 2개의 고정장치군에 위치등록을 함으로서 발호를 보다 원활하게 할수 있다.